ТЕЧЕИСКАТЕЛЬ
МАСС-СПЕКТРОМЕТРИЧЕСКИЙ
ТИ1-22
(ГЕЛМАСС)
Руководство по эксплуатации
Содержание
1 |
|
|
2 |
|
|
2.1 |
|
|
2.2 |
|
|
2.3 |
|
|
3 |
|
|
3.1 |
|
|
3.2 |
|
|
4 |
|
|
4.1 |
|
|
4.2 |
|
|
5 |
|
|
5.1 |
|
|
5.2 |
|
|
5.3 |
|
|
5.4 |
|
|
5.5 |
|
|
5.6 |
|
|
5.7 |
|
|
5.8 |
|
|
5.9 |
|
|
6 |
|
|
7 |
|
|
8 |
|
|
9 |
|
УВАЖАЕМЫЙ ПОТРЕБИТЕЛЬ!
В связи с постоянной работой по совершенствованию прибора, повышающей его надежность и улучшающей условия эксплуатации, в схему и конструкцию могут быть внесены незначительные изменения, не отраженные в настоящем издании.
Настоящее руководство по эксплуатации предназначено для изучения принципа работы, технических характеристик течеискателя масс-спектрометрического ТИ1-22 (ГЕЛМАСС) далее по тексту течеискатель, и содержит описание его устройства, принципа действия, технические характеристики, а также сведения, необходимые для правильной установки, настройки, проверки, эксплуатации, технического обслуживания, текущего ремонта, хранения и транспортирования течеискателя.
Персонал, проводящий техническое обслуживание течеискателя, должен пройти инструктаж и иметь право работы с электроустановками с напряжением до 1000 В.
Габаритные размеры и внешний вид течеискателя представлен на рисунке 1.
Рисунок 1 – Внешний вид и габаритные размеры течеискателя
Принятые по тексту обозначения и сокращения
СВ – система вакуумная
УКИ – устройство клавиатуры и индикации
ТМН – турбомолекулярный насос
ФВН – форвакуумный насос
ЖКИ – жидкокристаллический индикатор
УВИ – устройство выносного индикатора
СД – светодиоды
1. Требования безопасности
1.1 При работе с течеискателем необходимо соблюдать действующие правила
по работе с электроустановками.
1.2 По требованиям электробезопасности течеискатель соответствует требованиям класса защиты I по ГОСТ 12.2.007.0-75.
1.3 Течеискатель работает от сети переменного тока напряжением 220 В с частотой 50 Гц. Перед подключением течеискателя к сети питания необходимо обеспечить его надежное заземление в соответствии с требованиями раздела 5.2.
1.4 Подготовка течеискателя к работе, проведение технического обслуживания и ремонта должно проводиться только при отключении его от сети питания.
Работа с течеискателем при снятых крышках воспрещается. Персонал, проводящий техническое обслуживание течеискателя, должен пройти инструктаж и иметь право работы с электроустановками с напряжением до 1000 В.
Подключение течеискателя к сети и отключение от нее должны проводиться строго в установленном данным руководством по эксплуатации порядке.
2 Описание течеискателя и принципов его работы
2.1 Назначение
Масс-спектрометрический течеискатель предназначен для испытания на герметичность различных систем и объектов, допускающих откачку внутренней полости, а также заполненных гелием или смесью, содержащей гелий, и обнаружения мест нарушения герметичности (течей). Течеискатель является комбинированным, позволяет работать в режиме прямого потока и противотока. Использование режима противоток, позволяет проверять на герметичность объекты с большим газовыделением. В течеискателе предусмотрен режим предварительной откачки.
Течеискатель является индикаторным прибором. Погрешность определения величины течи не нормируется. Течеискатель не подлежит поверке.
Основные области применения:
- контроль герметичности всех видов вакуумных систем и вакуумированных объектов в процессе их изготовления и эксплуатации;
- контроль герметичности электровакуумных и полупроводниковых приборов;
- контроль герметичности различных герметизированных не откачиваемых объектов, изделий и пр.
Рабочие условия эксплуатации:
- температура окружающей среды от +10 до +35°С;
- относительная влажность воздуха до 80% при температуре +25°С;
- атмосферное давление 86 – 106,7 кПа (630 - 800 мм рт.ст.).
2.2 Состав течеискателя
Состав течеискателя приведен в таблице 1. Внешний вид и обозначения запасных частей приведены на рисунке 2.
Таблица 1
Наименование, тип |
Обозначение | Кол., шт. | Примечание |
1 Течеискатель ТИ1-22 (ГЕЛМАСС) |
ТФИЯ.406239.023-01 |
1 |
|
1.1 Система вакуумная (CВ-22) |
ТФИЯ.408839.017 |
1 |
Устанавливается на тележке |
1.2 Устройство клавиатуры и индикации |
ТФИЯ.468365.035 |
1 |
Устанавливается на СВ-22 |
1.3 Тележка |
ТФИЯ.304136.005-01 |
1 |
|
1.4 Насос пластинчато-роторный 2F-6 TELSTAR |
|
1 |
Устанавливается на тележке ТФИЯ.304136.005-01 |
Продолжение таблицы 1
Наименование, тип |
Обозначение | Кол., шт. | Примечание |
2 Запасные части и принадлежности: |
|||
2.1 Винт |
ЕХ8.900.028-01 |
6 |
Для анализатора |
2.2 Винт |
ЕХ8.900.109 |
2 |
Для анализатора |
2.3 Воронка |
ЕХ4.478.001 |
1 |
Для заливки азота |
2.4 Сетка |
ТФИЯ.301151.035 |
1 |
|
2.5 Штуцер |
ТФИЯ.302634.002 |
1 |
|
2.6 Втулка изоляционная |
ЕХ7.860.074 |
15 |
Для камеры анализатора |
2.7 Втулка изоляционная |
ЕХ7.860.075 |
2 |
Для камеры анализатора |
2.8 Гайка |
ЕХ8.939.022 |
2 |
Для анализатора |
2.9 Диафрагма фокусирующая |
ЕХ7.324.003 |
1 |
Для анализатора |
2.10 Катод (уложены в банку) |
ЕХ5.320.012 |
50 |
|
2.11 Кольцо уплотнительное |
ЕХ8.683.399 |
4 |
Входной фланец СВ |
2.12 Обдуватель |
ЕХ4.467.003 |
1 |
Для работы с объектом |
2.13 Преобразователь ПМТ-6-3М-1 |
ОТО.399.097 ТУ |
3 |
Для ремонта |
2.14 Прокладка |
ЕХ8.683.392 |
2 |
Для анализатора |
2.15 Прокладка |
ЕХ8.683.393 |
1 |
Для анализатора |
2.16 Прокладка |
ЕХ8.683.396 |
5 |
Для клапана ручного |
2.17 Прокладка |
ЕХ8.683.397 |
2 |
Для клапана ручного |
2.18 Прокладка |
ЕХ8.683.398 |
2 |
Для азотной ловушки |
2.19 Прокладка |
ЕХ8.683.400 |
2 |
Уплотнение ПМТ |
2.20 Прокладка |
ЕХ8.683.402 |
2 |
Для клапана ДУ-10 |
2.21 Сопло |
ЕХ6.451.005 |
1 |
Для работы с объектом |
2.22 Тройник |
ЕХ4.468.001 |
1 |
Для работы с объектом |
2.23 Трубка вакуумная резиновая Æ 2х2 |
ТУ 38.105.881-85 |
1 |
Длина 1,5 м |
2.24 Уплотнитель |
ЕХ8.683.103 |
4 |
|
2.25 Уплотнитель |
ЕХ8.683.110 |
4 |
Для клапана КС-25 |
2.26 Щуп * |
ЕХ2.832.008 |
1 |
Для работы с объектом |
2.27 Кабель DB9F-DB9M(«9м»-«9n») |
D-Sub |
1 |
Для подключения УКИ |
2.28 Устройство выносного индикатора |
ТФИЯ.467841.012-01 |
1 |
|
2.29 Кабель (5 м) |
ТФИЯ.685661.145 |
1 |
Для подключения к сети 220 В |
2.30 Комплект щупов * |
ТФИЯ.407934.003 |
1 к-т |
|
3. Эксплуатационная документация |
|||
3.1 Течеискатель масс-спектрометрический ТИ1-22 (ГЕЛМАСС). Руководство по эксплуатации. |
ТФИЯ.406239.023-01 РЭ |
1 |
|
3.2 Течеискатель масс-спектрометрический ТИ1-22 (ГЕЛМАСС). Формуляр |
ТФИЯ.406239.023-01 ФО |
1 |
|
3.3 Вакуумные пластинчато-роторные масляные насосы TELSTAR. Техническое описание. |
|
1 |
|
3.4 Течь гелиевая «ГЕЛИТ I». Свидетельство о поверке |
|
1 |
Допускается комплект. паспортом ТДМКО.339.022 ПС |
* - Поставляются по отдельному заказу или договору.
На рисунке 2 приведен внешний вид принадлежностей и запасных частей (порядковый номер и обозначение приведено в соответствии с таблицей 1).
Рисунок 2 – Внешний вид принадлежностей и запасных частей (порядковый номер и обозначение приведен в соответствии с таблицей 1)
2.3 Технические характеристики
Течеискатель обеспечивает:
2.3.1 Регистрацию минимального потока гелия < 7×10-12 м3×Па/с в режиме прямого потока.
2.3.2 Автоматическое включение и тестирование исправности элементов при нажатии кнопки ПУСК. Время установления рабочего режима не превышает 15 мин. Автоматическое выключение после нажатия кнопки СТОП.
2.3.3 Автоматическую подстройку на пик гелия. Режим АПС.
2.3.4 Возможность предварительной откачки объектов. Режим БАЙПАС.
2.3.5 Режим работы в противотоке. Режим ПРОТИВОТОК.
2.3.6 Режим работы в прямом потоке. Режим ПРЯМОТОК.
2.3.7 Управление кнопкой ЗАЩИТА ВХОДА.
2.3.8 Возможность ручной установки:
- тока эмиссии катода К1,К2 в диапазоне 50 – 1000 мкА.
- ускоряющего напряжения Ua в диапазоне 0 – 500 В.
- установку супрессорного напряжения Us в диапазоне 0 – 300 В.
- установку порога регистрации течи
- функцию управления графиком
- установку текущего времени в часах и минутах.
2.3.9 Возможность установки блокировок
- по давлению Р1 (Давление в форвакуумной линии).
- по давлению Р2 (Давление в анализаторе).
- по давлению Р3 (Давление на входе)
- установку значения встроенной гелиевой течи.
Примечание - Установленное значение Р3 является уставкой для работы байпасной магистрали. После достижения Р3 при дальнейшей работе блокировка по Р3 не осуществляется.
2.3.10 Возможность ручного переключения рабочего катода К1 и К2.
2.3.11 Звуковую и световую сигнализацию, при регистрации уровня выходного сигнала выше установленного порога.
2.3.12 Автоматическое отключение накала катода ионного источника анализатора при превышении давления в анализаторе более 0,1 Па. (Блокировка по давлению Р2). Автоматическое закрытие клапана ЗАЩИТА ВХОДА при входном давлении Р1 > 50 Па.
