Обслуживание турбомолекулярного насоса самостоятельно
Несоблюдение вакуумной гигиены при эксплуатации и обслуживании вакуумного оборудования — частое явление для предприятий.
На самом деле, удаление органических загрязнений с доступных участков поверхности турбомолекулярного насоса следует проводить чистой бязью, смоченной в бензине. В недоступных участках и полостях изделия удаление загрязнений следует производить промывкой бензином с последующим кантованием изделия. После очистки бензин следует слить и полость изделия продуть сухим чистим воздухом до полного удаления запаха бензина. В противном случае, анализатор прибора, в который устанавливается такой турбомолекулярный насос, будет долго показывать ложные сигналы и флуктуации.
При необходимости качество очистки может быть проконтролировало осмотром участка поверхности в лучах ультрафиолетового света; при недоступности поверхности – осмотром в лучах ультрафиолетового света куска бязи после протирки им поверхности. Отсутствие светящихся пятен на контролируемой поверхности или куске бязи при освещении их ультрафиолетовым светом свидетельствует о качественной очистке поверхности.
Завершается процесс очистки внутренней поверхности насоса осушкой с использованием печи или электронагревателей в соответствии с инструкцией по обслуживанию.
Перед обслуживанием: определить исполнение и состав узлов
Первый шаг при подготовке обслуживания — определить точное исполнение насоса. Сохраните фотографии шильдика, контроллера, кабелей и установленного насосного узла. Они позволяют сопоставить оборудование с его руководством и уточнить состав работ до разборки.
На снимках показаны маркировка насоса PFEIFFER и практический разбор насосных узлов. Видимые детали помогают обсудить компоновку, однако порядок разборки, очистки и сборки зависит от модели. Приведённое ранее описание очистки нельзя автоматически переносить на другой насос: способ обработки, применяемые материалы и ограничения следует сверить с руководством его изготовителя.
Для обращения по обслуживанию полезно подготовить краткую историю работы: в какой системе установлен насос, что изменилось в его поведении, какие сообщения показывает контроллер и какие работы уже проводились. Вместе с маркировкой это даёт больше информации, чем один снимок ротора.
Шильдик PFEIFFER на корпусе установленного турбомолекулярного насоса.
Практическая работа с насосным узлом на подготовленном рабочем столе.
Осмотр разобранного насосного узла; отдельные детали размещены на рабочем столе.
По теме: Турбомолекулярные насосы · Ремонт, восстановление и настройка масс-спектрометрических течеискателей