SBC-16 — установка нанесения проводящих покрытий при подготовке образцов к электронной микроскопии. Изображение, техническая таблица поставщика и параметры цикла напыления.
Микроскопия и тонкие плёнки
Технические характеристики
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Тип распыления — данные поставщика | Магнетронное DC-распыление |
| Материал мишени — данные поставщика | Au (стандарт), Pt (опция), Ø57 мм × 0,1 мм |
| Столик образцов — данные поставщика | До 12 держателей, регулируемая высота до 60 мм |
| Диапазон тока напыления — данные поставщика | 5–30 мА, цифровое микропроцессорное управление |
| Индикация — данные поставщика | Вакуум: Atm–1×10⁻³ mbar; ток: 0–99 мА |
| Управление — данные поставщика | Микропроцессор, циклы 1–999 с, автопрокачка, автонапыление, авторазгерметизация |
| Скорость откачки — данные поставщика | 133 л/мин |
| Предельный вакуум — данные поставщика | 10⁻⁴ mbar |
| Уровень шума — данные поставщика | 56 dB |
Устройство, исполнение и условия применения
Магнетронное распыление используют для нанесения проводящего слоя на образцы перед исследованием в электронном микроскопе. Материал мишени, время, ток и расстояние до образца влияют на покрытие; одна настройка не подходит автоматически всем материалам.
По таблице поставщика базовая мишень — золото, платина указана как опция. До 12 держателей и регулировка высоты не задают универсальные размеры допустимого образца; геометрию уточняют по оснастке.
Диапазон задания тока 5–30 мА и индикация 0–99 мА описывают разные функции прибора. Диапазон индикации не расширяет допустимый ток напыления.
Предельный вакуум 10⁻⁴ мбар и нижняя граница индикации 10⁻³ мбар приведены по поставщику. Штатная индикация в указанном диапазоне не доказывает достижение более низкого давления; измерительный канал и протокол проверки уточняют.
На фотографии присутствует марка KYKY; Ликлаб здесь — поставщик оборудования. Самостоятельное производство этой установки лабораторией не заявляется. Числа опубликованы с указанием источника; заводская техническая страница при текущей проверке недоступна.
Документация и источники
Проверено 10 сентября 2026 года. Различия редакций, исполнений и условия измерений приведены в описании.
Связанное оборудование и материалы
- Цифровой регулятор массового расхода газа AS200B 0-50, 100, 10, 200, 300 л/мин
- Вакуумная печь-камера Ликлаб-288
Технический каталог оборудования