Серия UNECS — это высокоскоростные «snapshot»-эллипсометры для измерения толщины и оптических параметров тонких плёнок с автоматическим построением карт по всей поверхности подложки. Устройства поддерживают автофокус и автоматическую разводку точек на R-θ-столике, что обеспечивает стабильную точность и высокую производительность как в НИОКР, так и в серийном контроле качества.
Ключевые особенности
- СкоростьМетод моментального «снимка»: быстрые карты толщины и параметров n,k без механического сканирования оптических узлов.
- ОптикаДва типовых спектральных диапазона: 530–750 нм (стандарт) и 380–760 нм (видимый), с выбором диаметра измерительного пятна.
- ТочностьПовторяемость толщины до 0,1 нм (1σ) на эталонных образцах; рабочий диапазон — от единиц нанометров до нескольких микрон (в зависимости от материала).
- АвтоматизацияАвтофокус и автоматическое R-θ-картирование всей поверхности подложки с визуализацией в 2D и, при необходимости, в 3D.
- МногослойностьПоддержка моделей многослойных структур и расчёт оптических постоянных верхних слоёв.
- НадёжностьКомпактный измерительный модуль без вращающихся узлов — меньше сервисных операций и стабильная метрология.
Спектральный эллипсометр Ulvac Unecs-1500M
Ulvac UNECS – это серия спектральных эллипсометров для быстрого и точного измерения показателя преломления и толщины тонких пленок: оксидные пленки, нитридные пленки, фоторезистивные пленки, пленки оксида индия-олова и т.д.
Спектральный эллипсометр Ulvac Unecs-1500M отличается тем, что имеет настраиваемый вручную столик для образцов d 150 мм.
Позволяет легко устанавливать измеряемые точки с помощью точного настраиваемого R-θ предметного столика.
Применение уникального метода измерения позволяет реализовать высокоскоростные измерения в малых габаритах устройства, такие как:
- Измерение толщины пленок и слоев в тонкопленочных структурах
- Измерение оптических констант образцов
- Исследование структуры материалов
- Анализ состояния поверхности и структуры
Портативный спектральный эллипсометр Ulvac Unecs-portable
Легкая и компактная переносная модель спектрального эллипсометра Ulvac.
Масса измерительного устройства всего 2,2 кг. Оно легко может быть доставлено на место проведения измерений.
Также позволяет измерять образцы больших размеров при отсоединении специального столика и установки устройства прямо на образец или установку.
Комплект поставки эллипсометра Ulvac Unecs-portable
- Измерительное устройство (включая столик).
- Блок управления.
- Блок источника света.
- Управляющий ПК (Ноутбук) и руководство по эксплуатации (CD).
Спектральные эллипсометры Ulvac Unecs
Компания Ликлаб представляет в России спектральные эллипсометры ULVAC UNECS, изготавливаемые в Японии. UNECS – это серия спектральных эллипсометров для быстрого и точного измерения показателя преломления и толщины тонких пленок.
Применение уникального метода измерения позволяет проводить высокоскоростные измерения при малых габаритах устройства. Широкая серия приборов Ulvac Unecs включает в себя портативные, автоматизированные, встроенные и другие типы моделей.
Особенности cпектральных эллипсометров ULVAC UNECS
• Высокоскоростное измерение
Реализован метод моментального снимка и высокоскоростное измерение в 20 мс на точку.
• Видимая область спектра
Изменяемая область спектра длин волн. Стандартная область 530 нм ~ 750 нм и видимая область 380 нм ~ 760 нм.
• Компактный сенсор
Сенсор легок и очень компактен. Он состоит из оптического элемента без вращающихся частей. Кроме того, нет необходимости в периодическом техническом обслуживании.
• Широкая приборная серия
Широкая серия приборов включает в себя портативные, автоматизированные, встроенные и другие типы моделей.
Аксессуары для масс-спектрометров Ulvac Qulee
К анализаторам остаточных газов серии Qulee компания ULVAC предлагает большое количество дополнительных аксессуаров.
- Система контроля измерений
- Кожух для прогрева
- Кейс для переноски
- Вакуумные откачные системы
Перечень аксессуаров для Ulvac Qulee
Универсальный щуп для щупового (sniffer) метода течеискания гелием. Конструкция обеспечивает малую задержку отклика, точную локализацию микроподтечек и долговечную работу в производственных условиях. Совместим с большинством масс-спектрометрических течеискателей через стандартные присоединения ISOKF.
Встраиваемая модель Ulvac Unecs-1M обладает малыми габаритами и позволяет реализовать в комплексной системе такие функции эллипсометрических измерений, как:
Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» имени В. И. Ульянова и Лаборатория Ликлаб приглашают сотрудников предприятий принять участие в