2.3.13 Автоматическое выключение.
2.3.14 Течеискатель допускает непрерывную работу в рабочих условиях в течение 24 ч. при сохранении своих технических характеристик.
2.3.15 Течеискатель сохраняет свои технические характеристики при питании его от сети переменного тока напряжением 220 В с допускаемым отклонением + 22В частотой 50 Гц.
Мощность, потребляемая течеискателем от сети питания при номинальном напряжении 220 В, не превышает 700 ВА.
2.3.16 Течеискатель сохраняет свои технические характеристики в рабочих условиях эксплуатации, приведенных в разделе 2.
2.3.17 Габаритные размеры, мм, не более: 670х600х1085
2.3.18 Масса течеискателя не более 80 кг.
3 Устройство течеискателя
3.1 Структурная схема течеискателя
Течеискатель представляет собой высокочувствительный магнитный масс-спектрометр, настроенный на регистрацию потока гелия.
Течь (или натекание) определяется потоком гелия, проникающего в испытуемый объем при вакуумных испытаниях, или потоком гелия, вытекающего из испытуемого объема при избыточном давлении в нем.
Схема электрическая принципиальная течеискателя приведена на рисунке 3.
Течеискатель состоит из системы вакуумной CB, устройства клавиатуры и индикации УКИ, соединяемых между собой кабелем длинной 1,5 м. Основным элементом течеискателя является масс-спектрометрический анализатор, состоящий из ионного источника, магнитной системы, приемника ионов и датчика давления Р2.2 .
Масс-спектрометрический анализатор, заключенный в корпус из немагнитной стали, помещается между полюсами постоянного магнита.
Накаленный вольфрамовый катод ионного источника эмитирует электроны, которые ускоряются электрическим полем, приложенным между катодом и корпусом ионизатора ионного источника. Электронный ток катода стабилизируется стабилизатором эмиссии.
Магнитное поле, действующее вдоль направления движения электронов, фокусирует поток электронов в узкий пучок, проходящий в ионизатор. В ионизаторе электроны сталкиваются с молекулами газа, поступающего в течеискатель из проверяемого объема или щупа, и вызывают их ионизацию. Образовавшиеся ионы вытягиваются из ионизатора ускоряющим электрическим полем, действующим в направлении, перпендикулярном электронному пучку. Поток ионов через выходную диафрагму ионного источника поступает в пространство дрейфа, в котором происходит пространственное разделение ионов по массам.
Под действием постоянного магнитного поля, направленного перпендикулярно направлению движения, ионы движутся по круговым траекториям, радиусы которых зависят от массы ионов. Радиус траектории движения ионов в сантиметрах определяется по формуле
, (1)
где R – радиус траектории движения иона, см;
Н - напряженность магнитного поля, А/м;
U - ускоряющая ионы разность потенциалов, В;
М - эффективная масса иона, равная отношению его массы к заряду.
В магнитном поле происходит разделение ионного пучка, выходящего из источника, на отдельные пучки, содержащие ионы с одинаковым отношением массы к заряду. Изменяя ускоряющее напряжение при неизменной напряженности магнитного поля, можно менять радиус траектории движения ионов данной массы. В течеискателе применен анализатор со 180-градусным поворотом и магнитной фокусировкой.
Траектория движения ионов от ионного источника к приемнику ионов имеет вид полуокружности. Радиус траектории ионов равен 2,5 см.
Анализатор обладает фокусирующим свойством: ионы определенной массы, выходящие из ионного источника расходящимся пучком, вновь собираются в узкий сходящийся пучок в плоскости входной диафрагмы приемника. Изменением ускоряющего напряжения осуществляется настройка на "пик гелия", при которой в приемник ионов направляются ионы гелия.
Коллектор ионов соединен с входом электрометрического усилителя , сигнал с которого подается на усилитель постоянного тока, а затем, после программной обработки, непосредственно на устройство управления и индикации
Для настройки анализатора и контроля потоков, регистрируемых течеискателем, служит встроенная гелиевая течь «Гелит-1».
Рабочее давление в масс-спектрометрическом анализаторе обеспечивается СВ, состоящей из форвакуумного насоса ФВН , турбомолекулярного насоса ТМН и азотной ловушки, защищающей анализатор от паров воды и масла поступающих в СВ из откачиваемых объектов и ФВН. Схема вакуумная принципиальная системы вакуумной CB-22 приведена на рисунке 4.
где:
S -анализатор масс-спектрометрический
V4(Др1),V1(Др2) - клапаны с ручным приводом
N1 -турбомолекулярный насос ТМН-150/63
V2(ОТКАЧКА ТМН),V3(БАЙПАСНАЯ ОТКАЧКА ТМН),V5(НАПУСК),
V6(Не),V7(ЗАЩИТА ВХОДА) - клапаны электромагнитные
N2 - насос форвакуумный пластинчато-роторный 2F-6 TELSTAR
A1 - мера потока ГЕЛИТ 1
B - ловушка азотная
P1, Р2.1, P3 -преобразователь манометрический ПМТ6-3М-1.
Рисунок 4 - Схема вакуумная принципиальная системы вакуумной СВ-22
Контроль давления в линии предварительного разрежения и на входе, со стороны проверяемого объекта, осуществляется манометрическими преобразователями ПМТ6-ЗМ-1 (Р1 и Р3) соответственно. Контроль давления в анализаторе осуществляется манометрическим преобразователем Р2.1 при отключенном катоде и ионизационным датчиком Р2.2 при включенном рабочем катоде.
Управление вакуумной системой течеискателя при его включении, выключении и работе производится с помощью клапанов.
Управление дросселирующим клапаном V4 (Др1) производится при работе в режиме прямого потока. Управление дросселирующим клапаном V1 (Др2) осуществляется в режиме противотока.
Управление электромагнитными клапанами V2 (ОТКАЧКА ТМН) , V3 (БАЙПАСНАЯ ОТКАЧКА), V5 (НАПУСК) и V7 (ЗАЩИТА ВХОДА) (См. структурную схему рис.3) осуществляется от платы управления клапанами по командам программ управления микроконтроллера, установленного на плате. Для каждого режима работы течеискателя предусмотрена программа управления, запускаемая при выборе программы оператором с УКИ.
Органы управления находятся в блоке УКИ.
Индикаторы состояния клапанов, насосов ТМН и ФВН расположены на передней вертикальной панели течеискателя. Включенное состояние клапанов и насосов соответствует включенному индикатору на панели.
Используемый в течеискателе высоковакуумный турбомолекулярный насос N1(ТМН 150/63) имеет различные коэффициенты компрессии для разных газов. Поэтому гелий, имея более низкий коэффициент компрессии по сравнению с азотом, может поступать частично в масс-спектрометрический анализатор навстречу основному газовому потоку, откачиваемому турбомолекулярным насосом из анализатора. Использование режима противоток позволяет работать с более высокими давлениями газа на входе течеискателя по сравнению с режимом прямого потока.
3.2.1 Течеискатель конструктивно состоит:
- системы вакуумной СВ;
- устройства управления и индикации УКИ;
- тележки для перемещения течеискателя;
- форвакуумного насоса установленного на тележке;
Соединение узлов производится при помощи кабельных соединений. Подключение ФВН к СВ производится при помощи гибкого вакуумного шланга и обжимных хомутов.
3.2.2 Система вакуумная СВ
Основой конструкции является сварной каркас из стального углового профиля. К верхней раме непосредственно крепятся вакуумные элементы, за исключением пластинчато-роторного насоса, установленного на тележке.
К каркасу непосредственно крепятся:
сверху – панель, на которой при помощи направляющих устанавливается устройство управления и индикации УКИ.
спереди – панель, на которую выведены ручки управления дросселирующих клапанов V4(Др1),V1(Др2) и индикаторы состояния элементов СВ.
сзади – панель, на которой расположены выключатель питания, кабель подключения к сети, клемма подключения заземления и розетка для подключения выносного индикатора.
Входящие в состав системы управления узлы и платы, размещены в блоке управления, который закреплен винтами в нижней части рамы.
Преобразователи давления (А14),(А15),(А16) выполнены на печатных платах и закреплены непосредственно на датчиках давления Р1,Р2,1,Р3. Датчик Р1 установлен на форвакуумной линии, датчик Р3 на входном фланце, датчик Р2.1 снизу азотной ловушки.
Усилитель электрометрический (А17) и усилитель ионизационного датчика (А18) закреплен на анализаторе.
СВ - крепится к тележке винтами и со всех сторон закрыта съемными обшивками.
3.2.3 Вакуумные элементы СВ
Состав системы вакуумной приведен на рисунке 4.
Входной фланец выполнен под типовое быстроразъемное зажимное соединение ДУ25 с накидным хомутом для установки переходных устройств подключения к объекту.
Детали вакуумной системы течеискателя изготовлены из нержавеющей стали. В качестве герметизирующих элементов во фланцевых соединениях использованы уплотнители из эластичных вакуумных материалов.
3.2.3.1 Масс-спектрометрический анализатор
Имеет разборную конструкцию, обеспечивающую возможность периодической чистки и промывки. Корпус камеры (14) представляет собой прямоугольную трубу с двумя фланцами. К фланцу корпуса крепится масс-спектрометрический анализатор, смонтированный на фланце (15), имеющем 3 винта для облегчения съема анализатора при профилактике и ремонте.
Устройство масс-спектрометрического анализатора показано на рисунке 5.
Рисунок 5 – Масс-спектрометрический анализатор
Основные элементы анализатора:
Герморазъем подключения усилителя канала давления ионизационного датчика (1); корпус для подключения герморазъемов ионизационного датчика и усилителя электрометрического (2); токопровод коллектора ионов (3); токопровод ионизационного датчика (4); герморазъем подключения ионизатора (5); токопроводы катодов К1,К2 (6); токопровод ускоряющей диафрагмы (8); коллектор ионов (9); входные диафрагмы (10); супрессорная диафрагма (11); изоляционные втулки (12); коллектор ионизационного датчика (13).
180-градусный угол поворота ионов в анализаторе и необходимый радиус траектории ионов обеспечиваются расположением этих элементов на единой сборочной базе угольнике, прикрепленного к фланцу (15). Это обеспечивает доступ к деталям камеры анализатора при их чистке и промывке, а также смену катодов в ионном источнике. Фланец (15) через уплотнительные прокладки закреплен в корпусе анализатора (14) при помощи 6 болтов М6.
Ионный источник состоит из двух катодов, корпуса ионизатора, выходной и фокусирующей диафрагм, деталей установки и крепления. Катод представляет собой спираль из вольфрамовой проволоки.
Подача питания на электроды ионного источника и приемника ионов осуществляется через 7- штырьковый герметичный разъем (5) посредством токопроводов.
Анализатор расположен в межполюсном зазоре постоянного магнита с напряженностью магнитного поля от 0,17 до 0,25 Тл. Конструкция камеры не требует съема магнита при проведении профилактических работ внутри камеры.
Схема подачи напряжений на электроды анализатора приведена на рисунке 6.
