Щуп для гелиевого течеискателя

Универсальный щуп для щупового (sniffer) метода течеискания гелием. Конструкция обеспечивает малую задержку отклика, точную локализацию микроподтечек и долговечную работу в производственных условиях. Совместим с большинством масс-спектрометрических течеискателей через стандартные присоединения ISOKF.

Совместимость

Щуп механически и по расходу согласуется с входами щупового режима массовых течеискателей. Базовые варианты подключения: ISOKF16, ISOKF25, резьба M5; по запросу поставляются адаптеры к другим стандартам.

Если вашей модели нет в списке — укажите тип входа щуповой линии, и мы укомплектуем подходящим адаптером.

Датчики давления ULVAC и вакуумметры G-TRAN: как выбрать и внедрить

Специалисты «Ликлаб» подготовили практический обзор современных датчиков давления ULVAC — от Пирани для низкого вакуума до ионизационных датчиков для высокого и сверхвысокого вакуума, а также емкостных манометров для прецизионных процессов. Ниже — краткий путеводитель по линейкам, рекомендации по выбору, интеграции и сервису.

Где применяются датчики ULVAC

• Производство полупроводников, микро- и оптоэлектроники, ЖК-панелей и фотоэлектронных элементов;
• Контроль откачки шлюзовых и процессных камер, мониторинг технологических газов и режимов;
• Испытательные стенды, вакуум-камеры НИОКР, системы течеискания и герметизации;
• Криогенная техника, покрытие/осаждение (PVD/CVD), термовакуумные испытания.

Линейки и модели ULVAC: краткий путеводитель

Как выбрать тип датчика под задачу

Задача/режим	Рекомендуемый тип	Почему
Быстрый мониторинг откачки шлюза, rough-линия	Пирани (SP1, SW100)	Недорогие, стойкие к неидеальному газу, быстрый отклик и широкий диапазон.
Стабильный контроль HV (10−3…10−7 мбар)	Холодный катод (SC1)	Меньше риск деградации катода, устойчивость к загрязнениям, компактность.
UHV и метрологичный контроль нижнего диапазона	Ионизационные (SH200/ST200/Ax-TRAN)	Высокая чувствительность и стабильность при правильной калибровке и прогреве.
Точные технологические процессы (CVD/PVD, дозирование)	Емкостные CCMT-D	Абсолютное измерение, независимое от состава газа, термостабилизация сенсора.
Один пост/одна камера	Контроллер ISG1	Простой монтаж и интеграция с датчиками G-TRAN.
Многокамерная установка, стенд НИОКР	Контроллеры IM1R1/IM2R1	Мультиканальность, единая платформа для нескольких датчиков.

Практические советы по установке и эксплуатации

1. Правильное место отбора. Ставьте датчик на отвод с ламинарным потоком и достаточной проводимостью; Пирани — вдали от струйных напусков, ионизационные — вдали от плазмы.
2. Газовая чистота. Перед пуском — продувка сухим азотом; для HV/UHV — вакуум-выпечка по регламенту производителя.
3. Электрика и «земля». Используйте экранированные кабели и корректное заземление контроллеров ISG/IM для устойчивых показаний.
4. Калибровка и поверка. Рекомендуем ежегодную поверку/калибровку; для емкостных CCMT-D — контроль нуля и температурной стабильности, для ионизационных — проверку эмиссии/характеристик.
5. Сервис. Холоднокатодные датчики требуют периодической очистки при загрязнении; горячекатодные — бережных режимов в присутствии активных газов.

Коротко о ключевых моделях

• SP1 (Пирани): базовый, компактный, универсальный для rough-вакуума.
• SW100 (Пирани wide-range): широкий диапазон, устойчивая работа в «грязных» условиях.
• SC1 (холодный катод): HV/UHV, компактный корпус, удобный сервис.
• SH200/ST200 (ионизация): стабильность и чувствительность для высоких вакуумов.
• CCMT-D (емкостной манометр): прецизионный контроль абсолютного давления, невосприимчив к составу газа.
• ISG1 (1-канальный контроллер): компактная интеграция одного датчика.
• IM1R1/IM2R1 (мульт. контроллеры): масштабируемые платформы для нескольких датчиков и камер.
• Ax-TRAN (ионизационный датчик): OEM-компоненты для высоких/сверхвысоких вакуумов.

Интеграция в ваши установки

Датчики ULVAC поддерживают стандартные фланцы KF/CF/ISO, контроллеры — типовые сигналы для ПЛК/SCADA. Для схемы «шлюз + процессная камера» рациональна связка: SW100 на rough-участке, SC1 или SH200 в зоне HV и CCMT-D как метрологическая «опорная» мерка давления, управляемые через ISG1 (один пост) либо IM1R1/IM2R1 (несколько каналов).

