8-812-740-66-02
8
-812-989-04-49
info@vactron.org

Президиум конференции "Вакуумная техника и технология"

Вакуумная техника и технология. Том 24 №1 2014.

Рефераты и полный текст журнала

ОРГАНИЗАЦИЯ И ПРОВЕДЕНИЕ 21-й ВСЕРОССИЙСКОЙ НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКОЙ КОНФЕРЕНЦИИ С МЕЖДУНАРОДНЫМ УЧАСТИЕМ "ВАКУУМНАЯ ТЕХНИКА И ТЕХНОЛОГИЯ 2014" // ВТТ. 2014. Том 24.  № 1. С.3-7.

Научная конференция, организация, доклады

В период с 17 июня по 19 июня 2014 года на базе Санкт-Петербургского государственного  электротехнического  университета  "ЛЭТИ"  состоялась  21-я  Всероссийская научно-техническая конференция с международным участием "Вакуумная техника и технология 2014". Организаторами конференции  являлись:  Российская академия наук, Институт проблем машиноведения РАН, Санкт-Петербургский государственный политехнический  университет  и  Санкт-Петербургский  государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В. И. Ульянова (Ленина).

Байков П.Б., Карзин В.В., Комлев А.А., Комлев А.Е., Морозова А.А., Шаповалов В.И. ИЗМЕНЕНИЕ СПЕКТРАЛЬНОГО КОЭФФИЦИЕНТА ПРОПУСКАНИЯ ПЛЕНКИ ОКСИДА ВОЛЬФРАМА ПРИ ИНЖЕКЦИИ ЗАРЯДА//ВТТ. 2014. Т. 24, № 1. С. 15-19  .

Реактивное магнетронное распыление, пленка, оксид вольфрама, электрохромизм, оптическая константа, спектральный коэффициент пропускания

В мире ведутся обширные исследования пленок оксида вольфрама. Возможность управлять их оптической плотностью путем инжекции или экстракции ионов малого размера позволила создать различные устройства для электроники, архитектуры, автомобильного транспорта и др.

В данной работе пленки осаждены методом реактивного магнетронного распыления на постоянном токе. Исследован их электрохромизм с целью выявления особенностей изменения оптических констант.

Установлено, что в результате двойной инжекции зарядов происходит увеличение показателя поглощения пропорциональное величине инжектированного заряда. Величина уширения спектральной линии, возникшей в результате окрашивания, зависит от величины инжектированного заряда нелинейно и имеет насыщение.

 

Иванов А.И., Незнамова Л.О., Хамиц И.И. ВОЗМОЖНОСТИ ДОСТИЖЕНИЯ СВЕРХВЫСОКОГО ВАКУУМА В БЛИЖНЕЙ ОКРЕСТНОСТИ МКС// ВТТ. 2014. Том 24. № 1. С.8-14.

Вакуум, космические объекты

В условиях орбитального полета при использовании защитного экрана, ориентированного перпендикулярно набегающему потоку остаточной атмосферы, в спутном следе последнего может быть создана рабочая зона с разрежением порядка 10-14 Торр. Сверхвысокий вакуум за экраном образуется за счет оттеснения молекул, атомов и ионов набегающего потока, имеющих среднюю тепловую скорость от 100 до 1000 м/сек значительно меньшую первой космической скорости и, следовательно, недостаточную для заполнения области аэродинамического следа за экраном. Столь высокий вакуум дает возможность реализации перспективной технологии получения многослойных полупроводниковых наноструктур (гетероструктур или сверхрешеток) процесса молекулярно-лучевой эпитаксии (МЛЭ) в особо чистых, недостижимых на Земле условиях. Получение сверхвысокого вакуума вблизи моноблочных орбитальных спутников не имеет принципиальных трудностей, однако для крупноразмерных космических станций необходимо выполнение дополнительных требований и условий, ограничивающих возможности достижения таких уровней разрежения в ближней окрестности станции. В статье выполнен анализ возможности получения и достижимых параметров сверхвысокого вакуума на МКС с использованием конического защитного экрана, позволяющего экранировать рабочую зону установки МЛЭ не только от набегающего потока, но и прямых потоков собственной внешней атмосферы станции (СВА).

