Вакуумметры INSTRUE WPC400, WPI200, PON100, CMG500, PNP101
Лаборатория контроля герметичности «Ликлаб» поставляет и внедряет линейку вакуумметров INSTRUE на территории России, обеспечивая полный комплекс услуг: подбор конфигурации под задачу заказчика, поставку датчиков и контроллеров, калибровку в российских метрологических центрах, интеграцию в испытательные стенды и системы контроля герметичности, обучение персонала и регламентное обслуживание. Вакуумметры INSTRUE закрывают диапазон давлений от атмосферного до высоковакуумной области и включают Пирани-датчики, широкодиапазонные комбинированные датчики с холодным катодом, мембранно-ёмкостные датчики и интегрированные решения с локальной индикацией.
Обзор линейки датчиков и измерительных решений INSTRUE
Системы измерения давления INSTRUE построены по модульному принципу: измерительные головки (датчики) и универсальный контроллер WGC150 могут комбинироваться в различных конфигурациях. Это позволяет использовать единый парк датчиков для задач: высоковакуумных процессов (WPC400), низковакуумных и технологических процессов (WPI200, PON100, PNP101), прецизионных измерений, не зависящих от состава газа (CMG500).
| Класс устройства | Модель | Тип измерения | Основной диапазон давления | Краткое назначение |
|---|---|---|---|---|
| Широкодиапазонный вакуумметр с холодным катодом | WPC400 | Пирани + холодный катод, комбинированный | 1×10-5 – 1×105 Па | Контроль высокого и форвакуума в технологических и исследовательских установках |
| Пирани-вакуумметр с индикацией | WPI200 | Пирани | 0,1 – 1×105 Па | Низкий вакуум, вакуумные печи, криогенные резервуары, установки нанесения покрытий |
| Пирани-вакуумметр без индикации | PON100 | Пирани | 0,01 – 1×105 Па | Интеграция в АСУ ТП, стенды, течеискательные установки, удалённая индикация |
| Мембранно-ёмкостной вакуумметр | CMG500 | Абсолютный, ёмкостный | несколько диапазонов: 1000 мбар – 20 Па, 100 мбар – 2 Па, 10 мбар – 0,2 Па | Прецизионные измерения, независимые от состава газа, в технологических и метрологических системах |
| Комбинированный MEMS + Пирани | PNP101 | MEMS + Пирани, интегрированный | 5×10-2 – 1,5×105 Па | Контроль давления открытия вакуумных затворов и перепадов в широком диапазоне |
| Универсальный контроллер | WGC150 | Индикация и сбор сигналов | В зависимости от подключённых датчиков | Централизованная индикация и управление датчиками INSTRUE и аналоговыми датчиками других производителей |
Роль Лаборатории Ликлаб в поставке и поддержке вакуумметров INSTRUE
Лаборатория «Ликлаб» выступает технологическим партнёром при внедрении датчиков INSTRUE, обеспечивая:
- подбор оптимальной модели и диапазона под задачу заказчика (испытания на герметичность, вакуумирование изоляции, технологические процессы);
- поставку датчиков, контроллеров WGC150, кабелей и аксессуаров с полной комплектацией и заводскими протоколами испытаний;
- организацию калибровки в российских метрологических институтах с оформлением сертификатов калибровки;
- разработку схем включения и рекомендаций по монтажу в составе вакуумных камер и линий контроля герметичности;
- обучение персонала работе с вакуумметрами, программным обеспечением GaugeReaderV3.0, а также интеграции сигналов в существующие АСУ ТП;
- сервисное обслуживание, диагностику и замену измерительных головок без полной замены электронного блока, что снижает эксплуатационные затраты.
За счёт комплексного подхода «Ликлаб» обеспечивает не только поставку оборудования, но и жизненный цикл измерительной подсистемы: от проектирования до регулярной калибровки и модернизации.
Широкодиапазонный вакуумметр WPC400
Широкодиапазонный вакуумметр WPC400 представляет собой комбинированный датчик, объединяющий Пирани и ионизационный датчик с холодным катодом. Пирани-часть охватывает область низкого и среднего вакуума, а холодный катод обеспечивает измерение высокого вакуума. Ионизационный датчик включается только при достижении безопасного давления, что увеличивает ресурс катода и повышает надёжность.