Рисунок 6 – Схема подачи напряжений на электроды анализатора
Примечание - Включение и переключение катодов производится при помощи оптоэлектронных реле расположенных в устройстве питания анализатора. Нерабочий катод находится под потенциалом рабочего и является электронным зеркалом, обеспечивающим повышение эффективной плотности электронного пучка в камере ионизатора.
3.2.3.2 Турбомолекулярный насос
Турбомолекулярный насос представляет собой малогабаритный турбомолекулярный насос, включающий высокооборотную турбину. Данная модель используется с естественным воздушным охлаждением. Управление работой насоса ТМН 150/63 осуществляется от встраиваемого в блок управления течеискателя контроллера ТМН. Питание контроллера ТМН осуществляется от источника 24 В.
3.2.3.3 Азотная ловушка
Корпус азотной ловушки выполнен, в виде полого цилиндра с двумя торцевыми фланцами. Сверху в корпусе с зазором вставляется и крепится к верхнему фланцу резервуар для жидкого азота. Резервуар имеет со стороны горловины ловушки тепловую развязку, представляющую собой тонкостенную металлическую трубку. Емкость резервуара 1 л.
Примечание – Течеискатель обеспечивает заданные технические характеристики без применения жидкого азота.
3.2.3.4 Клапаны
Все клапаны, за исключением клапана НАПУСК выполнены с сильфонной герметизацией привода.
Устройство клапана КС25, клапаны V7 (ЗАЩИТА ВХОДА) и V2 ( ОТКАЧКА ТМН), приведено на рисунке 7.
Рисунок 7 – Устройство клапана сильфонного КС-25 с электромагнитным приводом
Клапаны сильфонные с электромагнитным приводом состоят из корпуса-2, электромагнита-9 с катушкой-7, якоря-8, штока-1, пружины-5, заслонки клапана-4, гайки-6, кнопки сигнализации-10, крестовины-3.
Открытие клапана производится электромагнитом, который при подаче на него напряжения втягивает якорь, а вместе с ним шток и заслонку. При втягивании якоря срабатывает кнопка сигнализации. При прекращении подачи тока в цепь катушки электромагнита якорь, вместе со связанной с ним заслонкой, возвращается в исходное положение под действием пружины и клапан закрывается.
В клапане имеется возможность регулировки усилия уплотнения заслонки по седлу, создаваемого пружиной. Для этой цели служит гайка, воздействующая на пружину. Регулировка производится при снятом электромагните и якоре.
Для получения требуемой точности сопряжения пары седло - заслонка клапан имеет специальную направляющую деталь - крестовину.
3.2.4 Блок управления
Блок крепится непосредственно к каркасу СВ с помощью четырех винтов.
Основным несущим элементом конструкции блока является панель из алюминиевого листа. На панели установлены блоки питания, печатная плата коммутации (кросс-плата), а также все остальные элементы электрической схемы.
3.2.5 Устройство клавиатуры и индикации (УКИ)
УКИ выполнено в виде пластмассового корпуса. На лицевой панели УКИ расположен экран жидкокристаллического дисплея вывода информации и пленочная клавиатура управления течеискателем. На задней панели УКИ расположен разъем для подключения кабеля к течеискателю, регулятор громкости встроенного динамика звукового сигнала, динамик.
Внешний вид и назначение органов управления и индикации УКИ показаны на рисунках 8,9
Рисунок 8 - Внешний вид и назначение органов управления и индикации на лицевой панели
На лицевой панели расположены:
1 – Экран УКИ-22
2 – Кнопка ПУСК с индикатором включения
3 - Кнопка ЗАЩИТА ВХОДА с индикатором включения
4 - Кнопка СТОП с индикатором включения
5 - Кнопка АВАРИЯ с индикатором включения
6 - Кнопка ТЕЧЬ с индикатором включения
7 – Кнопка включения катода «К1» с индикатором включения
8 – Кнопка включения катода «К2» с индикатором включения
9 – Кнопка включения ИНДИКАТОРА ВЫНОСНОГО с индикатором включения
10,11 – Кнопки «F1», «F2» функциональные (в данной конструкции прибора не используются)
12 – Кнопка «F3» управление разверткой графика
13 – Индикатор включения питания
14 – Кнопочная клавиатура ввода значений
15,16 – Кнопки ВЫБОР, ВВОД режима установок
17,19 – Кнопки ВЫБОР, ВВОД выбора режима работы
18 – Индикатор времени наработки (не задействован)
20,21 – Кнопки ВЫБОР, ВВОД выбора контролируемого параметра
22,23 – Кнопки ВЫБОР,ВВОД режима установки блокировок и печати
24 – Индикатор ПЕЧАТЬ
25 – Индикатор αф
26 – Индикатор блокировки Р3
27 – Индикатор блокировки Р2
28 – Индикатор блокировки Р1
29 – Индикатор режима блокировок
30 – Индикатор контроля потока Qт от встроенной течи ГЕЛИТ 1
31 – Индикатор контроля αф
32 – Индикатор контроля Р3
33 – Индикатор контроля Р2
35 – Индикатор контроля Р1
34 – Индикатор режима контроль
36 – Индикатор режима работа
37 – Индикатор режима АПС
38 – Индикатор режима ПРЯМОТОК
39 – Индикатор режима ПРОТИВОТОК
40 – Индикатор режима БАЙПАС
41 – Индикатор (не используется)
42 – Индикатор режима установки
43 – Индикатор тока эмиссии Iэ
44 – Индикатор анодного напряжения Uа
45 – Индикатор супрессорного напряжения Us
46 – Индикатор ПОРОГ
47 – Индикатор ЧАСЫ
Внешний вид задней панели УКИ представлен на рисунке 9
1 – Гнездо для подключения головных телефонов
2 – Разъем для подключения УКИ-22 к блоку управления течеискателя
3 – Регулятор громкости звукового сигнала встроенного динамика
Рисунок 9 - Внешний вид и назначение органов управления и индикации на задней панели
3.2.6 Передняя панель СВ - индикация состояния вакуумной системы
Панель индикации вакуумной системы и ручные дроссели Др1 и Др2 расположены на передней вертикальной стенке вакуумной системы. Светодиодные индикаторы показывают состояние элементов вакуумной схемы при работе течеискателя в различных режимах. При включенном индикаторе элемент включен (открыт – для клапанов). Исключение, клапан V5 (НАПУСК) – при включенном индикаторе - клапан закрыт. Индикатор ТМН имеет различный цвет свечения. В режиме разгона ТМН цвет индикатора желто/оранжевый, при работе ТМН на номинальных оборотах цвет индикатора зеленый. Индикаторы датчиков давления показывают, что на датчики давления и преобразователи каналов давления подано напряжение питания. Положение ручных дросселей Др1 и Др2 контролируется визуально и вращением рукоятки дросселя. Открытие дросселя осуществляется поворотом рукоятки против часовой стрелки до упора, закрытие дросселя поворотом рукоятки по часовой стрелке до упора.
Внешний вид панели индикации вакуумной системы и назначение индикаторов показано на рисунке 10.
1- Индикатор N1 состояние ТМН
2 – Индикатор S состояние датчика Р2.2
3 – Индикатор ОТКАЧКА ТМН состояние клапана V2
4 – Индикатор N2 состояние ФВН
5 – Индикатор Р1 датчика Р1
6 - Индикатор НАПУСК состояние клапана V5
7 – Индикатор Р2 1 состояние датчика Р1.2
8 – Индикатор БАЙПАС состояние клапана V3
9 – Индикатор ЗАЩИТА ВХОДА состояния клапана V7
10 – Индикатор Не состояния клапана V6
11 – Индикатор Р3 состояние датчика Р3
12 – Привод Др2 ручного клапана V1
13 – Привод Др1 ручного клапана V4
В обозначение элементов приведено в соответствии с принципиальной вакуумной схемой.
Рисунок 10 – Внешний вид панели индикации вакуумной системы
3.2.7 Задняя панель СВ – подключение питания и выносного индикатора
Внешний вид задней панели СВ и назначение разъемов, показан на рисунке 11
1 – разъем подключения кабеля питания
2 – автоматический выключатель сетевого питания
3 - клемма для подключения, заземляющего проводника
4 - выключатель СЕТЬ
5 – разъем для подключения внешнего компьютера
6 – разъем для подключения кабеля УКИ-22
7 – разъем для подключения выносного индикатора
Рисунок 11 – Внешний вид задней панели СВ
3.2.8 Комплект принадлежностей поставляемых с течеискателем
Примечание - Номера указанные в скобках, приведены в соответствии с таблицей 1.
Обдуватель. (2.12)
Обдуватель предназначен для обдува испытуемых объектов гелием. Внутри обдувателя находятся два штуцера. На один из штуцеров устанавливается выходное сопло (2.21). На другой штуцер одевается резиновая трубка (2.23), соединяющая обдуватель с объемом, наполненным гелием. Передвижная колодка в корпусе обдувателя обеспечивает два его состояния: Откр и Закр. На корпусе имеется регулировочный винт для изменения потока пробного газа. В нерабочем положении и при хранении передвижная колодка на корпусе обдувателя должна находиться в положении Откр для предотвращения деформации внутренней трубки обдувателя.
Щуп (2.26)
Щуп предназначен для обнаружения мест течей в испытуемых объектах, которые не подсоединяются непосредственно к вакуумной системе течеискателя. Площадь поперечного сечения входного отверстия щупа может изменяться вращением накидной гайки на тыльной стороне щупа.
Примечание – Нерегулируемые (полнопоточные) щупы (2.29) поставляются по отдельному заказу.
Тройник (2.22)
Тройник предназначен для установки на входе течеискателя. Представляет собой фланец с двумя штуцерами. Один штуцер служит для подсоединения внешней откачной системы, другой для соединения со щупом через резиновую вакуумную трубку.
3.2.9 Конструкция форвакуумного насоса приведена в техническом описании насоса, входящем в комплект поставки на насос.
4 Описание работы системы управления течеискателем
4.1 Устройство управления и индикации УКИ
УКИ предназначено для управления работой течеискателя, контроля исправности системы в процессе запуска и работы, индикации текущих давлений в испытуемом объекте и на различных участках вакуумной системы, индикации потоков регистрируемых анализатором.
УКИ позволяет в режиме эксплуатации осуществлять:
- включение и остановку с индикацией работы течеискателя;
- выбор и индикацию включения выбранного режима работы течеискателя;
- индикацию и установку тока эмиссии рабочего катода;
- индикацию и установку ускоряющего напряжения анализатора;
- индикацию и установку супрессорного напряжения анализатора;
- индикацию и установку порога регистрации течи;
- индикацию и установку времени наработки (временно отсутствует);
- индикацию и установку размерности регистрируемых давлений и потоков;
- индикацию и установку размерности и значения срабатывания блокировки по давлениям Р1,Р2,Р3 и значению ионного тока анализатора α ф ;
- индикацию и переключение работающего катода;
- индикацию и включение выносного индикатора потока;
- индикацию наличия течи;
- индикацию аварийного состояния системы;
- запись результатов измерений (при подключенном внешнем IBM совместимом компьютере распечатку результатов измерений).