 

Шемухин А.А., Муратова Е. Н., Мошников В.А., Лучинин В.В., Черныш В.С. ИССЛЕДОВАНИЕ МЕМБРАН ПОРИСТОГО ОКСИДА АЛЮМИНИЯ С ПОМОШЬЮ МЕТОДИКИ РЕЗЕРФОРДОВСКОГО ОБРАТНОГО РАССЕЯНИЯ // ВТТ. 2014. Т. 24. № 1. С. 43-47

Капилярные матрицы, оксид алюминия, резерфордовское обратное рассеяние

Созданы капиллярные матрицы из оксида алюминия с различными структурными параметрами. Показана возможность использования методики резерфордовского обратного рассеяния для исследования данных матриц – мембран в сочетании с эффектом каналирования.

 

Кузнецов В.Г., Пониматкин В.П., Курбанов Т.А., Смирнов И.В., Прокофьев А.В. ТЕХНОЛОГИЯ ВАКУУМНО-ДУГОВОГО ОСАЖДЕНИЯ УГЛЕРОДНЫХ МАТЕРИАЛОВ И ИХ СОРБЦИОННЫЕ СВОЙСТВА//ВТТ. 2014. Т. 24. № 1. С. 20-27.

Вакуумно-дуговой разряд, углеродные материалы, осаждение, свойства

Приводятся результаты исследований сорбционных свойств новых фильтрующих материалов, производство которых основано на использовании современных технологий. Показано, что хорошие перспективы в этом направлении связаны с плазменно-стимулированными углеродными материалами и композитными составами на их основе. Получение углеродных композиций основано на разложении углеводородов под действием плазмы вакуумно-дугового разряда.

 

Лучинин В.В., Осачев Е.В., Романов А.А., Майоров Э.А. АТОМНО-СЛОЕВОЕ ОСАЖДЕНИЕ ПРЕЦИЗИОННЫЙ МЕТОД СИНТЕЗА ТОНКИХ ПЛЕНОК//ВТТ. 2014. Т. 24. № 1. С. 28-32.

Вакуум, технология, покрытия, температура, контроль качества

Представлен краткий обзор возможностей метода Atomic layer deposition (ALD). К его достоинствам следует отнести уникально прецизионный контроль толщины пленки получаемого материала, однородность на большой площади подложки (которая ограничивается, по сути, размером реактора). Также с помощью ALD успешно наносятся покрытия на 3D-изделия, порошковые материалы, пористые материалы (причем пленка однородно покрывает стенки пор на всей глубине). Еще одно важное направление проведение плазменных процессов. Благодаря этому удается во многих случаях улучшить качество получаемых пленок, а также существенно снизить температуру процесса. К недостаткам метода стоит отнести малые скорости роста получаемого материала. Например, для оксида алюминия скорость роста составляет порядка 100 нм в час. Эта величина может изменяться в обе стороны в зависимости от конфигурации камеры, температуры процесса, а также получаемого материала.

 

Кострин Д.К., Ухов А.А.ПОВЫШЕНИЕ МЕТРОЛОГИЧЕСКИХ ХАРАКТЕРИСТИК СПЕКТРОМЕТРИЧЕСКОГО ОБОРУДОВАНИЯ ПРИ ДИАГНОСТИКЕ ИОННО-ПЛАЗМЕННЫХ ПРОЦЕССОВ // ВТТ. 2014. Т. 24. № 1. С. 33-38.

Спектрометр, фотоприемник, термостатирование, фильтрация шумов, подавление ин-терференции

Рассмотрены методы повышения метрологических характеристик спектрометрического оборудования. Рассчитаны требования, предъявляемые к системе стабилизации температуры фотоприемника прибора. Показаны возможности повышения информативности получаемых спектров с помощью программной фильтрации шумов. Продемонстрирована возможность устранения эффекта интерференции в поверхностной диэлектрической пленки фотоприемника.

 

Герасимов В.А., Кострин Д.К., Селиванов Л.М., Ухов А.А. ПОВЫШЕНИЕ ТОЧНОСТИ СПЕКТРАЛЬНОГО МЕТОДА ИЗМЕРЕНИЯ ПАРАМЕТРОВ ОПТИЧЕСКИ ПРОЗРАЧНЫХ ТОНКИХ ПЛЕНОК // ВТТ. 2014. Т. 24. № 1. С. 39-42.