Сервис и сопровождение «Ликлаб»

Клапаны для вакуумных систем

Виды вакуумных клапанов, предлагаемых компанией ООО «Ликлаб»:

1. Клапаны микропотоков, микроклапаны
2. Стандартные угловые и проходные клапаны: DN16, DN25, DN50 с фланцами ISO-KF
3. Клапаны с повышенной проводимостью угловые DN63, DN100, DN150, DN200, DN250 с фланцами ISO-K
4. Затворы условного диаметра DN16, DN25, DN40, DN50, DN63, DN100, DN150, DN200, DN250
5. Клапаны нормированного напуска, клапаны-натекатели

Вакуумметр ВИТ-2 с лампами ПМТ-2, ПМТ-4М и ПМИ-2

Манометром называют прибор для измерения давления газа или жидкости. Приборы для измерения давления ниже атмосферного называются вакуумметрами. Диапазон давлений, которые имеют место в вакуумной технике, составляет семнадцать порядков: от атмосферного до 10^-12 Па.

Величина диапазона настолько значительна, что его измерение одним типом вакуумметра невозможно. Разработано большое количество типов вакуумметров, работающих в своём диапазоне, определяемом физикой преобразования давления.

Встраиваемый эллипсометр Ulvac Unecs-1M

Встраиваемая модель Ulvac Unecs-1M обладает малыми габаритами и позволяет реализовать в комплексной системе такие функции эллипсометрических измерений, как:

• Измерение толщины пленок и слоев в тонкопленочных структурах
• Измерение оптических констант образцов
• Исследование структуры материалов
• Анализ состояния поверхности и структуры

Встраиваемый эллипсометр Ulvac Unecs-1M - это легкая и компактная модель, разработанная для встраивания в различные системы, подходящая для измерений и в вакууме, и при атмосферном давлении.

Автоматические спектральные эллипсометры ULVAC UNECS-1500A / 2000A / 3000A

Продолжить

Спектральный эллипсометр Ulvac Unecs-1500M

Ulvac UNECS – это серия спектральных эллипсометров для быстрого и точного измерения показателя преломления и толщины тонких пленок: оксидные пленки, нитридные пленки, фоторезистивные пленки, пленки оксида индия-олова и т.д.

Спектральный эллипсометр Ulvac Unecs-1500M отличается тем, что имеет настраиваемый вручную столик для образцов d 150 мм.

Позволяет легко устанавливать измеряемые точки с помощью точного настраиваемого R-θ предметного столика.

Применение уникального метода измерения позволяет реализовать высокоскоростные измерения в малых габаритах устройства, такие как:

• Измерение толщины пленок и слоев в тонкопленочных структурах
• Измерение оптических констант образцов
• Исследование структуры материалов 
• Анализ состояния поверхности и структуры

Портативный спектральный эллипсометр Ulvac Unecs-portable

Легкая и компактная переносная модель спектрального эллипсометра Ulvac.

Масса измерительного устройства всего 2,2 кг. Оно легко может быть доставлено на место проведения измерений.

Также позволяет измерять образцы больших размеров при отсоединении специального столика и установки устройства прямо на образец или установку.

Комплект поставки эллипсометра Ulvac Unecs-portable

• Измерительное устройство (включая столик). 
• Блок управления.
• Блок источника света.
• Управляющий ПК (Ноутбук) и руководство по эксплуатации (CD).

Спектральные эллипсометры Ulvac Unecs

Компания Ликлаб представляет в России спектральные эллипсометры ULVAC UNECS, изготавливаемые в Японии. UNECS – это серия спектральных эллипсометров для быстрого и точного измерения показателя преломления и толщины тонких пленок.

Применение уникального метода измерения позволяет проводить высокоскоростные измерения при малых габаритах устройства. Широкая серия приборов Ulvac Unecs включает в себя портативные, автоматизированные, встроенные и другие типы моделей.

Особенности cпектральных эллипсометров ULVAC UNECS

• Высокоскоростное измерение

Реализован метод моментального снимка и высокоскоростное измерение в 20 мс на точку.

• Видимая область спектра

Изменяемая область спектра длин волн. Стандартная область 530 нм ~ 750 нм и видимая область 380 нм ~ 760 нм.

• Компактный сенсор

Сенсор легок и очень компактен. Он состоит из оптического элемента без вращающихся частей. Кроме того, нет необходимости в периодическом техническом обслуживании.

• Широкая приборная серия

Широкая серия приборов включает в себя портативные, автоматизированные, встроенные и другие типы моделей.

Аксессуары для масс-спектрометров Ulvac Qulee

К анализаторам остаточных газов серии Qulee компания ULVAC предлагает большое количество дополнительных аксессуаров.

• Система контроля измерений
• Кожух для прогрева
• Кейс для переноски
• Вакуумные откачные системы

Перечень аксессуаров для Ulvac Qulee