В режиме настройки УКИ позволяет осуществлять:
- установку напряжений работы анализатора;
- установку значения вcтроенной течи.
При подаче питания происходит включение и запуск программы тестирования узлов течеискателя.
Примечание – При опросе обнаружение неисправного элемента опрос останавливается до устранения причин ошибки, дальнейшее исполнение программы включения течеискателя не возможно. При этом включается индикатор АВАРИЯ и, при последовательном нажатии кнопки Авария (последовательное обращение к устройствам) - выводится информация о неисправном узле.
Аналогично, в случае выхода из строя узла при работе течеискателя, включается индикатор АВАРИЯ и выводится информация о неисправном узле. Выполнение программы прекращается до устранения причин аварии.
Исключение составляет управление катодами. Предусмотрено ручное переключение при выходе из строя рабочего катода с К1 на К2 .
При положительных результатах опроса включаются индикаторы режимов УСТАНОВКА, КОНТРОЛЬ, БЛОКИРОВКИ и включается индикатор кнопки ПУСК.
Включение индикатора кнопки ПУСК говорит о возможности безаварийного запуска системы.
После нажатия кнопки ПУСК – на экран выводится сообщение о необходимости проверки состояния Др1и Др2. Клапаны должны быть закрыты.
ВНИМАНИЕ! Сообщения о необходимости контроля положения дросселирующих клапанов Др1 и Др2 введены в программу управления в связи с отсутствием на указанных клапанах датчиков положения (ОТКРЫТ/ЗАКРЫТ). Для устранения аварийных режимов работы течеискателя, и, как следствие, срабатывания защитных блокировок в процессе работы следует точно выполнять команды, выводимые на экран ЖКИ.
Примечание - Указания о закрытии/открытии ручных дросселей могут дублировать выполненные действия, в зависимости от того, какой режим работы предшествовал выбранному. Например, при сообщении «ЗАКРОЙТЕ ДР1 и ДР2» может оказаться, что один или оба дросселя уже были закрыты в процессе выполнения предыдущей операции. В этом случае нужно подтвердить выполнение указания нажатием кнопки «ВВОД» соответствующего поля. Дублирование указаний ошибкой или неисправностью не считается.
При появлении сообщения о необходимости контроля положения Др1 или Др2 оператору необходимо выполнить указания программы управления и подтвердить выполнение операции нажатием кнопки ВВОД.
После нажатия кнопки ПУСК производится включение клапана V5 (НАПУСК).
Примечание - Клапан V5 в отличие от остальных электромагнитных клапанов СВ является инверсным – при подаче питания он находится в закрытом состоянии. В случае аварийного отключения питания в процессе работы все клапана СВ переходят в закрытое состояние исключая повреждение ТМН или катодов анализатора, а клапан V5 в открытое состояние напуская воздух в СВ для исключения попадания паров масла из ФВН по форвакуумной магистрали в анализатор и элементы СВ находящиеся в процессе работы под вакуумом.
После включения клапана V5 (CВ – изолирована от внешней атмосферы) включается ФВН, включается клапана V2,V6 и на экран ЖКИ выдается сообщение ОТКРОЙТЕ ДР1.
В данном состоянии СВ производится откачка форвакуумной линии до клапана V3 и линии анализатора, ТМН и азотной ловушки через клапан V2. Линия подключения гелита и клапана V7 не откачивается так как закрыт дроссель Др1. После того как оператор откроет дроссель Др1 и подтвердит выполнения операции нажатием кнопки ВВОД с экрана будет убрано сообщение ОТКРОЙТЕ ДР1. СВ подключена полностью к ФВН и производится ее откачка до достижения давления Р1 в СВ равного 50 Па. При этом на экран ЖКИ выводится сообщение, ИДЕТ ОТКАЧКА. При давлении Р1 равном и менее 50 Па контроллер выдает команду на запуск ТМН.
Примечание – Турбомолекулярный насос предназначен для создания и поддержания сухого (безмаслянного вакуума) в камере анализатора со степенью разрежения менее 0, 01 Па. Запуск и работа ТМН при давлениях на выходном патрубке насоса более 50 Па не обеспечивает рабочих давлений в анализаторе, приводит к перегреву статорных обмоток ТМН и срабатыванию защиты контроллера ТМН.
После подачи команды на включение ТМН переходит в режим разгона (набор оборотов турбины), а затем в номинальный режим работы 42 000 об/мин. Время разгона ТМН составляет не более 3мин. После достижения номинальных оборотов на экран ЖКИ выводится сообщение ОЖИДАНИЕ ДАВЛЕНИЯ Р2 и происходит закрытие клапана V6 и выдача на экран сообщения ЗАКРОЙТЕ ДР1. После подтверждения о выполнении закрытия ДР1 по кнопке ВВОД сообщение ЗАКРЫТЬ ДР1 убирается с экрана. В данном состоянии ТМН откачивает участок СВ, состоящий из анализатора и азотной ловушки, до рабочего давления включения катода. Давление в анализаторе контролируется датчиком Р2.1. При достижении давления в анализаторе меньше 0,1 Па происходит включение рабочего катода (по умолчанию К1) на ток эмиссии 15 мкА (теневой режим), необходимый для работы ионизационного датчика и переключение датчика давления с манометрического (Р2.1) на ионизационный датчик Р2.2.
Примечание –Переход с манометрического датчика (ПМТ6-3М-1) на ионизационный обусловлен диапазоном измеряемых давлений и быстродействием. Манометрические датчики в диапазоне давлений менее 0,1 Па дают значительную погрешность измерений и обладают большей инерционностью по сравнению с ионизационными. По этой причине невозможно реализовать отключение катода при аварийном (для работающего катода) давлении в камере более 0,1 Па по сигналу манометрического датчика.
При включении рабочего катода включается индикатор кнопки работающего катода К1 и с экрана убирается сообщение ОЖИДАНИЕ ДАВЛЕНИЯ Р2. Если в процессе запуска течеискателя обнаружена неисправность К1 следует включить К2, убедившись, что выход катода из строя не связан с отсутствием рабочего давления в камере анализатора.
Программа запуска течеискателя и готовности к работе считается законченной при выводе на экран сообщения ГОТОВ, ВЫБЕРИТЕ Iэ, РЕЖИМ РАБОТЫ.
После появления сообщения о готовности течеискателя следует установить ток эмиссии рабочего катода, согласно рекомендациям режима УСТАНОВКИ.
4.2 Выбор режима работы.
В течеискателе предусмотрены следующие режимы работы.
Автоматическая подстройка сигнала на пик гелия – АПС.
Работа течеискателя в режиме прямого потока - ПРЯМОТОК.
Работа течеискателя в режиме противотока и щупа - ПРОТИВОТОК.
Предварительная откачка подключенного объекта - БАЙПАС.
Выбор режима работы осуществляется последовательным нажатием кнопки ВЫБОР, расположенной под столбцом светодиодных индикаторов, обозначенных надписью РАБОТА. Установка выбранного режима производится нажатием кнопки ВВОД, расположенной рядом с копкой ВЫБОР. При нажатии кнопки ВВОД подсвечивается индикатор выбранного режима.
Примечание - При подготовке включения выбранного режима следует выполнять «подсказки» текстовых сообщений.
АВТОМАТИЧЕСКАЯ ПОДСТРОЙКА СИГНАЛА – АПС.
Режим автоматической подстройки течеискателя на пик гелия предназначен для автоматической регулировки ускоряющего напряжения Uа анализатора, с целью корректировки радиуса равновесной орбиты ионов гелия.
На результаты измерения оказывают влияние в совокупности - внешняя температура в помещении при проведении испытаний, время прошедшее после включения течеискателя, гелиевый фон помещения, влажность в помещении, в каком установленном режиме (противоток или прямоток) производится измерение.
Для получения наиболее достоверных результатов в процессе эксплуатации необходимо производить регулярную подстройку анализатора, в зависимости от требований предъявляемых к измерениям.
Запуск программы АПС осуществляется после выбора режима и нажатия кнопки ВВОД. На экран ЖКИ выводится сообщение ЗАКРЫТЬ ДР1 И ДР2 (См.стр.20 Внимание!).
После подтверждения выполнения операции, нажатием кнопки ВВОД, сообщение ЗАКРОЙТЕ ДР1 И ДР2 убирается с экрана ЖКИ и запускается программа автоподстройки Uа анализатора. Рабочий катод переводится в теневой режим, на экран выводится сообщение
ОТКРЫТЬ ДР1. После открытия ДР1 нажать кнопку ВВОД режима АПС. Сообщение ОТКРЫТЬ ДР1 убирается с экрана, открывается клапан V6 и выводится сообщение ИДЕТ СТАБИЛИЗАЦИЯ ДАВЛЕНИЯ Р2. После достижения давления Р2 в анализаторе менее 0,1 Па закрывается клапан V6 и включается катод на установленный ток эмиссии. Экран ЖКИ переводится в графический режим работы. На графике отображается установленное значение порога в виде прямой линии и фоновый ток анализатора в виде переменной. Клапан V6 открывается и поток от гелиевой течи через открытый дроссель Др1 поступает в анализатор.
Примечание - Программой АПС производится изменение ускоряющего напряжения Ua в диапазоне +/-10В от установленного значения Ua. Поэтому начальная расстройка Uа должна быть менее 10В. При первой настройке следует выбрать значение Uа внутри перестраиваемого диапазона. Ручная настройка осуществляется подбором значения Uа в поле УСТАНОВКИ. Рекомендуемое значение Ua, полученное на предприятии изготовителе при настройке течеискателя, указано в формуляре.
Внимание! При значительных шумах вакуумной системы настройка АПС может быть неточной. Выбранное значение Ua может не соответствовать максимальному сигналу пика He. В этом случае необходимо повторять АПС до установления требуемого Ua, либо ввести вручную значение Ua, соответствующее максимальному сигналу пика He. Для этого необходимо, наблюдая за выполнением АПС, зафиксировать Ua и ввести его значение в поле «УСТАНОВКИ».
При выполнении подстройки анализатора в текстовой строке экрана ЖКИ выводится сообщение ИДЕТ НАСТРОЙКА НА ПИК НЕ.
При окончании настройки Ua на максимальное значение ионного тока от гелиевой течи, клапан V6 закрывается и выполняется расчет минимальной чувствительности. По окончании расчета на экран выводится сообщение, НАСТРОЙКА ЗАВЕРШЕНА, ВЫБЕРИТЕ РЕЖИМ РАБОТЫ. При этом на экран ЖКИ в текстовой строке выводится расчетное значение минимального потока Qmin.
При окончании настройки Ua на максимальное значение ионного тока от гелиевой течи, клапан V6 закрывается и выполняется расчет минимальной чувствительности. По окончании расчета на экран выводится сообщение НАСТРОЙКА ЗАВЕРШЕНА, ВЫБЕРИТЕ РЕЖИМ РАБОТЫ. При этом на экран ЖКИ в текстовой строке выводится расчетное значение минимального потока Qmin. АПС считается завершенной, если график изменения сигнала имеет выраженный экстремум.
