Гелиевый масс-спектрометрический течеискатель

Комплект масс-спектрометрического течеискателя Leaklab L для организации участка контроля герметичности

Инженерное решение «под ключ» для запуска участка неразрушающего контроля герметичности: поставка оборудования, методическое сопровождение, обучение персонала и полное метрологическое обеспечение. Сердцем комплекта является гелиевый масс-спектрометрический течеискатель ZQJ с селективной регистрацией по m/z = 4 и отображением результатов в Па·м³/с. Оснастка подобрана для корректной работы как в вакуумном режиме, так и по щуповому методу, включая сервисные и поверочные аксессуары для стабильной эксплуатации. Состав поставки:

• Течеискатель ZQJ (гелиевый, масс-спектрометрический) с испытательным входом KF-25.
• Комплект обдува гелием (КОГ) с редуктором, шлангами и быстросъёмными соединениями.
• Щуп для локализации микроподтечек, длина 5 м.
• Транспортировочный кофр для безопасной логистики и пересылки на поверку.
• Эталонная гелиевая течь для внешней калибровки и верификации чувствительности, прослеживаемая к государственным эталонам.
• Клапан KF-25 на входной порт и переходник П-KF-25 для подключения внешней течи.
• Сильфон вакуумный KF-25, длина 1 м.

Ключевые преимущества

Характеристика	Техническая реализация / польза
Работа при «массивных» течах на старте	Турбомолекулярный насос Pfeiffer SplitFlow допускает начало откачки при p ≥ 2500 Па, что сокращает требования к предварительной дегазации и времени подготовки объекта.
Защищённая форвакуумная линия	ULVAC GHD-031B с магнитной муфтой и анти-backstreaming обеспечивает отсутствие масляного переноса в объект и анализатор, поддерживая чистоту контуров.
Дублированный контроль давления	Ионизационный датчик в анализаторе и Пирани (Pfeiffer) на входе формируют корректные блокировки, предотвращая перегрузку источника ионов.
Низкий фон и стабильный ноль	Газодинамическая схема «противотока» и развязка трактов уменьшают сквозной пролет газов через анализатор; иридиевые катоды работают типично 5–7 лет без деградации чувствительности.
Готовность к интеграции	RS-232 (D-Sub 9), I/O (D-Sub 37), журнал данных и онлайн-мониторинг; сенсорная панель с возможностью выносного размещения.
Полный жизненный цикл	Курс ДПО «Основы течеискания и вакуумной техники», регламентное сервисное обслуживание, ЗИП и методподдержка для внедрения на линии.

Рекомендуется:

• до ввода в работу выполнить верификацию по эталонной течи с фиксацией времени отклика и фонового уровня;
• в протоколе указывать условия испытаний (T, RH, p), номинал/неопределённость течи и схему подключения;
• при щуповом поиске выдерживать скорость 0,10–0,15 м/мин и зазор ≤ 5 мм, исключая подсос воздуха у воздухозабора;
• контролировать состояние оснастки KF/CF и уровень фонового He (≈ 5 ppm).

Метрологические характеристики

Параметр	Значение
Диапазон по вакуумному входу («Нормальный»), Па·м³/с	1×10−12 … 1×10−1
Диапазон по вакуумному входу («Массивная течь»), Па·м³/с	1×10−9 … 1×10−1
Щуповой метод, Па·м³/с	5×10−9 … 1×10−2
Минимальный достоверный поток (вакуумный режим)	≤ 5×10−13 Па·м³/с
Относительная погрешность («Нормальный»)	±(0,15 + Qнпи/Qизм)·100 %
Относительная погрешность («Массивная течь»)	± 50 %

Примечание. Единица Па·м³/с выводится из уравнения состояния идеального газа (см. ГОСТ 8.417-2002, п. 5.2.1). Обозначения: Q_нпи — нижний предел измерений, Q_изм — фактически измеренный поток.

Основные технические характеристики

Габариты корпуса, мм (Д×В×Ш), не более	545 × 380 × 430
Масса, кг, не более	55
Электропитание	220 В ± 22; 50 Гц ± 1
Условия эксплуатации	+10…+35 °C; RH ≤ 80 % (без конденсации); 84…106,7 кПа
Наработка на отказ, ч / Срок службы, лет	≥ 15 000 / ≈ 12

Эксплуатационные параметры

Максимальное давление начала вакуумных испытаний	≥ 2500 Па
Время отклика до 63 % стационарного сигнала	< 2 с
Готовность к работе	≤ 3 мин
Быстрота форвакуумной откачки (ULVAC GHD-031B)	≥ 30 л/мин
Совместимые контрольные газы	He-4, He-3, H2
Датчики давления	Пирани (вход), ионизационный (анализатор)
Функции защиты и обслуживания	Защита от «отравления» He, прочистка/дегазация, архив и онлайн-мониторинг
Интерфейсы	RS-232 (D-Sub 9), I/O (D-Sub 37), выносной сенсорный экран

Практика применения

Для воспроизводимой оценки герметичности в протоколе фиксируются условия испытаний, схема подключения и бюджет неопределённости. Щуповой поиск ведётся со скоростью 0,10–0,15 м/мин при зазоре ≤ 5 мм, предпочтительно снизу вверх. До и после серии испытаний выполняется контроль по эталонной течи для подтверждения неизменности чувствительности и нуля прибора.

Важные замечания по эксплуатации

Течеискатель не предназначен для откачки больших объёмов и не заменяет форвакуумный пост. Для габаритных изделий или протяжённых полостей применяйте внешнюю форвакуумную станцию. Конструкция с интегрированным клапаном напуска и магнитной муфтой минимизирует риск масляной контаминации, что делает комплект пригодным для объектов, чувствительных к углеводородам; по запросу доступны безмасляные конфигурации.

Документация и ввод в эксплуатацию

В комплекте поставляются руководство по эксплуатации (RU), паспорт и гарантийный формуляр с серийной идентификацией. Пусконаладка и обучение проводятся аттестованными специалистами НК по методу ПВТ. Результаты поверки и сведения о приборе регистрируются в АРШИН. По запросу предоставляются методики, формы протоколов и рекомендации по включению контроля в систему менеджмента качества предприятия.