Как комплектуется испытательная система. Откачка, измерение, газоподача и автоматика должны работать как единая система.
Вакуумные системы · Ликлаб
Откачка, измерение, газоподача и автоматика должны работать как единая система.
| Узел | Функция | Что включить в спецификацию |
|---|---|---|
| Изделие и оснастка | Герметичное подключение и воспроизводимый цикл | Объём, схема каналов, уплотнения, допустимое давление |
| Форвакуумный насос | Удаление основного объёма газа | Рабочая быстрота, пары и пыль, защита входа и выхлоп |
| Высоковакуумная ступень | Достижение требуемой области давления | Газ, фланец, контроллер, охлаждение, форвакуум |
| Течеискатель | Регистрация индикаторного газа | Режим, допустимое давление на входе, интерфейс |
| Измерители давления | Управление стадиями и защита | Диапазоны, точки установки, выходные сигналы |
| Клапаны и газовая линия | Коммутация, напуск и дозирование | Проход, приводы, состояние при потере питания |
| ПЛК и регистрация | Цикл, блокировки, результат | Рецепты, архив, идентификация изделия, обмен данными |
Две полезные инженерные зависимости
Для участка в молекулярном режиме эффективная быстрота у изделия определяется насосом и проводимостью линии: 1/Sэфф = 1/Sнас + 1/C. При Sнас = 100 л/с и C = 50 л/с получится Sэфф ≈ 33 л/с. Увеличение насоса без расширения магистрали может дать небольшой эффект.
При постоянных температуре и объёме газовая нагрузка изолированной полости оценивается как Q = V·Δp/Δt. Она включает утечку, газовыделение и проницаемость; для выделения течи нужны подготовка изделия, фоновый цикл и методика измерения.
Формулы служат для предварительной оценки. Реальный такт и порог контроля подтверждают испытанием системы с её штатной оснасткой.
Инженерная компоновка испытательного участка
Разделить откачку и измерение
Форвакуумная ступень удаляет основной объём газа. Турбонасос обеспечивает высоковакуумный режим, а течеискатель измеряет индикаторный газ. Если часть потока уходит во внешнюю откачку, её влияние учитывают при проверке отклика контрольной течью, установленной со стороны изделия.
Организовать управляемые состояния
Для каждого клапана определяют положение при старте, измерении, останове и пропадании питания. Разрешения на открытие затвора связывают с давлением, готовностью насосов и состоянием охлаждения. На экране оператора показывают состояние цикла и причину ожидания, а не только общий сигнал неисправности.
Предусмотреть обслуживание
Фильтры и расходные элементы располагают так, чтобы их можно было заменить без разборки основной камеры. Добавляют контрольные порты для измерения на форлинии и у изделия. Разъёмы и кабели маркируют по электрической схеме; паспорт, перечень ЗИП и резервную копию программы включают в комплект документации.
Подготовка изделия к испытанию
Методы очистки и последовательность операций выбирают по материалу и программе контроля.
Оригинальная публикация Ликлаб / Вернуться к разделу
CBVAC
Вакуумная откачка
и управление давлением
01
Откачка и вакуумные компоненты CBVAC 17
Сухой винтовой насос SSH20 19
Турбомолекулярные насосы JFB 23
Арматура и управление давлением 34
Реле давления APS PS и VS 43
Соединения и компоненты CBVAC 47
Подробные характеристики и комплектация представлены на следующих страницах.
Источники: Каталог Ликлаб 2026, стр. 13, 14, 15, 16. Данные относятся к указанному исполнению и условиям измерения.
← Подбор оборудования в техническом каталоге