Примечание – При расчете используется значение эталонной течи (Гелит 1) Qт. Значение Qт вводится при изготовлении прибора на заводе и может быть изменено при замене эталонной течи изменением значения Qт в поле «КОНТРОЛЬ». Рекомендуется использовать подбор значения Qт для калибровки прибора по внешней эталонной течи, так, чтобы индицируемый поток натекания соответствовал значению потока используемой эталонной течи.
РАБОТА В РЕЖИМЕ БАЙПАСНОЙ ОТКАЧКИ. БАЙПАС
Работа в режиме байпасной откачки используется для подготовки испытуемого объекта или щупа к проведению испытаний на герметичность, т.е. создание давления Р3, достаточного для безаварийного соединения подключенного объекта с камерой анализатора.
Запуск программы БАЙПАС осуществляется после выбора режима и нажатии кнопки ВВОД. На экран ЖКИ выводится сообщение ЗАКРЫТЬ ДР1 И ДР2 (см. стр. 20 Внимание!).
При закрытии клапана V2 ОТКАЧКА ТМН, открывается клапан V3 БАЙПАС и начинается откачка объекта форвакуумным насосом N2. Откачка продолжается до достижения Р3 значения, установленного для Р3 в поле БЛОКИРОВКИ. При достижении указанного значения выдается сообщение ГОТОВ БАЙПАС. ВЫБЕРИТЕ РЕЖИМ РАБОТЫ
РАБОТА В РЕЖИМЕ ПРОТИВОТОК
Этот режим работы предназначен для работы по способу щупа или по способу обдува. Режим противотока предназначен для работы в диапазоне входных давлений от 1 до 50 Па. Режим противотока применяется для обнаружения больших утечек с высокой концентрацией гелия в зоне утечки. (Грубый режим )
СПОСОБ ЩУПА
Способ щупа применяется для обнаружения мест течей в газонаполненных объектах имеющих избыточное давление, во внутреннюю полость которых введен гелий. Для достижения наибольшей достоверности обнаружения течей, избыточное давление должно быть максимально допускаемым конструкцией испытуемого объекта. Как правило, избыточное давление создается газовой смесью с 5-10 % концентрацией гелия. Щуп представляет собой засасывающее устройство, подключаемое к входному фланцу течеискателя. Расстояние между всасывающим соплом и обследуемой поверхностью должно быть минимальным. При приближении к месту течи поток газа, всасываемый щупом, обогащается молекулами гелия, что фиксируется течеискателем. Величина регистрируемых потоков зависит от размера отверстий в объектах, концентрации гелия, избыточного давления гелия в объекте, наличием воздушных потоков в зоне измерения, скорости перемещения всасывающего сопла относительно течи и др. факторов. Для оценки негерметичности рекомендуется повторить замер несколько раз.
Примечание – При использовании щупа из комплекта поставки оператор должен установить входное давление по показаниям датчика Р3 менее 50 Па, плавно открывая щуп от полностью закрытого состояния. При использовании (полнопоточных щупов) данная операция не требуется.
При работе с полнопоточным щупом на наконечник щупа должна быть установлена герметизирующая заглушка, которая снимается после выполнения байпасной откачки и открытия дросселя ДР2.
На рисунке 12 представлена коммутация вакуумной схемы при работе по способу щупа в режиме противотока.
Рисунок 12 – Способ щупа при работе в режиме ПРОТИВОТОК
СПОСОБ ОБДУВА
Способ обдува применяется для поиска течей в объектах, подключаемых к течеискателю и позволяющих создавать разрежение в объеме испытуемого объекта. Подозреваемые на течь места обдуваются потоком гелия с помощью обдувателя, подключаемого к источнику гелия, находящемуся под давлением. При обдуве на определение течи влияет разбавление струи гелия воздухом, время обдува, не выявление течи вследствие быстрого перемещение обдувателя по испытуемой поверхности или пропуск отдельных участков. Для объектов, имеющих объем более 10 л, при использовании способа обдува рекомендуется применять дополнительные средства откачки. Способ обдува может использоваться как в режиме ПРОТИВОТОКА, так и в режиме ПРЯМОТОКА, при обеспечении необходимого разряжения в объекте.
На рисунке 13 представлена коммутация вакуумной схемы и направление условных потоков пробного газа при работе в режиме противотока по способу обдува.
Рисунок 13 – Способ обдува при работе в режиме ПРОТИВОТОК
Запуск режима ПРОТИВОТОК осуществляется установкой режима кнопкой ВЫБОР и нажатием кнопки ВВОД.
После нажатия кнопки ВВОД на экран ЖКИ выводится сообщение ЗАКРЫТЬ ДР1 И ДР2 (см. стр. 20 Внимание!). После выполнения действий оператор должен повторно нажать кнопку ВВОД, расположенную под светодиодными индикаторами РАБОТА, сообщение ЗАКРЫТЬ ДР1 и ДР2 будет убрано с экрана ЖКИ.
Программа управления закрывает клапан V2 (ОТКАЧКА ТМН) и открывает клапан V3 (БАЙПАСНАЯ ОТКАЧКА). Подключенный объект или полость щупа откачиваются до давления, соответствующего уставке Р3 .
Примечание – При использовании щупа из комплекта поставки оператор должен установить входное давление по показаниям датчика Р3 менее 50 Па, плавно открывая щуп от полностью закрытого состояния.
После достижения давления в объекте и подключенных магистралях течеискателя менее 50 Па линия БАЙПАСНАЯ ОТКАЧКА закрывается (выключается клапан V3) и включается клапана V2 (ОТКАЧКА ТМН) и V7 (ЗАЩИТА ВХОДА). На экране ЖКИ выводится сообщение ОТРЕГУЛИРУЙТЕ ДР2, СЛЕДИТЕ ЗА ДАВЛЕНИЕМ Р2.
Примечание – На данном этапе необходимо плавно приоткрывая дроссель Др2 соединить откачанный до давления менее 50 Па объект или щуп.
При использовании полнопоточных щупов, по достижении Р3, следует полностью открыть Др.2 (V8), после чего снять защитный колпачок с головки щупа.
РАБОТА В РЕЖИМЕ ПРЯМОГО ПОТОКА. ПРЯМОТОК
Работа в режиме прямого потока применяется для высокочувствительного контроля герметичности объектов, позволяющих получить давление Р3 менее 5 Па. Как правило, режим прямого потока применяется для реализации способа обдува или вакуумной камеры.
СПОСОБ ВАКУУМНОЙ КАМЕРЫ
Применяется для проверки герметичности газонаполненных объектов или их элементов. Для проведения испытаний изделие заполняется гелием и герметизируется. Изделие помещается в вакуумную камеру. Течеискатель присоединяется к вакуумной камере. Камера откачивается до рабочих давлений, предусмотренных требованиями на изделие. На основании регистрируемых течеискателем потоков определяется герметичность изделия по нарастанию гелиевого фона за определенное время. Изделие также может заполняться гелием непосредственно в вакуумной камере.
На рисунке 14 представлена коммутация течеискателя для проведения испытаний способом вакуумной камеры.
Рисунок 14 – Схема вакуумных испытаний на герметичность способом вакуумной камеры в режиме ПРЯМОТОК
Запуск режима ПРЯМОТОК осуществляется установкой режима кнопкой ВЫБОР и нажатием кнопки ВВОД.
После нажатия кнопки ВВОД на экран УКИ-22 выводится сообщение ЗАКРЫТЬ ДР1 и ДР2 (см. стр. 20 Внимание!). После выполнения действий оператор должен повторно нажать кнопку ВВОД, расположенную под светодиодными индикаторами РАБОТА, сообщение ЗАКРЫТЬ ДР1 и ДР2 будет убрано с экрана УКИ-22. Программа управления закрывает клапан V2 (ОТКАЧКА ТМН) и открывает клапан V3 (БАЙПАСНАЯ ОТКАЧКА).
Примечание – При работе в режиме прямоток оператор должен установить значение уставки Р3 равным минимальному давлению, обеспечиваемому форвакуумными агрегатами.
После достижения установленного давления в объекте и подключенных магистралях БАЙПАСНАЯ ОТКАЧКА закрывается (выключается клапан V3) и включается клапан V2 (ОТКАЧКА ТМН) и V7 (ЗАЩИТА ВХОДА). На экране ЖКИ выводится сообщение ОТРЕГУЛИРУЙТЕ ДР1, СЛЕДИТЕ ЗА ДАВЛЕНИЕМ Р2.
Примечание - На данном этапе необходимо плавно приоткрывая дроссель Др1 соединить откачанный объект с камерой анализатора.
ВНИМАНИЕ ! В случае превышения установленного значения давления Р2 в камере анализатора сработает блокировка по Р2 (сообщение «нет Р2»), выключится клапан V7 , выключится катод. В этом случае необходимо вручную включить V7 нажатием кнопки «Защита входа», затем выбранный для работы катод (К1 или К2) нажатием соответствующей кнопки, либо повторить операцию подключения в автоматическом режиме согласно данному разделу. Следует помнить, что блокировки срабатывают за время около 200 мс (0,2 с) и, следовательно, включенный катод при превышении давления будет травмирован, хотя и сохранит работоспособность.
ВНИМАНИЕ ! При неосторожном подключении камеры анализатора к испытуемому объекту и срабатывании блокировок во всех режимах работы снижается ресурс катодов.
5 Порядок работы с течеискателем
5.1 Эксплуатационные ограничения
В помещении, где должен проводиться контроль герметичности, не должно быть посторонних источников гелия.
Перед началом работы необходимо ознакомиться с настоящим руководством по эксплуатации и в дальнейшем выполнять все изложенные в нем требования.
Если течеискатель внесен в помещение после пребывания при относительной влажности, превышающих допустимые рабочие значения, то перед включением его необходимо выдержать в нормальных условиях в течение не менее 24 ч. После нахождения течеискателя при отрицательных температурах его необходимо выдержать в нормальных условиях в течение не менее 8 ч. К месту проведения контроля герметичности должна быть подведена сеть напряжением 220 В, частотой 50 Гц. Розетка для подключения течеискателя должна быть оборудована контактом заземления.
ВНИМАНИЕ! В ПОМЕЩЕНИЯХ ДЛЯ ПРОВЕДЕНИЯ ИСПЫТАНИЙ И ХРАНЕНИЯ НЕ ДОЛЖНО СОДЕРЖАТЬСЯ ПЫЛИ, АГРЕССИВНЫХ ГАЗОВ И ДРУГИХ ВРЕДНЫХ ПРИМЕСЕЙ, СПОСОБНЫХ ВЫЗВАТЬ КОРОЗИЮ ПОКРЫТИЙ И ЭЛЕМЕНТОВ ТЕЧЕИСКАТЕЛЯ.
5.2 Подготовка течеискателя к работе
5.2.1 После распаковывания течеискателя следует проверить комплектность согласно таблице 1, отсутствие механических повреждений и сохранность пломб изготовителя. Установку течеискателя следует производить, обеспечив свободный доступ к течеискателю со всех сторон.
5.2.2 Ослабить стопорение амортизаторов ФВН и залить в насос масло в соответствии с рекомендациями руководства по эксплуатации.