Тонкие пленки, спектрометр, показатель преломления, коэффициент отражения, измерение толщины

Предлагается способ повышения точности измерения толщины тонких оптически прозрачных пленок по спектрам пропускания или отражения путем снижения влияния шумов реального спектра. Способ основан на предварительном вычислении толщины пленки по экстремумам реального спектра с последующим итерационным вычислением серии теоретических спектров в некотором интервале в районе вычисленной толщины. Минимум интегральной разницы между каждым теоретическим и реальным спектрами позволяет получить наиболее точное значение толщины пленки.

 

Барченко В.Т., Виноградов М.Л. АНАЛИЗ ПОТРЕБНОСТИ ПРЕДПРИЯТИЙ В ГЕЛИЕВЫХ МАСС-СПЕКТРОМЕТРИЧЕСКИХ ТЕЧЕИСКАТЕЛЯХ // ВТТ. 2014. Т. 23, № 2. С. 60-62.

Вакуум, гелиевые течеискатели, применение

Проведено исследование состояния гелиевых массспектрометрических течеискателей на 104 предприятиях и научных учреждениях. Установлено процентное соотношение течеискателей ПТИ-7, ПТИ-10, СТИ-11, ТИ1-14, ТИ1-15, ТИ1-22, ТИ1-30, ТИ1-50 и иностранных моделей. Приведено сравнение характеристик течеискателей разных поколений и проанализирована потребность в современных течеискателях.

 

Лисенков А.А., Прялухин Е.Д., Радциг Н.М., Сабуров И.В., Смелова В.В. СЛОЖНЫЕ МНОГОКОМПОНЕНТНЫЕ АНТИЭМИССИОННЫЕ  ПОКРЫТИЯ // ВТТ. 2014. Т. 24. № 1. С. 48-51

Вакуумно-дуговой   разряд,   покрытия,  интерметаллиды К сеточным электродам генераторных ламп, как к элементам, определяющим параметры и характеристики электронных приборов, предъявляются высокие требования, выполнение которых определяет качество выпускаемой продукции. Сетка представляет собой сложную решетчатую конструкцию с определенной степенью прозрачности. Выбор материала сеточных электродов определяется условиями их работы и особенностями конструкции прибора.  В  процессе  работы  сеточные узлы, располагающиеся в зоне электронного потока, должны обеспечивать высокое тепловое рассеивание, сохранять свои геометрические характеристики и обладать малым коэффициентом вторичной эмиссии.

 

Комаров Ф.Ф., Власукова Л.А., Пархоменко И.Н., Мильчанин О.В., Романов И.А., Удовиченко С.Ю., Мисиюк К.В. ФАЗОВЫЕ ПРЕВРАЩЕНИЯ В ОТОЖЖЕННЫХ НЕСТЕХИОМЕТРИЧЕСКИХ ПЛЕНКАХ НИТРИДА КРЕМНИЯ: ДИАГНОСТИКА МЕТОДОМ КОМБИНАЦИОННОГО РАССЕЯНИЯ СВЕТА // ВТТ. 2014. Т. 23, № 2. С. 63-66.

Технология, светодиоды, нитрид кремния

Создание светодиодов на основе нитрида кремния с кремниевыми нанокластерами позволит в будущем интегрировать оптоэлектронные приборы в интегральные микросхемы. Нитрид кремния широко используется в микроэлектронике в качестве подзатворного диэлектрика, маскирующих и изолирующих слоев. В настоящей работе методом комбинационного рассеяния света исследуются фазовые преобразования кластеров кремния в пленках SiNx, полученных методом химического осаждения из газовой фазы при низком давлении. Путем исследования отожженных при различных температурах пленок нитрида выбирается оптимальный режим отжига для формирования нанокристаллов кремния, которые обладают более интенсивной люминесценцией и устойчивостью к деградации нежели аморфные кластеры.