WPC400 имеет встроенный 5-разрядный светодиодный дисплей, логарифмический аналоговый выход 0–10 В, интерфейс RS485 и возможность беспроводной связи с ПК через модуль USB Wireless WFTC-001. Датчик может работать как автономный измеритель с локальной индикацией, так и узел в составе системы с контроллером WGC150.
| Параметр | Значение WPC400 |
|---|---|
| Диапазон измерения | 1×10-5 – 1×105 Па 7,5×10-8 – 760 мм рт. ст. 1×10-7 – 1000 мбар |
| Тип измерения | Пирани + холодный катод (комбинированный широкодиапазонный вакуумметр) |
| Типы присоединения | A: KF16, B: KF25, C: KF40, D: CF35/40 |
| Точность | 1×10-5 – 1×10-4 Па: ±20 % от значения 1×10-4 – 1×104 Па: ±10 % от значения 1×104 – 1×105 Па: ±50 % от значения |
| Повторяемость | 1×10-5 – 1×103 Па: ±5 % 1×103 – 1×105 Па: ±25 % |
| Предельное давление | 1,5 атм абс. |
| Период измерения | 100 мс |
| Температура отжига | 150 °C (до 300 °C для фланца CF) |
| Выходные сигналы | 5-разрядный LED-дисплей (Па, Торр, мбар) RS485, 9600 бит/с Беспроводная связь через WFTC-001 Аналоговый выход 0–10 В (логарифм давления) Соединение с контроллером WGC150 |
| Дискретные выходы | Два независимых релейных выхода (управление внешними устройствами/сигнал в ПЛК) |
| Диапазон рабочих температур | 0…45 °C |
| Температура хранения | -40…75 °C |
| Влажность эксплуатации | 15–80 % без конденсации |
| Питание | +24 В DC (±20 %), потребляемая мощность около 6,5 Вт |
| Коннектор | D-sub 9-pin |
| Материалы | SS304, SS316L, Kovar 4J50, катод из вольфрама, вакуумное стекло |
| Масса | ≈550 г (KF-исполнение) |
| Габариты | 120 × 61 × 49 мм (KF-исполнение) |
| Степень защиты | IP40 по IEC529 |
Конструкция WPC400 разборная, металлические элементы допускают полировку и очистку от продуктов эксплуатации. Лаборатория «Ликлаб» при поставке даёт рекомендации по периодической очистке и режимам работы (во избежание длительного пребывания в области высоких давлений, особенно в атмосфере аргона, где интенсивный ионный поток ускоряет распыление катода). При корректной эксплуатации ресурс сенсора составляет до 5000 часов.
Вакуумметр Пирани WPI200
WPI200 – Пирани-вакуумметр с локальной индикацией давления. В основе – тонкая нагретая нить накала, натянутая в колбе датчика. Теплоотдача нити зависит от количества соударений молекул газа, поэтому изменение мощности, необходимой для поддержания постоянного сопротивления нити, является косвенной мерой давления.
Датчик оснащён встроенным контроллером, 5-разрядным LED-дисплеем, логарифмическим аналоговым выходом 0–10 В, интерфейсом RS485 и двумя релейными уставками. Устройства серии WPI200 удобны для задач, где требуется визуальный контроль давления непосредственно на трубопроводе или камере.
