Вакуумметры ASAIR серии AGP и ADP

Вакуумметры ASAIR серии AGP и ADP для научных и промышленных вакуумных систем

Вакуумметры ASAIR серии AGP и ADP Компания ASAIR специализируется на разработке и производстве высокоточных датчиков давления и вакуумметров, ориентированных на применение в вакуумной, полупроводниковой, фармацевтической, энергетической и упаковочной промышленности. Линейка приборов включает Пирани-вакуумметры, ёмкостные и пьезорезистивные датчики абсолютного давления, комбинированные широкодиапазонные вакуумметры, а также компактные цифровые дифференциальные датчики для контроля малых перепадов давления.

Вакуумметры ASAIR построены на современной элементной базе: тонкоплёночные ёмкостные сенсоры, кремниевые пьезорезистивные элементы, MEMS-чипы и ионизационные модули холодного катода. Это обеспечивает высокую точность, устойчивость к загрязнениям и удобство интеграции в системы автоматизации через аналоговые и цифровые интерфейсы.

Линейка ASAIR охватывает диапазон давлений от атмосферного уровня и технического вакуума до области высокого и сверхвысокого вакуума, что позволяет использовать однородную платформу приборов для построения комплексных вакуумных систем контроля и управления.

Классификация вакуумметров ASAIR по принципу действия

Для удобства проектирования и выбора приборы ASAIR можно разделить по принципу измерения давления и типу применяемого сенсора. Это обеспечивает предсказуемое поведение в заданном диапазоне, корректный выбор для конкретной технологической задачи и возможность унификации измерительных каналов.

Класс приборов	Принцип действия	Типовые модели	Основной диапазон давления	Типичные области применения
Пирани-вакуумметры	Измерение теплопроводности газа нагретым элементом (метод Пирани)	AGP Пирани с монитором, AGP3000	приблизительно 5×10⁻⁵ … 10³ мбар	Форвакуум, откачка камер, мониторинг вакуумных постов и насосных станций
Ёмкостные (мембранные) вакуумметры	Измерение деформации мембраны и изменения ёмкости (абсолютное давление)	AGP2110, AGP2111, AGP2112, AGP2113, AGP21	от долей Торр до 1000 Торр (0.01 … 1000 мбар)	Прецизионный технологический вакуум, процессы PVD/CVD, фармацевтика, упаковка
Пьезорезистивные вакуумметры	Изменение сопротивления кремниевого сенсора при деформации мембраны	AGP10 (0–100 Торр и 0–1000 Торр), AGP11 (0–100 Торр и 0–1000 Торр)	0 … 100/1000 Торр (зона низкого и технического вакуума)	Вакуумные печи, автоклавы, упаковка, сушильные камеры, металлургия
Комбинированные широкодиапазонные вакуумметры	Совмещение Пирани и холодного катода	AGP широкодиапазонный с монитором, AGP4000	приблизительно 10⁻⁹ … 10³ мбар или 10⁵ … 10⁻⁶ Па	Установки высокого и сверхвысокого вакуума, ионно-плазменные процессы, аналитическое оборудование
Дифференциальные датчики давления	Пьезорезистивный сенсор с цифровой обработкой	ADP910	-500 … +500 Па	HVAC, фильтрация, газовые котлы, медицинские дыхательные системы, противопожарная автоматика

Пирани-вакуумметры ASAIR

Вакуумметр Пирани AGP с монитором (1×10⁵ – 1 Па, ±5%)

Вакуумметр Пирани AGP с монитором представляет собой высокоточный теплопроводный датчик, реализованный на основе моста Уинстона и MEMS-чипа. Прибор выполняет измерения в диапазоне от 5×10⁻⁵ до 1×10³ мбар в среде воздуха или азота, что соответствует области от высокого форвакуума до близких к атмосферным значениям. Конструкция с MEMS-элементом обеспечивает высокую чувствительность, повторяемость и устойчивость к механическим воздействиям.

Наличие монитора позволяет локально отображать давление и диагностические параметры, а также задавать уставки и режимы работы. Аналоговый выход и цифровой интерфейс обеспечивают включение прибора в состав автоматизированных вакуумных постов, стендов течеискания и технологических установок.

Теплопроводный вакуумметр Asair AGP3000

Модель AGP3000 ориентирована на компактные и экономичные решения для контроля низкого и среднего вакуума. Прибор использует классический метод Пирани, что делает его удобным для мониторинга форвакуума в насосных станциях, вакуумных печах и лабораторных системах.

