Спектральный эллипсометр Ulvac Unecs-1500M
Ulvac UNECS – это серия спектральных эллипсометров для быстрого и точного измерения показателя преломления и толщины тонких пленок: оксидные пленки, нитридные пленки, фоторезистивные пленки, пленки оксида индия-олова и т.д.
Спектральный эллипсометр Ulvac Unecs-1500M отличается тем, что имеет настраиваемый вручную столик для образцов d 150 мм.
Позволяет легко устанавливать измеряемые точки с помощью точного настраиваемого R-θ предметного столика.
Применение уникального метода измерения позволяет реализовать высокоскоростные измерения в малых габаритах устройства, такие как:
- Измерение толщины пленок и слоев в тонкопленочных структурах
- Измерение оптических констант образцов
- Исследование структуры материалов
- Анализ состояния поверхности и структуры
Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» имени В. И. Ульянова и ООО «ВАКТРОН» приглашают сотрудников предприятий принять участие в курсе повышения квалификации «Основы течеискания и вакуумной техники».