| Параметр | Значение WPI200 |
|---|---|
| Диапазон измерения | 0,1 – 1×105 Па 7,5×10-3 – 760 мм рт. ст. 1×10-2 – 1000 мбар |
| Типы присоединения | A: KF16, B: KF25, C: KF40, D: CF35/40 |
| Точность | 1×10-1 – 1×104 Па: ±15 % от значения 1×104 – 1×105 Па: ±50 % от значения |
| Повторяемость | 1×10-1 – 1×103 Па: ±5 % 1×103 – 1×105 Па: ±25 % |
| Предельное давление | 1,5 атм абс. |
| Период измерения | 100 мс |
| Выходные сигналы | 5-разрядный LED-дисплей (Па/Торр/мбар) RS485, 9600 бит/с Беспроводная связь через WFTC-001 Аналоговый выход 0–10 В (логарифм давления) Соединение с WGC150 |
| Релейные выходы | 2 независимых реле для управления/сигнализации |
| Рабочая температура | 0…45 °C |
| Температура хранения | -40…75 °C |
| Питание | +24 В DC (±20 %), ≈2 Вт |
| Коннектор | D-sub 9-pin |
| Материалы | SS304, SS316L, Kovar 4J50, вольфрам, стекло |
| Масса | ≈300 г (KF-исполнение) |
| Габариты | 100 × 50 × 32 мм (KF-исполнение) |
| Класс защиты | IP40 по IEC529 |
Лаборатория «Ликлаб» рекомендует устанавливать WPI200 перпендикулярно потоку газа, использовать чистые фторкаучуковые уплотнения и минимизировать вакуумную смазку для снижения влияния дегазации. При поставке заказчик получает рекомендации по выбору уставок реле, интеграции аналогового выхода в систему управления и циклам калибровки.
Вакуумметр Пирани PON100
PON100 – Пирани-вакуумметр без встроенной светодиодной индикации, ориентированный на интеграцию в шкафы управления и удалённые системы индикации. Принцип работы полностью повторяет WPI200: измерение теплопроводности газа через нагретую нить накала и поддержание постоянного сопротивления, пропорционально давлению.
| Параметр | Значение PON100 |
|---|---|
| Диапазон измерения | 0,01 – 1×105 Па 7,5×10-4 – 760 мм рт. ст. 1×10-3 – 1000 мбар |
| Типы присоединения | A: KF16, B: KF25, C: KF40, D: CF35/40 |
| Точность | 1×10-2 – 1 Па: ±30 % от значения 1 – 1×104 Па: ±20 % от значения 1×104 – 1×105 Па: ±50 % от значения |
| Повторяемость | 1×10-2 – 1×10-1 Па: ±5 % 1×10-1 – 1×104 Па: ±2 % 1×104 – 1×105 Па: ±5 % |
| Предельное давление | 1,5 атм абс. |
| Период измерения | 100 мс |
| Выходные сигналы | RS485, 9600 бит/с Соединение с WGC150 Аналоговый выход 0–10 В (логарифм давления) |
| Рабочая температура | 0…45 °C |
| Температура хранения | -40…75 °C |
| Питание | +24 В DC (±20 %), ≈2 Вт |
| Коннектор | RJ-45 |
| Материалы | SS304, SS316L, Kovar 4J50, вольфрам, стекло |
| Масса и габариты | ≈150 г, 120 × D30 мм (KF-исполнение) |
| Класс защиты | IP40 по IEC529 |
«Ликлаб» использует PON100 в составе шкафов управления установками вакуумирования и стендов контроля герметичности, а также поставляет сменные сенсорные головки для снижения стоимости эксплуатации при работе в загрязнённых средах.
Мембранно-ёмкостной вакуумметр CMG500
CMG500 – мембранно-ёмкостной вакуумметр для прецизионных измерений абсолютного давления, независимых от состава газа. Чувствительная керамическая мембрана с металлическим покрытием образует один из электродов конденсатора. Эластическая деформация мембраны под действием давления изменяет ёмкость, что регистрируется электроникой прибора.
Такая конструкция обеспечивает высокую точность (±0,25 % от показания), устойчивость к температурным перепадам и коррозионным газам. Различные толщины мембраны формируют несколько диапазонов, каждый из которых перекрывает около четырёх декад давления.