Внимание! Допускается поставка течеискателя с форвакуумным насосом, заправленным маслом на предприятии изготовителе. При поставке форвакуумного насоса заправленного маслом в формуляре делается отметка.
Подключить кабель (DB9M-DB9F) соединения УКИ-22 и СВ к соответствующим разъемам.
Перед проведением испытаний необходимо надежно заземлить корпус течеискателя. (При наличии розетки 220 В 50 Гц, оборудованной заземляющим контактом, заземление корпуса течеискателя дополнительным проводником, подключаемым к клемме заземления можно не производить).
Проверить положение дросселирующих клапанов Др1 и Др2 – клапаны должны находится в закрытом положении. Проверить положение автоматического выключателя и выключателя СЕТЬ УКИ-22 – выключатели и должны находиться в положении «0».
Перед началом работы необходимо ознакомиться с расположением и назначением органов управления и контроля, сделать отметку в разделе 10 «Учет работы изделия» формуляра.
5.3. Управление течеискателем ТИ1-22 (ГЕЛМАСС)
КОММЕНТАРИЙ:
1 Для всех режимов работы, кроме первого включения, исходное состояние элементов управления одинаковое – V2 открыт, все остальные клапана и ручные дроссели закрыты.
2 Во всех случаях при Р2 < 1 Па катод включен на ток эмиссии 15 мкА (теневой режим)
3 Далее по тексту указание «катод выключается» или «катод выключен» означает переход с установленного тока эмиссии в теневой режим.
4 Включение или изменение выбранного режима производится только при окончании переходных процессов ранее запущенного режима. К примеру, сообщение ГОТОВ ПРОТИВОТОК позволяет работать в противотоке или включить любой другой режим - АПС, ПРЯМОТОК, БАЙПАС. Исходное состояние–подключен сетевой кабель,V5 – открыт, все остальные клапаны закрыты. Ручные дросселиДр1 и Др2 закрыты.
5.3.1. Включение
Включить сетевой автомат и выключатель СЕТЬ на задней панели течеискателя, при этом:
- подается питание на блоки питания, загорается индикатор СЕТЬ на УКИ, включаются часы;
- выдается сообщение об изготовителе, наименование прибора, номер версии программного обеспечения.
Примечание - Если при включении прибора включится индикатор кнопки АВАРИЯ, следует установить причину аварийной ситуации, удерживая или многократно нажимая кнопку АВАРИЯ. При этом происходит опрос устройств и выдается информация о неисправности на дисплее прибора. Дальнейшие действия рекомендуется производить после устранения аварийной ситуации.
Внимание !
При аварийном кратковременном отключении питания в процессе работы течеискателя, возможен разгон ТМН до максимальных оборотов (60 000 об/мин), с последующим снижением скорости вращения до номинальных оборотов (42 000 об/мин). Данный режим связан с особенностями работы контроллера ТМН и не приводит к выходу из строя течеискателя. Для возврата в режим работы нажать кнопку ПУСК.
Нажать кнопку ПУСК, при этом:
- зажигаются СД подсветки полей УСТАНОВКИ, РАБОТА, КОНТРОЛЬ, БЛОКИРОВКИ;
- включается дисплей для ввода цифровой информации и вывода сообщений;
- зажигаются СД разрешения пользования полями УСТАНОВКИ, КОНТРОЛЬ, БЛОКИРОВКИ, включаются органы управления этими полями;
- закрывается V5, включается N2, открывается V2, V6, выдается сообщение ОТКРОЙТЕ ДР.1;
- включаются преобразователи Р1, Р3, выдается сообщение ИДЕТ ОТКАЧКА. (величина ожидаемого давления Р1 устанавливается в поле БЛОКИРОВКИ, рекомендуется устанавливать Р1 равным 5 Па);
- при Р1< 100 Па, включается ТМН (N1), включается манометрический преобразователь Р2-1;
- при Р2 < 1 Па и выходе ТМН (N1) на номинальные обороты выдается сообщение ОЖИДАНИЕ ДАВЛЕНИЯ Р2 (величина ожидаемого давления Р2 устанавливается в поле БЛОКИРОВКИ, рекомендуется устанавливать Р2 0,1 Па);
- при достижении установленного значения Р2 закрывается V6, на экран ЖКИ выводится сообщение, ЗАКРОЙТЕ ДР.1 и далее
- включается катод на ток эмиссии 15 мкА (теневой режим)
- включается ионизационный датчик Р2_2,
- включается блок питания анализатора.
- на дисплее появляется значение тока эмиссии 15 мкА.
- выдается сообщение ГОТОВ, ВЫБЕРИТЕ Iэ, РЕЖИМ РАБОТЫ.
Примечание - При перегорании катода 1 следует перейти на работу со 2 катодом. Для этого нажать кнопку К2 на панели УКИ
Ввести значение тока эмиссии катода. В линейке установки выбрать Iэ и установить рабочий ток эмиссии. По умолчанию катод будет включен на ток эмиссии, установленный при предыдущем включении.
Выбрать необходимый режим работы.
Внешний вид экрана после включения в режиме установки рабочего тока эмиссии представлен на рисунке 15.
Рисунок 15 – Вид экрана в режиме готовности к работе
5.3.2 Выбор режима работы
Осуществляется перемещением подсветки по вертикальному столбцу РАБОТА нажатием кнопки ВЫБОР. При установке в выбранной строке нажать соответствующую кнопку ВВОД.
5.3.2.1 Режим автоматической подстройки анализатора. АПС
При выборе режима АПС:
- в нижней строке экрана выдается сообщение ЗАКРОЙТЕ ДР1 И ДР2 /НАЖМИТЕ ВВОД. Нажать кнопку ВВОД.
- по сообщению ОТКРОЙТЕ ДР1/НАЖМИТЕ ВВОД. Полностью открыть ДР1 и нажать кнопку ВВОД.
В текстовой строке экрана выдается сообщение ИДЕТ СТАБИЛИЗАЦИЯ ДАВЛЕНИЯ Р2
При достижении рабочего давления Р2 в анализаторе менее установленного в поле БЛОКИРОВКИ (рекомендуемое Р2= 0,1Па) выполняется настройка анализатора изменением Ua , а в текстовой строке выдается сообщение ИДЕТ НАСТРОЙКА НА ПИК НЕ.
Примечание - При ручном открытии клапана гелиевой течи V6 нажатием кнопки ТЕЧЬ вверху экрана выдается сообщение ГЕЛИТ ВКЛЮЧЕН. Повторное нажатие кнопки выключает клапан эталонной гелиевой течи.
По окончании настройки закрывается клапан гелиевой течи V6, фиксируется уровень фона и выполняется автоматический расчет минимальной чувствительности (минимально определяемого потока гелия).
Минимальный поток гелия QТ MIN , м3·Па/с, регистрируемый течеискателем без дросселирования откачки, определяют по формуле:
QТ MIN=, (1)
где: QТ – величина потока гелиевой течи, установленной в течеискателе при температуре проведения испытаний. Вычисление QТ производить по формуле:
Q1
QТ = _________________________ (2)
1 - ΔQТ(Т2 - Т1 )
где: Q1 – величина потока встроенной течи, м3 Па/с, указанная в свидетельстве о поверке.
Т1 – температура калибровки течи указанная в свидетельстве о поверке,
Т2 – температура, при которой проводятся испытания,
ΔQТ= 3∙10-2 град –1 – температурная поправка к величине течи.
Шум электрометрического усилителя может быть определен как:
∆ αф= αфМАХ- αфМIN, (3)
где: αфМАХ и αфМIN – максимальное и минимальное значение фонового сигнала.
По окончании расчета, выдается сообщение НАСТРОЙКА ЗАВЕРШЕНА, ВЫБЕРИТЕ РЕЖИМ РАБОТЫ.
На дисплей выводится расчетное значение Q min.
Внешний вид экрана после окончания режима автоподстройки анализатора показан на рисунке 16.
Рисунок 16 – Вид экрана после окончания режима АПС
5.3.2.2 Режим работы ПРЯМОТОК
Выберите режим ПРЯМОТОК в поле РАБОТА.
При нажатии кнопки ВВОД:
- выдается сообщение ЗАКРОЙТЕ ДР1 И ДР2, проверяется Р3
- при повторном нажатии кнопки ВВОД если Р3 превышает значение уставки, введенной для
Р3 в поле блокировка (для режима ПРЯМОТОК рекомендуется ввести Р3 <5 Па):
-закрывается V2, открывается V3 (байпас), идет откачка до установленного значения
Р3< 5 Па, на экран ЖКИ выводится сообщение, ИДЕТ ОТКАЧКА ОБЪЕКТА.
- по достижении Р3<5 Па зарывается V3, открывается V2, проверяется Р1.
- по достижении Р1<5 Па или при исходном Р3< 5 Па открывается V7, выдается сообщение
ОТРЕГУЛИРУЙТЕ ДР.1,СЛЕДИТЕ ЗА ДАВЛЕ НИЕМ Р2.
- через интервал времени примерно 1 мин. (задержка по таймеру для регулировки ДР1.) включается катод и выдается сообщение ГОТОВ. ПРЯМОТОК. Оператор в течение 1 мин. должен отрегулировать с помощью Др.1 давление Р2 до значения меньшего блокировочной уставки Р2!
Производится поиск течи. При обнаружении сигнала течи выше установленного порогового значения раздается звуковой сигнал, зажигается индикатор ТЕЧЬ, на графике появится закрашенный участок, сигнализирующий о превышении сигнала над установленным порогом.
При работе с выносным индикатором – сигнал течи фиксируется включением красных секторов светодиодного столба выносного индикатора и звуковым сигналом.
Для смены объекта нажать кнопку ЗАЩИТА ВХОДА.
При этом появится сообщение ЗАКРОЙТЕ ДР1 и ДР2
После закрытия ДР1 производится смена объекта. Для продолжения работы повторить 5.3.2.2.
Примечание - В случае, если Р3 не достигает значения < 5Па следует перейти в режим ПРОТИВОТОК или подключить к объекту дополнительный вакуумный агрегат, позволяющий получить указанное значение давления Р3
Внешний вид экрана в режиме ПРЯМОТОК показан на рисунке 17.
Рисунок 17 – Вид экрана в режиме ПРЯМОТОК
Примечание – Текущее значение потока Qт фиксируется в верхней строке экрана при превышении установленного порога регистрации течи (введено значение ПОРОГ). При уровне сигнала менее установленного порога, Qт не фиксируется. На рисунке 18 показан поток течи Qт в момент максимального превышения установленного уровня порога.
5.3.2.3 Режим работы ПРОТИВОТОК
Выбрать режим ПРОТИВОТОК в поле РАБОТА.