Параметр	AGP Пирани с монитором	AGP3000
Диапазон измерения	примерно 5×10⁻⁵ … 1000 мбар (1×10⁵ … 1 Па в эквиваленте)	порядка 1×10⁻³ … 1000 мбар (типичный диапазон теплопроводных датчиков)
Принцип измерения	Пирани, мост Уинстона, MEMS-чип	Пирани, термокондуктометрический сенсор
Интерфейсы	Аналоговый выход, монитор, возможен цифровой интерфейс	Аналоговый выход 0–10 В или 4–20 мА (в зависимости от исполнения)
Основные области применения	Течеискательные стенды, насосные посты, лабораторные камеры	Вакуумные печи, насосные станции, лабораторные установки общего назначения

Мембранно-ёмкостные вакуумметры AGP2110, AGP2111, AGP2112, AGP2113

Серия AGP2110–AGP2113 представляет собой высокоточные ёмкостные вакуумметры для измерения абсолютного давления в диапазонах от 0 до 1, 10, 100 и 1000 Торр. Принцип действия основан на измерении деформации упругой диафрагмы и последующем преобразовании её в электрический сигнал, пропорциональный давлению. Такой метод обеспечивает независимость показаний от состава газа и высокую линейность шкалы.

Во всех моделях используется коррозионно-стойкая конструкция из сплавов Inconel и нержавеющей стали, фланцевое присоединение KF16, а также единая электронная платформа с цветным TFT-дисплеем, аналоговым выходом 0–10 В и цифровым интерфейсом RS485 (Modbus RTU). Это облегчает стандартизацию и интеграцию в технологические линии.

Модель	Диапазон	Тип сенсора	Точность	Ключевые особенности	Основные области применения
AGP2110	0–1 Торр	Мембранно-ёмкостный, абсолютный	±0,3 %	Высокая чувствительность в области низкого вакуума, устойчивая работа в агрессивных средах	Полупроводниковые процессы, точные лабораторные эксперименты, калибровочные стенды
AGP2111	0–10 Торр	Мембранно-ёмкостный, абсолютный	±0,3 %	Цветной TFT-дисплей, 0–10 В, RS485 (Modbus RTU), материал Inconel	Плазменные процессы, фармацевтическая стерилизация, вакуумная упаковка
AGP2112	0–100 Торр	Мембранно-ёмкостный, абсолютный	±0,3 %	Независимость от состава газа, возможность первичной поверки и калибровки в ВНИИМ	Вакуумная сушка, термообработка, дегазация, процессы среднего вакуума
AGP2113	0–1000 Торр	Мембранно-ёмкостный, абсолютный	±0,3 %	Широкий диапазон от глубокого до технического вакуума, прочная конструкция из Inconel и нержавеющей стали	Технический вакуум в лабораторных и промышленных установках, контроль вакуумных печей и камер

Все приборы серии AGP211x поддерживают возможность первичной калибровки и поверки в аккредитованных метрологических центрах, включая ВНИИМ, с выдачей официальных свидетельств. Это позволяет включать их в метрологическую инфраструктуру предприятий и использовать в системах с обязательным контролем измерительных средств.

Ёмкостные и пьезорезистивные датчики ASAIR AGP21 и AGP11

В дополнение к линейке AGP211x компания ASAIR предлагает ёмкостный вакуумметр AGP21 и пьезорезистивные датчики AGP11 в различных диапазонах. AGP21 ориентирован на высокоточные измерения в диапазоне от 0,1 до 1000 мбар и допускает варианты с более узкими диапазонами (например, 0,01–100 мбар). AGP11 представляет собой платформу пьезорезистивных датчиков с монитором, предназначенных для измерения абсолютного давления до 1000 мбар или 1000 Торр.

Модель	Принцип	Диапазон	Особенности	Применение
AGP21	Ёмкостный (Capacitive Film Gauge)	Типовой: 0,1 … 1000 мбар (доступны варианты)	Абсолютное измерение давления, высокая точность и воспроизводимость, устойчивость к температурным колебаниям	Вакуумная упаковка, лаборатории, фармацевтические установки, технологические линии
AGP11 (0–100 Торр)	Пьезорезистивный	0–100 Торр	Кремниевый сенсор с масляной изоляцией, выход 0–10 В или 4–20 мА, KF16, разъём Hersman, время отклика до 50 мс	Вакуумная упаковка, лабораторные стенды, дегазация, низковакуумные технологические процессы
AGP11 (0–1000 Торр)	Пьезорезистивный	0–1000 Торр	Абсолютный датчик для технического вакуума, возможна первичная калибровка в ВНИИМ, интерфейсы 0–10 В или 4–20 мА	Металлургия, машиностроение, вакуумная упаковка, энергетика, научные исследования

Пьезорезистивные датчики AGP10: компактные решения для промышленного вакуума

Серия AGP10 включает компактные пьезорезистивные вакуумметры с диапазонами 0–100 Торр и 0–1000 Торр. Конструкция основана на диффузионном кремниевом сенсоре, герметично заполненном маслом, что обеспечивает стабильность показаний и устойчивость к агрессивным и загрязнённым средам. Наличие линейного аналогового выхода 1–5 В и времени отклика до 50 мс позволяет легко интегрировать приборы в существующую автоматику.