| Параметр | Значение CMG500 |
|---|---|
| Диапазоны измерений | 1000 мбар – 20 Па 100 мбар – 2 Па 10 мбар – 0,2 Па |
| Типы присоединения | A: KF16, B: CF16, C: VCR 8, D: VCR 4, F: 1/2" |
| Точность | ±0,25 % от значения (после калибровки нуля и атмосферного уровня) |
| Повторяемость | ±0,1 % полной шкалы |
| Разрешение | 0,002 % полной шкалы |
| Долговременная стабильность | ±0,5 % полной шкалы в год |
| Индикация | 5-разрядный LED-дисплей (Па, Торр, мбар) |
| Аналоговый выход | 0–10 В DC, минимальное сопротивление нагрузки 10 Ом |
| Цифровой интерфейс | RS485 (Modbus RTU), 9600 бит/с |
| Релейные выходы | 2 твердотельных реле (до 60 В DC, 500 мА) |
| Предельное давление | 3 атм абс. |
| Период измерения | <10 мс |
| Рабочая температура | -20…+80 °C (компенсация ±0,01 % FS/°C) |
| Температура среды | -10…+50 °C, 5–85 % без конденсата |
| Температура хранения | -20…+85 °C, 5–90 % без конденсата |
| Питание | 24 ± 5 В DC, до 0,5 А, макс. ≈1 Вт |
| Коннектор | D-sub 15-pin |
| Материалы | Нерж. сталь SS304, алюмокерамика, фторкаучук |
| Масса и габариты | ≈250 г, 100 × Ø50 мм (KF-исполнение) |
| Класс защиты | IP40 по IEC529 |
Лаборатория «Ликлаб» использует CMG500 в схемах контроля герметичности и калибровочных стендах как опорный датчик давления, а также организует калибровку в российских институтах метрологии с выдачей сертификата калибровки под конкретные диапазоны.
Комбинированный вакуумметр PNP101 (MEMS + Пирани)
PNP101 – интегрированный вакуумметр, совмещающий MEMS-датчик и Пирани-сенсор. В верхней части диапазона (до 1,5×105 Па) работает MEMS-элемент с высокой точностью, в области низкого вакуума – Пирани. Плавное переключение между каналами обеспечивает непрерывную характеристику по всему диапазону.
| Параметр | Значение PNP101 |
|---|---|
| Диапазон измерений | 5×10-2 – 1,5×105 Па |
| Точность | 3×103 – 1,5×105 Па: ±2,5 % (MEMS) 1 – 3×103 Па: ±15 % (Пирани) 5×10-2 – 1 Па: ±20 % (Пирани) |
| Повторяемость | ±1 % по всему диапазону |
| Максимальное давление | 2×105 Па |
| Время отклика | ≈100 мс |
| Рабочие условия | -5…+45 °C, 5–85 % без конденсации |
| Цифровой интерфейс | RS485, Modbus RTU, 9600 бит/с (стандартно) |
| Аналоговый выход | 0–10,3 В DC (опция) |
| Релейные выходы | Опционально, для процессного контроля |
| Питание | 85–265 В AC, 50–60 Гц, до 0,5 А, мощность ≤35 Вт |
| Масса и габариты | <1 кг; 100 × 98 × 170 мм; вырез под монтаж 91×91 мм |
PNP101 удобен как универсальный датчик для контроля момента открытия/закрытия вакуумных затворов, переходных процессов от атмосферного давления к форвакууму, а также в составе стендов, где требуется непрерывное измерение в широком диапазоне. «Ликлаб» применяет эти датчики при проектировании шкафов управления вакуумными системами.
