Откачка и вакуумные компоненты CBVAC

Вакуумные насосы

Сухой форвакуум, турбомолекулярная откачка и измерение давления для лабораторных и производственных систем.

Ликлаб подбирает оборудование CBVAC по газовой нагрузке и условиям процесса. При модернизации учитываются существующие магистрали, питание, охлаждение и алгоритм управления. В заявке на замену полезны фотография шильдика, обозначение контроллера и схема включения.

Обозначение модели сохраняется полностью: фланец, суффикс исполнения и контроллер могут менять параметры и совместимость.

CBVAC в вакуумном участке

Комплектовать по газовой нагрузке

Линейка CBVAC позволяет собрать откачную цепочку, измерение и арматуру как согласованный комплекс. SSH выбирают для форвакуума и технологической нагрузки, JFB и MTP — для высоковакуумной ступени, JFJ — для готового поста. JZB рассматривают отдельно по его кривой откачки и условиям применения.

Измерять там где управляют процессом

Давление камеры и давление на форлинии решают разные задачи. Измеритель процесса подбирают по газу и точности; датчик форлинии — по диапазону блокировок и совместимости с контроллером. Ёмкостный преобразователь и реле давления дополняют друг друга, но не выполняют одну и ту же функцию.

Фиксировать состав поставки

В спецификации перечисляют полный код насоса, входной и выходной фланцы, контроллер, кабели, продувку, охлаждение, датчики и арматуру. Для импортозамещения или модернизации дополнительно сверяют монтажную длину, распиновку, сигналы готовности и алгоритм штатного останова.