Арматура и управление давлением. Герметичность соединений и правильная коммутация определяют результат всей вакуумной системы.
Содержание карточки
Вакуумная арматура и соединения
Герметичность соединений и правильная коммутация определяют результат всей вакуумной системы.
| Группа | Функция | Параметры заказа |
|---|---|---|
| Угловые и прямые клапаны | Отсечение объёма, напуск, байпас | Проход, фланцы, привод, уплотнение |
| Шиберные затворы | Изоляция высоковакуумной камеры | DN, монтажная длина, направление перепада |
| Регулирующие клапаны | Поддержание давления совместно с датчиком | Проводимость, диапазон, интерфейс |
| Вакуумные реле APS / PS / VS | Пороговая сигнализация и блокировки | Тип давления, уставки, контакты, присоединение |
| Фланцевые компоненты | Сборка магистралей и измерительных узлов | KF, ISO-K, ISO-F или CF; размеры и материал |
| Сервисные принадлежности | Восстановление узла | P/N, ревизия, состав комплекта |
При замене клапана
Проверяют монтажный размер, геометрию привода и допустимое усилие на трубопроводе. Сравнивают герметичность корпуса и затвора, допустимое направление перепада и положение клапана при отключении питания или пневматики. Внешне похожие узлы могут выполнять разные функции.
Замкнутый контур регулирования
Датчик давления, регулирующий клапан и контроллер подбираются совместно. Учитывают динамику процесса, место датчика, диапазон проводимости клапана и величину постоянного газового потока. Время срабатывания отдельного элемента не равно времени стабилизации камеры.
Для проекта Ликлаб формирует ведомость арматуры и кабелей, схему подключений и перечень уплотнений для регламентного обслуживания.
Арматура CBVAC в управляемой вакуумной схеме
Разделить отсечение и регулирование
Отсечной клапан изолирует объём, а регулирующий изменяет проводимость линии по сигналу контроллера давления. Устройство выбирают под необходимую функцию. Для процесса с изменяющимся расходом газа учитывают не только максимальный проход, но и устойчивость регулирования в малых открытиях.
Согласовать привод и состояние при аварии
Ручной, электрический и пневматический приводы имеют разные требования к монтажу и управлению. Для автоматического цикла задают подтверждение конечных положений и действия при пропадании питания или воздуха. Давление перед открытием затвора должно соответствовать допускаемому перепаду.
Включить монтажные компоненты
Ведомость поставки охватывает ответные фланцы, уплотнения, крепёж, пневмоподвод и датчики положения. При замене измеряют монтажную длину, ориентацию патрубков и доступ к приводу. Контроль герметичности корпуса и седла выполняют раздельно, поскольку эти проверки характеризуют разные пути утечки.
Документация и происхождение данных
Источники: Каталог Ликлаб 2026, стр. 34, 35. Данные относятся к указанному исполнению и условиям измерения.