Высокий и сверхвысокий вакуум ULVAC. Турбомолекулярная, криогенная, диффузионная и ионная откачка для разных газовых нагрузок.
Вакуумные системы и установки
Турбомолекулярная, криогенная, диффузионная и ионная откачка для разных газовых нагрузок.
| Серия или решение | Назначение и особенности |
|---|---|
| UTM с магнитными подшипниками | Турбомолекулярные насосы с отдельным контроллером. |
| UTM-MI | Турбомолекулярная откачка со встроенным управлением. |
| YTP70A-D | Компактный высоковакуумный агрегат; в каталоге указана быстрота откачки по N₂ 70 л/с. |
| CRYO-U | Крионасосы; подбор по газам, ёмкости и циклу регенерации. |
| ULK PFL | Масляные диффузионные насосы разных входных диаметров. |
| PBL BW | Диффузионно-эжекторная откачка и водоохлаждаемые отражатели. |
| PST | Распылительные ионные насосы с исполнениями по активным и благородным газам. |
Применение
Для высокого вакуума проводят баланс газовых нагрузок: утечки, десорбция, проницаемость и технологический поток. Предельное давление насоса не равно давлению в большой непрогретой камере.
Выбор и комплектация
Для турбонасоса нужны контроллер, кабель, форнасос, охлаждение, напуск и блокировка по давлению. Для крионасоса — компрессор и регенерация. Для диффузионной ступени — рабочая жидкость, охлаждение и защита от обратного переноса масла.
ULVAC: построение высоковакуумной откачки
Турбомолекулярная ступень
Для UTM и других турбомолекулярных серий проверяют быстроту по нужному газу, сжатие лёгких газов и допустимое давление форлинии. На эффективную быстроту у камеры влияют клапан, переходник и защитная сетка. Предельное давление всей системы зависит также от уплотнений и газовыделения.
Диффузионная ступень
Диффузионная откачка требует согласованных форнасоса, охлаждения и рабочей жидкости. Для чувствительного процесса рассматривают ловушку и защиту от обратного потока. Пуск и остановка выполняются в установленной последовательности с блокировками охлаждения и давления.
Криогенная ступень
Крионасос выбирают по откачиваемым газам, ёмкости и графику регенерации. Регенерация является частью производственного цикла. В спецификацию включают компрессор, гелиевые линии, средства управления и монтажные требования конкретной системы.
Документация и происхождение данных
Источники: Каталог Ликлаб 2026, стр. 65, 66. Данные относятся к указанному исполнению и условиям измерения.
Связанное оборудование
Другие варианты того же типа. Диапазон, присоединение и условия применения проверяйте по характеристикам каждой модели.
HM-230 — семейство многодиапазонных анализаторов остаточных газов
Чувствительность FC: 3 × 10⁻⁴ А/Торр
Разрешение при 10 % высоты пика: 1 а. е. м.
Ионный источник: открытый или закрытый с противозагрязняющим покрытием
XST BG-DZ-1 — установка вакуумирования и заполнения азотом
BG-DZ-1 — специальная установка XST для вакуумирования и азотного замещения остаточного газа в цистернах перед осмотром. Конфигурация включает механический вакуумный насос, откачную линию и подачу азота.
Быстрота механического насоса: ≥28 л/с (≥100,8 м³/ч)
Откачное присоединение: DN35, проход 35 мм; одно в описанной комплектации
Высота откачного присоединения: Около 850 мм по таблице
XST STFJ-600 — установка испытаний при вакууме и избыточном давлении
STFJ-600 — интегрированная установка XST с вакуумной камерой, молекулярным и пластинчато-роторным насосами для испытаний при изменении давления и исследований вакуумного дугогашения.
Быстрота откачки основной ступени: 600 л/с (2160 м³/ч)
Предельное остаточное давление: ≤5 × 10⁻⁴ Па без газовой нагрузки
Размеры рабочей полости по таблице: 350 × 350 мм; форма сечения не уточнена