Модель	Диапазон	Точность	Конструктивные особенности	Типичные задачи
AGP10 (0–100 Торр)	0–100 Торр	±0,5 % FS	Пьезорезистивный сенсор, маслонаполненная капсула, выход 1–5 В, питание 15–24 В DC	Контроль остаточного давления в печах, линиях упаковки, плазменной сварке, дегазации
AGP10 (0–1000 Торр)	0–1000 Торр	±0,5 % FS	Нержавеющая сталь 316L, фланец KF16, время отклика до 50 мс, промышленное исполнение	Технический вакуум в металлургии, солнечной энергетике, автоклавах и сушильных камерах

Благодаря компактным габаритам, высокой виброустойчивости и стабильности показаний приборы AGP10 удобны для монтажа непосредственно на вакуумных линиях и в составе серийного промышленного оборудования.

Комбинированные широкодиапазонные вакуумметры ASAIR AGP и AGP4000

Для задач, требующих измерения давления в широком диапазоне от атмосферного уровня до области высокого и сверхвысокого вакуума, ASAIR предлагает комбинированные вакуумметры AGP и AGP4000. Эти приборы совмещают Пирани-датчик для области низкого и среднего вакуума и ионизационный модуль холодного катода (Penning) для высоковакуумной области.

Широкодиапазонный вакуумметр AGP с монитором обеспечивает измерения в диапазоне 1×10⁵ – 1×10⁻⁶ Па с типичной точностью порядка ±30 %. Модель AGP4000 расширяет возможности до диапазона 10⁻⁹ … 1000 мбар, имея автоматическое переключение между двумя типами сенсоров, цифровые интерфейсы и компактный форм-фактор.

Модель	Диапазон	Комбинация сенсоров	Ключевые особенности	Области применения
AGP широкодиапазонный с монитором	1×10⁵ – 1×10⁻⁶ Па, ±30 %	Пирани + холодный катод	Индикация на встроенном мониторе, измерение низкого и высокого вакуума в одной системе	Вакуумные системы лабораторий, стенды течеискания, универсальные посты контроля
AGP4000	10⁻⁹ … 1000 мбар	Пирани + холодный катод	Автоматическое переключение сенсоров, высокая устойчивость к загрязнениям, RS485 и аналоговый выход	Полупроводниковые производства, ионно-плазменная обработка, системы сверхвысокого вакуума

Цифровой дифференциальный датчик давления ADP910

Модель ADP910 относится к классу цифровых датчиков дифференциального давления и предназначена для точного измерения перепада в диапазоне от –500 до +500 Па. Прибор обладает высокой стабильностью, малым дрейфом, временем отклика менее 2 мс и интегрированным интерфейсом I²C для работы в составе микропроцессорных систем.

Датчик совместим с воздухом, азотом и кислородом и используется в системах вытяжной и приточной вентиляции, фильтрационных установках, газовых котлах, медицинских дыхательных аппаратах, противопожарных системах, а также в интеллектуальной автоматике зданий.

Параметр	Значение ADP910
Тип измерения	Дифференциальное давление
Диапазон	-500 … +500 Па
Точность	Порядка ±3 %
Время отклика	< 2 мс
Интерфейс	Цифровой I²C, совместимость с микроконтроллерами
Среда	Воздух, азот, кислород
Типичные применения	HVAC, фильтрация, газовые котлы, медицинские приборы, противопожарные системы, умная техника

Интеграция вакуумметров ASAIR в системы контроля и автоматизации

Практическое преимущество линейки ASAIR заключается в наличии унифицированных интерфейсов и вариантов сигналов. Многие вакуумметры оснащаются выходами 0–10 В, 1–5 В или 4–20 мА, что позволяет подключать их к стандартным ПЛК и промышленным контроллерам без дополнительных модулей согласования. Наличие RS485 (Modbus RTU) и I²C в различных моделях обеспечивает возможность цифровой интеграции, передачи диагностических параметров и удалённой настройки.

Совокупность Пирани-вакуумметров, ёмкостных и пьезорезистивных датчиков, комбинированных высоковакуумных приборов и дифференциальных датчиков давления позволяет построить единую измерительную архитектуру на базе продукции ASAIR. Это упрощает обслуживание, калибровку, стандартизацию запасных частей и обучение персонала.

Вакуумметры и датчики давления ASAIR серий AGP и ADP образуют комплексную платформу для задач вакуумной и газовой метрологии. Пирани-вакуумметры обеспечивают надёжный контроль форвакуума, ёмкостные приборы AGP2110–AGP2113 и AGP21 отвечают за прецизионный контроль абсолютного давления, пьезорезистивные датчики AGP10 и AGP11 решают задачи технического вакуума в жёстких производственных условиях, комбинированные системы AGP и AGP4000 покрывают область высокого и сверхвысокого вакуума, а цифровой дифференциальный датчик ADP910 закрывает потребности в контроле малых перепадов давления.

Благодаря сочетанию современных сенсорных технологий, развитых интерфейсов и промышленного исполнения приборы ASAIR применимы как в научных исследованиях, так и в серийном промышленном оборудовании, обеспечивая стабильный и прослеживаемый контроль параметров вакуума и давления.