При нажатии кнопки ВВОД:
- выдается сообщение ЗАКРОЙТЕ ДР1 И ДР2, проверяется текущее Р3 (Для работы в режиме
ПРОТИВОТОК рекомендуется устанавливать блокировка Р3 < 50 Па)
- при повторном нажатии кнопки ВВОД, если текущее Р3 >50 Па
- закрывается V2, открывается V3 (БАЙПАС), идет откачка до Р3 < 50 Па
- по достижении Р3 <50 Па закрывается V3, открывается V2
- открывается V7, выдается сообщение ОТРЕГУЛИРУЙТЕ ДР.2, СЛЕДИТЕ ЗА ДАВЛЕНИЕМ Р2. Оператор в течение 1 мин. должен отрегулировать с помощью Др.2 давление Р2 до значения меньшего блокировочной уставки Р2
- через интервал времени примерно 1 мин. (задержка по таймеру для регулировки ДР2.) включается катод на установленный ток эмиссии и выдается сообщение ГОТОВ. ПРОТИВОТОК.
На дисплее постоянно выводится информация о Iэ (мА), Р1,Р2,Р3 в выбранных единицах. Производится поиск течи. При обнаружении сигнала течи выше установленного порогового значения раздается звуковой сигнал, зажигается индикатор ТЕЧЬ, на графике появится закрашенный участок, сигнализирующий о превышении сигнала над установленным порогом.
При работе с выносным индикатором – сигнал течи фиксируется включением красных секторов светодиодного столба выносного индикатора и звуковым сигналом.
Примечание - Регулировка громкости звукового сигнала производится регулятором (3) рисунок 9.
Для смены объекта нажать кнопку ЗАЩИТА ВХОДА.
При этом появится сообщение ЗАКРОЙТЕ ДР1 И ДР2
После закрытия ДР2 производится смена объекта. Для продолжения работы повторить 5.3.2.3.
В случае, если Р3 не достигает значения < 50Па следует подключить на вход течеискателя щуп и перейти в режиме ПРОТИВОТОК к работе по методу щупа (см. раздел 4) или подключить к объекту дополнительный вакуумный агрегат, позволяющий получить указанное значение давления Р3.
Внешний вид экрана в режиме ПРОТИВОТОК показан на рисунке 18.
Рисунок 18 – Внешний вид экрана в режиме ПРОТИВОТОК
5.3.2.6. Режим БАЙПАС. (Откачка объекта)
Выбрать указанный режим в поле РАБОТА
При нажатии кнопки ВВОД появится сообщение ЗАКРОЙТЕ ДР1 И ДР2
При повторном нажатии кнопки ВВОД, закрывается V2, открывается V3, контролируются текущие давления Р1 и Р3, на экран ЖКИ выдается сообщение, ИДЕТ ОТКАЧКА ОБЪЕКТА.
При достижении установленного значения Р3, закрывается V3, открывается V2, на ЖКИ выдается сообщение, ВЫБЕРИТЕ РЕЖИМ РАБОТЫ.
Вид экрана по окончанию режима БАЙПАС, представлен на рисунке 19.
Рисунок 19 – Вид экрана по окончании режима БАЙПАС
5.3.2.5. Выключение
Нажать кнопку СТОП.
Выключается катод, закрываются все клапана, открывается V5, выключатся ТМН (N2) ФВН(N1), на экран ЖКИ выводится сообщение ОТКЛЮЧИТЬ ПИТАНИЕ 220 В.
Установить выключатель СЕТЬ и выключатель автомат в положение «0» на задней стенке течеискателя. При отключении питания система управления течеискателем сохраняет установленные в ходе работы настройки.
5.4 Режим УСТАНОВКИ
Кнопкой ВЫБОР соответствующего поля выбрать устанавливаемый параметр Iэ, Ua, Us, ПОРОГ, ЧАСЫ. Нажать кнопку ВВОД.
Перечень сообщений выводимых в текстовой строке экрана представлен в таблице 2.
Таблица 2.
Сообщение, выводимое в текстовой строке |
Назначение параметра |
ВВЕДИТЕ Iэ, МКА = 0 |
Установка Iэ катода от 50 до 1000 мкА. |
ВВЕДИТЕ Ua, В (0-500) = 0 |
Установка ускоряющего напряжения Ua. |
ВВЕДИТЕ Us, В (0-300) = 0 |
Установка супрессорного напряжения Us. |
ВВЕДИТЕ ПОРОГ = 0.00Е - 00 |
Установка порога регистрации течи |
ВВЕДИТЕ ВРЕМЯ = |
Индикация установки времени в верхнем правом углу экрана. |
Примечание - Любая выбранная команда создает командный файл в компьютере течеискателя. Для завершения работы командного файла ВО ВСЕХ СЛУЧАЯХ необходимо нажать кнопку ВВОД при выборе режимов либо # при вводе значений параметров. В противном случае может произойти сбой работы программы и необходимость перезагрузки компьютера. Для перезагрузки компьютера необходимо выключить и снова включить течеискатель.
Ввод параметра производится с числовой клавиатуры панели управления. Индикация вводимого параметра, отображается в выделенном окне текстовой строки.
Последовательность ввода - сначала вводится значащее число соответствующей разрядности (при меньшей разрядности значение мантиссы необходимо дополнить нулями до требуемой размерности), затем показатель степени. Переход к показателю степени осуществляется автоматически при наборе мантиссы требуемой размерности. Знак числового значения подставляется автоматически. Для записи введенного значения в систему управления необходимо нажать кнопку «#». При неправильном наборе возможна отмена введенного значения последовательным нажатием кнопки «*», до нажатия кнопки «#», или повторный ввод устанавливаемого параметра.
Вид экрана при установке тока эмиссии Iэ, показан на рисунке 16.
5.5 Режим КОНТРОЛЬ
Кнопкой ВЫБОР соответствующего поля выбрать контролируемый параметр.
Нажать кнопку ВВОД соответствующего поля.
Перечень выводимых на экран сообщений представлен в таблице 3.
Таблица 3.
Сообщение, выводимое в текстовой строке |
Назначение параметра |
Р1 (ММ.РТ.СТ) = 4.08Е-04 |
Текущее давление Р1 = 0,000408 мм.рт.ст |
Р2 (ММ.РТ.СТ) = 7.67Е-06 |
Текущее давление Р2 = 0,00000767 мм.рт.ст. |
Р3 (ММ.РТ.СТ) = 1.82Е-02 |
Текущее давление Р3 = 0,0182 мм.рт.ст. |
аlpfa = 2.120Е+01 |
Сигнал электрометрического усилителя = 21.2 мВ |
Примечание – Сообщение, выводимое в текстовой строке, в режиме КОНТРОЛЬ автоматически убирается с экрана через 1 минуту по таймеру, заложенному в систему управления.
Установка значения встроенной течи производится в режиме КОНТРОЛЬ в следующем порядке:
- копкой ВЫБОР выбрать параметр Qт – включен соответствующий индикатор.
- нажать кнопку ВВОД. В текстовой строке появится сообщение – ВВЕДИТЕ Q ГЕЛИТА (3.21Е-9) = . В скобках указано значение потока гелита в м3.Па/с, уставленного в течеискателе. С числовой клавиатуры ввести значение гелита, установленного в течеискатель (при замене или переаттестации гелита). Подтвердить введенное значение кнопкой «#».
5.6 Блокировки
В течеискателе предусмотрена возможность изменения значений блокировок по давлениям Р1 Р2 и Р3. Значения блокировок установленных в программе управления индицируются на экране в виде Р1, Р2, Р3 в Па.
Рекомендуемые значения блокировок по давлениям для различных режимов работы приведены в таблице 4.
Таблица 4.
Блокировка |
АПС |
ПРЯМОТОК |
ПРОТИВОТОК |
БАЙПАС |
Р1 ! (Па) |
5.0 |
5.0 |
50 |
- |
Р2 ! (Па)
|
0,1 |
0,1
|
0,1
|
0,1
|
Р3 ! (Па) |
- |
5.0 |
50 |
|
Примечание - Значение Р3 вводится как блокировочная уставка для байпасной откачки объекта. При достижении Р3 байпасная откачка заканчивается и прибор переходит к выбранному режиму работы. При дальнейшей работе значение Р3 блокировкой течеискателя не является
Кнопкой выбор соответствующего поля выбрать нужную строку.
Нажать кнопку ВВОД соответствующего поля, при этом:
- в выделенном окне отображается нулевое значение вводимого параметра, а в текстовой строке сообщение – БЛОКИРОВКА Р1. При наборе на клавиатуре вводимого значения идет индикация вводимого значения в выделенном окне.
При правильном наборе новое набранное значение вводится кнопкой клавиатуры # или при неправильном отменяется кнопкой «*»
В случае срабатывания блокировок по Р1,Р2 необходимо определить причину срабатывания блокировки при необходимости откорректировать значение блокировки и повторить режим при котором произошло срабатывание блокировки.
Сохранение установленных в процессе работы значений блокировок производится автоматически при выключении течеискателя.
5.7 Режим ПЕЧАТЬ
Кнопка ПЕЧАТЬ предназначена для вывода информации на внешний компьютер. Протокол обмена поставляется по отдельному заказу для применяемого у потребителя программного обеспечения. При нажатии кнопки фиксируется текущая страница графического монитора, состояние часов и идет передача данных на внешний компьютер с подключенным к нему принтером. Данный режим в серийном исполнении течеискателя не предусмотрен.
5.8 Кнопка АВАРИЯ
Кнопка с индикатором АВАРИЯ предназначена для индикации аварийных элементов течеискателя. При включении индикатора АВАРИЯ необходимо нажать и удерживать кнопку АВАРИЯ до появления на дисплее сообщения о неисправности, либо опросить элементы течеискателя повторными нажатиями кнопки АВАРИЯ.
В верхней части экрана выводятся сообщения об аварийном элементе течеискателя.
5.9 Управление графиком
Для удобства работы с графиком системой управления течеискателем предусмотрено автоматическое масштабирование графика в зависимости от уровня регистрируемого сигнала. Масштаб по оси абсцисс устанавливается таким образом, чтобы амплитудное значение сигнала целиком помещалось в размер экрана. При больших амплитудах сигнала происходит автоматическое изменение масштаба графика.
Системой управления течеискателем, предусмотрена возможность управление графиком в ручном режиме. Для этого необходимо нажать кнопку F3 в правой нижней части панели УКИ. На экране появится сообщение РУЧН. Это сообщение касается только управления графиком, остальные узлы и системы продолжают функционировать в полуавтоматическом режиме. При переходе в ручной режим кнопкой «1» производится увеличение масштаба графика, кнопкой «7» производится уменьшение масштаба графика. Кнопкой «3» перемещение графика вверх, кнопкой «9» перемещение графика вниз.
Для возврата в автоматический режим необходимо повторно нажать кнопку F3.
Кнопки F1, F2 в данной версии системы управления не задействованы.
6 Техническое обслуживание
6.1 Цель технического обслуживания
Техническое обслуживание проводится предприятием, эксплуатирующим течеискатель, с целью обеспечения бесперебойной работы, поддержания эксплуатационной надежности и повышения эффективности работы течеискателя.
6.2 При проведении работ, связанных с техническим обслуживанием, течеискатель должен быть отключен от сети. При проведении настроечных и регулировочных работ следует руководствоваться разделом 1.