 

Савченко В.А., Столяров С.П. АНАЛИТИЧЕСКОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ ПОВЕРХНОСТНЫХ ПЛЕНОК НА КОНТАКТНОЕ ТЕРМИЧЕСКОЕ СОПРОТИВЛЕНИЕ РАЗЪЕМНЫХ СОЕДИНЕНИЙ// ВТТ. 2014. Т. 24. № 1. С. 52-55

Двигатель Стирлинга, контактное термическое сопротивление, поверхностная пленка

В статье описывается алгоритм расчета величины контактного термического сопротивления взаимодействия поверхностей с пленками. Дополнительными факторами, учтенными в расчете, являются сухая адгезия и термическая ректификация. Исследование выполнено для разъемного фланцевого соединения корпус регенератора верхний термостабилизирующий корпус двигателя Стирлинга 1Р30/6. В качестве результатов представлены диаграмма величины КТС в зависимости от рода поверхностной пленки и эпюры распределения тепловых полей корпусных конструкций двигателя Стирлинга.

 

Киселев А.С., Смирнов Е.А. МЕТОДИКА РАСЧЕТА ПАРАМЕТРОВ ПЛАЗМЫ ЛАЗЕРОВ ТЛЕЮЩЕГО РАЗРЯДА// ВТТ. 2014. Т. 24. № 1. С. 56-59

Тлеющийразряд,положительыйстолб,плазма,параметры Разработана методика расчета электронной температуры и градиента потенциала в положительном столбе разрядных промежутков, характерных для лазеров тлеющего разряда. Методика базируется на использовании уравнения баланса ионизации в многокомпонентных газовых разрядах, протекающих в узких протяженных трубках. Получено удовлетворительное согласие расчетных и экспериментальных результатов применительно к условиям лазеров на углекислом газе.

 

Розанов Л.Н., Скрябнев А.Ю. КОМБИНИРОВАННЫЕ ВАКУУММЕТРИЧЕСКИЕ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ// ВТТ. 2014. Т. 24.№ 1. С. 67-70

Вакуумный преобразователь, комбинированный вакуумметр, тепловой способ измерения низких давлений, инверсно-магнетронный способ измерения низких давлений

Комбинированные преобразователи, использующие тепловой и инверсно-магнетронный принципы действия, были разработаны в двух конструктивных вариантах. В первом варианте тепловая и магнитная части работают независимо друг от друга. Во втором варианте один и тот же конструктивный элемент при работе в разных режимах имеет различное функциональное назначение. Диапазон давлений, в котором происходит перекрытие тепловой и магнитной градуировочных характеристик, составляет 100..101 Па. Диапазон измерения преобразователей 10-5..105   Па .


Вы можете скачать документ Скачать

Дополнительная профессиональная образовательная программа «Основы течеискания и вакуумной техники» 5 – 7 июня 2018

ООО «ВАКТРОН» и Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» имени В.И. Ульянова приглашают сотрудников предприятий принять участие в программе повышения квалификации «Основы течеискания и вакуумной техники» 5 – 7 июня 2018 года.

Основы течеискания и вакуумной техникиЛекторы курса:

  1. Преподаватели университета СПбГЭТУ «ЛЭТИ» — расчетные и исследовательские задачи
  2. Сотрудники компании ВАКТРОН — разработка систем течеискания и вакуумирования
  3. Представители завода «Измеритель» — сервис и запчасти для течеискателей ТИ
  4. Специалисты метрологической организации — поверка и калибровка в течеискании
  5. Представители аттестационного центра — аттестация персонала и лаборатории NDT
  6. Инженеры по сервису ULVAC, NOLEK и PEDRO GIL — модернизация и обслуживание вакуумных насосов и аналитических систем

Базовые темы обучения:

  • Вакуумная техника и контроль герметичности в авиационной и космической отрасли
  • Герметичность объектов военного назначения
  • Выбор вакуумных насосов и течеискателей для металлургии, научных исследований и коммерческих задач
  • Ремонт вакуумных печей и напылительных установок
  • Автоматические линии контроля герметичности».

После прохождения итогового тестирования специалист получает методические материалы, видеозапись занятий и удостоверение о повышении квалификации государственного образца по университетской программе дополнительного профессионального образования. Занятия будут проходить в Санкт-Петербурге в аудиториях университета СПбГЭТУ «ЛЭТИ» с посещением сервисного участка ВАКТРОН. Для направления на обучение необходима предварительная регистрация. Регистрация участников: 8 (812) 740-66-02, Этот адрес электронной почты защищен от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.

Скачать приглашение и программу курса (DOC)


8-812-740-66-02
8-812-989-04-49
Этот адрес электронной почты защищен от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.