ПРОМЫШЛЕННЫЙ КОНТРОЛЬ ГЕРМЕТИЧНОСТИ · ЛИКЛАБ
Автоматизированная платформа для подготовки и контроля герметичности полупроводниковых приборов, интегральных схем и электронных компонентов. Совместно с гелиевым масс-спектрометрическим течеискателем и нагревателем индикаторной жидкости применяется для контроля малых и крупных течей.
Установка Ликлаб для опрессовки гелием и азотом и контроля фторированной жидкостью
Технические характеристики
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Давление наполнения | ≤ 1,0 МПа; в английской части 0,2–1,0 МПа, регулируемое |
| Остаточное давление в сосуде | Лучше 50 Па по китайскому тексту; ≤ 50 Па по английскому |
| Измерение вакуума | Термопарный вакуумметр |
| Температура нагрева | 125 ± 5 °C |
| Время нагрева | ≤ 30 мин от комнатной температуры до 125 °C |
| Суммарная мощность | 1,5 кВт |
| Мощность нагрева | 0,4 кВт |
| Освещение | 12 В постоянного тока, 10 Вт |
| Размеры гелиевого сосуда | Ø157 × 246 мм |
| Размеры азотного сосуда | Ø157 × 246 мм |
Отдельный заводской индекс в каталоге не указан: эта платформа не отождествляется автоматически с HF-4A. Тип электропитания необходимо подтвердить по паспорту и шильдику; сочетание VDC и 50 Гц нельзя трактовать как проверенную схему подключения.
Функции и особенности применения
Платформа объединяет операции газовой опрессовки и контроля с применением фторированной жидкости.
В английской части каталога указана индикаторная жидкость FC43. Рабочую жидкость, режим выдержки и критерии годности выбирают по принятой методике испытания компонента.
Согласование испытательного процесса
Перед внедрением определяют контролируемые зоны, соединения с оснасткой и допустимые давления. Затем согласуют критерий годности, порядок проверки чувствительности, длительность измерения и регистрацию результата. Заявленный каталожный такт следует проверять на реальных изделиях: время откачки, газовыделение и остаточный фон гелия влияют на цикл.
Как читать единицы и технические показатели
Па·м³/с — единица потока газа через течь: произведение давления на объёмный расход. Для сопоставления документации: 1 Па·м³/с = 10 мбар·л/с; 1 МПа = 1000 кПа = 10 бар. Минимально обнаруживаемый поток характеризует порог обнаружения, а диапазон индикации — отображаемые значения. Ни один из этих показателей сам по себе не задаёт погрешность измерения.
Для пересчёта показателей г/год или %/год в поток газа необходимы газ и условия измерения: без указания газа, температуры, давления и расчётной базы их нельзя однозначно перевести в Па·м³/с.
Подбор, поставка и внедрение в России
Лаборатория контроля герметичности Ликлаб помогает подобрать оборудование, согласовать оснастку и методику контроля, организовать поставку, настройку и сервис. Для подготовки технического предложения укажите размеры и объём изделия, материал, испытательное давление, допустимую утечку и требуемый такт линии. Срок поставки и комплектность подтверждаются для выбранного исполнения.
Запросить техническое предложение · lab@techeiscatel.ru · +7 (812) 715-00-17
Документация и исполнение
Источник: каталог KYKY «Оборудование для вакуумного контроля герметичности», декабрь 2025, страница 15 PDF. Фотография показывает исполнение из каталога.