Операции обслуживания, их периодичность и необходимые для этого вспомогательные материалы, оборудование и детали приведены в таблице 5
Таблица 5
Операция обслуживания |
Периодичность |
Необходимые вспомогательные материалы, оборудование, рекомендации |
1 Чистка внешней поверхности прибора от пыли |
1 раз в неделю |
Пылесос |
2 Чистка наружных поверхностей системы вакуумной при снятых стенках (удаление пыли, грязи) |
1 раз в месяц |
Пылесос, ветошь |
Продолжение таблицы 5
Операция обслуживания |
Периодичность |
Необходимые вспомогательные материалы, оборудование, рекомендации |
3 Смена масла в форвакуумном насосе |
Рекомендуется через 100 часов работы для первой замены. Через 2500 часов при последующих заменах |
Масло ВМ1-С, ВМ-5С |
4 Смена катода |
При сгорании двух катодов |
Катоды из комплекта ЗИП |
5 Чистка масс-спектрометричес-кого анализатора |
Не обеспечивается минимально регистрируемый поток 7. 10-12 м3 . Па/с |
Мелкозернистая наждачная бумага, спирт этиловый (15г), бязь, резиновые перчатки, запасные детали из комплекта ЗИП, сушильный шкаф |
6 Юстировка анализатора |
Не обеспечивается минимально регистрируемый поток 7. 10-12 м3 . Па/с |
Ключ рожковый 13 |
7 Чистка внутренней (вакуумной) поверхности вакуумной системы |
Не обеспечивается минимально регистрируемый поток 7. 10-12 м3 . Па/с |
Пылесос, ацетон, спирт этиловый (25 г), бязь, сухой сжатый воздух, сушильный шкаф, прокладки из комплекта ЗИП. |
6.2.1 Смена катодов и чистка масс-спектрометрического анализатора
Отключить течеискатель от сети питания.
Удалить винты крепления (4 шт) задней верхней панели и снять панель с течеискателя.
Отключить разъемы от усилителя канала давления и электрометрического усилителя. Ослабить винты крепления усилителя канала давления и усилителя электрометрического и снять усилители с фланцев герморазъемов.
Отвинтить винт крепления заземления анализатора и снять заземляющий проводник с фланца анализатора. Отсоединить разъем питания анализатора от фланца анализатора.
Отвинтить болты крепления фланца анализатора (6 шт) и вынуть анализатор на фланце из корпуса камеры. Осмотреть состояние уплотнительной резиновой прокладки на фланце анализатора. При наличии повреждений замените прокладку из комплекта ЗИП. Протереть внутреннюю поверхность камеры тампоном из бязи смоченным спиртом.
Произвести замену катодов следующим образом:
- ослабить винты крепления катодов;
- извлечь остатки сгоревшего катода;
- протереть доступные поверхности анализатора тампоном из бязи смоченным спиртом и просушить анализатор.
- установить запасные катоды из комплекта ЗИП;
Примечание – При установке катодов крепление производить таким образом, чтобы нить накаливания размещалась посредине ионизационной камеры. Визуально проверить отсутствие замыканий между токоведущими элементами и корпусом анализатора.
- установить анализатор в корпус камеры в обратной последовательности.
После замены катодов и чистки масс-спектрометрического анализатора произвести откачку течеискателя в режиме готовности в течении 4 часов с целью тренировки вакуумной системы.
После тренировки произвести тестирование течеискателя на определение минимальной чувствительности в режиме АПС. Если при проведении режима АПС не удается получить минимальную чувствительность Qmin < 7. 10-12 м3 Па/с необходимо произвести юстировку анализатора.
6.2.2 Юстировка анализатора
ВНИМАНИЕ ! К проведению работ по юстировке анализатора допускается персонал, ознакомленный с устройством течеискателя, проводящий техническое обслуживание течеискателя и имеющий право работы с электроустановками напряжением до 1000 В.
Юстировка анализатора применяется в случае невозможности получения заявленной величины минимально регистрируемого потока гелия (7×10-12 м3×Па/с) в режиме АПС.
Для юстировки анализатора необходимо открыть доступ к магнитной системе анализатора для чего:
- снять заднюю верхнюю панель удалив винты крепления (4 шт).
- снять правую (относительно переднего вида) панель, отвинтив 2 винта.
- установить на входе течеискателя заглушку.
- ослабить винты крепления магнитной системы, обеспечив свободное перемещение магнитной системы в горизонтальной плоскости. Обеспечить симметричное расположение наконечников магнитной системы относительно корпуса анализатора.
- установит магнитную систему анализатора в соответствии с рисунком 20.
1- Фланец анализатора, 2- Корпус анализатора, 3 – Наконечник магнитной системы, 4 - магнит, 5 - пластина крепления магнитной системы
Рисунок 20 – Установка магнитной системы на анализатор.
- снять усилитель канала давления (А18) с гермоввода и не отключая его от кабеля питания уложить на задней панели.
- подключить «+» зажим вольтметра к центральному выводу герморазъема усилителя канала давления, «-» зажим вольтметра к корпусу анализатора.
Примечание – Перед началом работы осмотреть центральные выводы герморазъемов усилителя электрометрического и усилителя канала давления. Выводы должны быть очищены от окисной пленки и загрязнений. Пружинные контакты электрометрического усилителя и усилителя канала давления должны обеспечивать надежный электрический контакт с выводами герморазъемов. В качестве измерительного вольтметра допускается использование цифрового вольтметра В7-27А/1 или аналогичного типа.
- включить питание вольтметра.
- подключить течеискатель к сети 220 В,50 Гц.
- установить выключатель автомат и выключатель СЕТЬ в положение «I».
- нажать кнопку ПУСК.
- полностью открыть ДР1, закрыть ДР2.
- дождаться сообщения ТИ1-22 ГОТОВ, ВЫБЕРИТЕ Iэ, РЕЖИМ РАБОТЫ.
- в режиме УСТАНОВКИ установить ток эмиссии Iэ = 100 мкА.
- включить катод К1, нажав на кнопку К1.
- перемещая магнитную систему в горизонтальной плоскости по вольтметру добиться максимального значения сигнала.
- переключиться на катод К2, нажав кнопку К2. Сравнить значение сигнала на катоде К2 со значением на катоде К1. Перемещая систему в горизонтальной плоскости добиться равенства значений сигнала на катоде К1 и К2.
- закрепить магнитную систему гайками крепления, контролируя показания сигнала по вольтметру в процессе затяжки гаек крепления магнитной системы.
- сравнить показания сигнала на катоде К1 и К2 после затяжки гаек крепления. Показания не должны различаться более чем на 15 %.
- в режиме УСТАНОВКИ установить значение Ua указанное в формуляре.
- в режиме КОНТРОЛЬ установить значение встроенной гелиевой течи Qт.
- включить катод К1
- включить режим АПС и провести проверку минимальной чувствительности.
- включить катод К2
- включить режим АПС и провести проверку минимальной чувствительности.
Если не удается получить заданные характеристики, следует повторить настройку системы.
Если показания по катоду К1 и К2 различаются более чем на 15% и не удается добиться равенства показаний на вольтметре, юстировкой магнитной системы, следует проверить установку катодов на ионизационной камере. Катоды должны быть установлены посредине окна ионизационной камеры в соответствии с рисунком 21.
1 – окно ионизационной камеры, 2 – нить накаливания катода, 3 – винты крепления катода.
Рисунок 21 – Установка катода
Настройка магнитной системы считается законченной если при проверке режима АПС на катоде К1 и К2 минимальный поток регистрируемый течеискателем соответствуют Qmin < 7.10-12 м3.Па/с.
7 Текущий ремонт
{jllikelock}
При эксплуатации течеискателя необходимо соблюдать порядок работы, изложенный в разделе 5. В таблице 7 приводится перечень возможных неисправностей, вероятных причин и методов устранения. Приведенные в таблице 7 неисправности, должны устраняться службой, эксплуатирующей течеискатель, и не являются причиной предъявления рекламаций.
При устранении неисправностей следует соблюдать требования раздела 1 настоящего руководства.
Таблица 7
Возможная неисправность, внешнее проявление и дополнительные признаки |
Вероятная причина |
Метод устранения |
1. При работе форвакуумного насоса давление Р1 превышает 10 Па |
Мал уровень масла в насосе. Течь в вакуумной системе из-за неправильной сборки при проведении технического обслуживания |
Добавить масло до необходимого уровня или произвести смену масла в насосе. |
2. Включение индикатора аварийного состояния |
Произвести диагностику течеискателя и определить аварийный элемент |
Проверить подключение кабеля к разъему аварийного элемента. |
3. Отсутствие или нестабильность показания при индикации давлений Р1, Р2, Р3. |
Отказ манометрического преобразователя ПМТ6-3М-1 |
Произвести замену манометрического преобразователя из комплекта ЗИП |
4. Ошибка платы клапанов |
Нарушение контакта разъема клапана, обрыв обмотки клапана |
Проверить соединение кабеля с клапаном. Заменить клапан |
5. При включении не проходит программа тестирования. Отсутствует включение катодов |
Перегорание двух катодов |
Снять анализатор и заменить катоды на новые из комплекта ЗИП |
6. Выдача сообщения НЕТ Uj |
Замыкание токоподводов в масс-спектрометрическом анализаторе |
Убедиться в отсутствии замыкания контактов разъема на корпус устранить замыкание |
7. Режим АПС не поддерживается. Отсутствует регистрация |
Неправильная установка магнитной системы. |
Провести юстировку анализатора. |
8. Высокий уровень фона и отсутствие пика гелия. |
Наличие течи анализатора |
Найти течь путем обдува гелием фланцев и разъемов анализатора и ТМН. |
ВНИМАНИЕ!
При замене датчика давления ПМТ6-3М-1 использовать датчики из комплекта ЗИП. При использовании датчиков давления ПМТ6-3М-1 не из комплекта ЗИП необходимо проконсультироваться с заводом изготовителем.
{/jllikelock}8 Хранение
Хранение течеискателя должно осуществляться в отапливаемых хранилищах при температуре окружающего воздуха от +10°С до +35°С и относительной влажности воздуха 80% при температуре +25°С. Допускается хранение течеискателя в упаковке при температуре окружающего воздуха +5¸+40°С. В помещениях для хранения не должно содержаться пыли, паров и щелочей, агрессивных газов и других вредных примесей, вызывающих коррозию.
9 Транспортирование
Перед транспортированием течеискателя должно быть слито масло из форвакуумного насоса. Допускается транспортирование с заправленным маслом форвакуумным насосом.
Транспортная тара должна иметь маркировку и быть опломбирована. В маркировке содержатся манипуляционные знаки, соответствующие значениям «Хрупкое. Осторожно», «Беречь от влаги», «Верх», «Центр тяжести». На передней стенке ящика или на ярлыке наносят номер грузового места, пункт назначения и наименование грузополучателя.
Течеискатель должен транспортироваться в транспортной упаковке любым видом транспорта, при температуре окружающего воздуха от минус 50°С до + 50°С и относительной влажности до 95% при температуре +250 С.
При транспортировании течеискатель должен быть предохранен от атмосферных осадков. Не допускается кантование упаковки.
Вы можете заказать этот течеискатель или комплектующие для него через форму, расположенную ниже.