Номенклатура измерителей, датчиков и аксессуаров INSTRUE
Измерители и вакуумметры
| No | Измеритель | Модель |
|---|---|---|
| 1 | Вакуумметр Пирани без индикации | PON100 |
| 2 | Вакуумметр Пирани с индикацией | WPI200 |
| 3 | Вакуумметр Пирани + датчик с горячим катодом | WPH300 |
| 4 | Вакуумметр Пирани + датчик с холодным катодом | WPC400 |
| 5 | Портативный Пирани-вакуумметр с Li-батареей | RCP230 |
| 6 | Вакуумметр Пирани с одним датчиком | VCT160S |
| 7 | Вакуумметр Пирани с двумя датчиками | VCT160D |
| 8 | Комбинированный Пирани + горячий катод (PG-YZJ27/PG-YZJ52) | YZJ2752T |
| 9 | Комбинированный Пирани + горячий катод (PG-300/PG-YZJ52) | YZJ2752F |
| 10 | Пьезоэлектрический вакуумметр | PNP101 |
| 11 | Вакуумметр с холодным катодом | PVC410 |
| 12 | Мембранно-ёмкостной вакуумметр | CMG500 |
Сменные датчики
| No | Назначение | Модель |
|---|---|---|
| 1 | Сменный датчик для PON100 | PG-100 |
| 2 | Сменный датчик для WPI200 | PG-200 |
| 3 | Сменный датчик для RCP230 | PG-230 |
| 4 | Комбинированный датчик Пирани + горячий катод для WPH300 и YZJ2752F | PG-300 |
| 5 | Сменный датчик для WPC400 | PG-400 |
| 6 | Сменный датчик для VCT160S/VCT160D | PG-160 |
Контроллеры и аксессуары
| No | Наименование | Модель | Позиционный номер (ПН) |
|---|---|---|---|
| 1 | Контроллер вакуумметров INSTRUE | WGC150 | 150-000 |
| 2 | Кабель WGC150–PON100 (3 м по умолчанию) | CBL001-01 | 150-001 |
| 3 | Кабель WGC150–WPI200/WPH300/WPC400 (3 м) | CBL001-02 | 150-002 |
| 4 | Кабель YZJ2752F–PG-300 (3 м) | CBL001-03 | 150-003 |
| 5 | Кабель YZJ2752F–PG-160 (3 м) | CBL001-04 | 150-004 |
| 6 | Кабель VCT160–PG-160 (3 м) | CBL001-05 | 150-005 |
| 7 | Кабель YZJ2752F–PG-YZJ52 (3 м) | CBL001-06 | 150-006 |
| 8 | Источник питания +24 VDC/2 A (кабель 3 м) | ADPT2402A | 150-007 |
| 9 | Преобразователь RS485–USB (кабель 3 м) | RSUSB01 | 150-008 |
| 10 | Беспроводной USB-передатчик с антенной | WFTC-001 | 150-009 |
| 11 | Кабель WGC150–ёмкостной измеритель (3 м) | CBL001-007 | 150-010 |
Поддержка, калибровка и внедрение оборудования INSTRUE со стороны Лаборатории Ликлаб
Лаборатория «Ликлаб» обеспечивает для заказчиков полный цикл работ с вакуумметрами INSTRUE: от подбора конфигурации и поставки до сопровождения эксплуатации в составе вакуумных и течеискательных систем.
- Подбор и проектирование: анализ диапазонов давления, требований к точности и интерфейсам, выбор между Пирани, комбинированными и ёмкостными датчиками.
- Поставка: поставка датчиков WPC400, WPI200, PON100, CMG500, PNP101, контроллеров WGC150, кабелей и аксессуаров с проверкой комплектности и исходной калибровки.
- Калибровка в России: организация калибровки и при необходимости поверки в аккредитованных метрологических центрах с оформлением свидетельств. Срок выполнения калибровочных процедур, как правило, до 20 рабочих дней.
- Интеграция: разработка схем включения, параметризация интерфейсов RS485/Modbus, настройка уставок реле для управления насосами, клапанами и блокировками.
- Обучение персонала: практические занятия по интерпретации показаний, работе с GaugeReaderV3.0, обслуживанию сенсорных блоков и контроллеров.
- Сервис: диагностика и замена измерительных головок без смены всего прибора, очистка комбинированных датчиков WPC400, проверка соответствия показаний эталонным датчикам.
Такой подход позволяет использовать вакуумметры INSTRUE не как разрозненные устройства, а как часть единой измерительной инфраструктуры предприятия: от стендов испытаний на герметичность и криогенных систем до линий вакуумной сушки, напыления и производства полупроводниковых компонентов. Лаборатория «Ликлаб» обеспечивает техническую преемственность, метрологическую прослеживаемость и методическую поддержку на всех этапах жизненного цикла оборудования.
Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» имени В. И. Ульянова и Лаборатория Ликлаб приглашают сотрудников предприятий принять участие в курсе повышения квалификации «Основы течеискания и вакуумной техники».