Магниторазрядный насос ЗL-50

Магниторазрядный насос ЗL-50. Быстрота откачки воздуха: 55 л/с; аргона: 12 л/с. Фланец DN100CF. Предельное давление 7×10⁻⁸ Па. Рабочее напряжение −5 кВ.

Содержание карточки

Магниторазрядные насосы KYKY: иллюстрация изготовителя к модели 3L-50.

Вакуумные насосы

Магниторазрядный насос ЗL-50 предназначен для получения чистого сверхвысокого вакуума в исследовательских и промышленных системах. В документации изготовителя модель обозначена 3L-50. Насос применяют в электронных микроскопах, масс-спектрометрах, электровакуумных приборах и ускорительной технике.

Как работает магниторазрядная откачка

Электрическое и магнитное поля поддерживают разряд, в котором молекулы остаточного газа ионизируются. Ионы воздействуют на катод, а распылённый материал образует на внутренних поверхностях плёнку, связывающую газ. Часть частиц удерживается внутри материала. Такое удаление газа основано на сорбции и захвате частиц; вращающегося ротора в насосе нет.

Технические характеристики

Параметр	Значение
Обозначение изготовителя	3L-50
Входной фланец	DN100CF
Быстрота откачки воздуха	55 л/с
Быстрота откачки аргона	12 л/с
Давление запуска	≤ 5×10⁻⁴ Па
Предельное давление	7×10⁻⁸ Па
Рабочее напряжение	−5 кВ
Число электродных блоков	2
Прогрев с установленной магнитной системой	< 200 °C
Прогрев без магнитной системы	< 300 °C
Габариты, длина × ширина × высота	290 × 120 × 299 мм
Крепёжные размеры	90 × 90 мм; 4 отверстия M6
Масса	22 кг

Быстрота 55 л/с приведена для воздуха, 12 л/с — для аргона. Эти значения относятся к разным газам; обозначение «по азоту» для этой таблицы не применяется. Предельное давление — характеристика насоса при подготовленных условиях измерения. Давление конкретной камеры зависит также от газовой нагрузки, герметичности и проводимости соединений.

Подбор и комплектация

Перед включением выполняют предварительную откачку до допустимого давления запуска. В установившемся режиме магниторазрядный насос может работать в замкнутой системе без непрерывной работы форвакуумной ступени. При подборе сравнивают состав газа, требуемую быстроту, присоединение и место для монтажа.

Высоковольтный блок и кабель должны соответствовать насосу по полярности, напряжению и требованиям изготовителя. Фланец CF устанавливают с подходящей прокладкой и крепежом; поверхности сохраняют чистыми и защищают от повреждений. После сборки проверяют герметичность и работу защит перед включением высокого напряжения.

Подготовка к работе и прогрев

Температурные пределы прогрева различаются для сборки с магнитной системой и корпуса без неё. Режим выбирают с учётом состояния сборки, вакуумных вводов, кабелей и соседних компонентов. Продолжительность и последовательность прогрева задаются эксплуатационной документацией и технологией подготовки установки.

Документация

Параметры изготовителя: KYKY 3L-50.

Источники: Каталог Ликлаб 2026, стр. 297 · Описание оборудования KYKY · Описание лаборатории Ликлаб. Данные относятся к указанному исполнению и условиям измерения.

← Подбор оборудования в техническом каталоге

Учебная анимация · 48 секунд

Быстрота откачки и проводимость линии

Учебная анимация показывает, почему быстрота откачки у камеры отличается от значения на входе насоса. Формула связывает насос и проводимость соединительной линии. Наглядно сравниваются короткий широкий тракт и длинный узкий. Объясняется влияние арматуры, режима течения и свойств газа. Схемы качественные: они не являются расчётом или испытанием конкретной насосной системы.

Схема объясняет принцип работы. Конструкция и характеристики конкретного изделия приведены в таблицах этой страницы. Ролик без звука; пояснения даны на русском языке.

Открыть или скачать MP4

Текстовое пояснение к ролику

Насос и камера работают через линию Трубопровод, клапаны и другие элементы ограничивают перенос газа. У камеры действует эффективная быстрота откачки.

Проводимость входит в расчёт откачки Для установившегося потока: 1/Sэфф = 1/Sнас + 1/C. Все три величины выражают в согласованных единицах объёмного расхода.

Короткий широкий тракт проводит газ лучше При одинаковом газе и режиме течения увеличение прохода и сокращение длины повышают проводимость соединительной линии.

Узкая длинная линия ограничивает насос Насос с высокой быстротой откачки не устраняет сопротивление тракта. Эффективная быстрота откачки ограничена проводимостью линии.

Арматуру учитывают вместе с трубопроводом Для последовательных элементов складывают обратные проводимости. Клапан, фильтр и переходник входят в общий расчёт.

Подбирают весь вакуумный тракт Учитывают газ, давление и режим течения. Короткая линия и достаточное проходное сечение помогают реализовать возможности насоса.

Написать по email