Компоненты нанесения тонких плёнок. Источники питания, электронно-лучевое испарение и контроль толщины для технологических вакуумных установок.
Микроскопия и тонкие плёнки
Источники питания, электронно-лучевое испарение и контроль толщины для технологических вакуумных установок.
| Серия или решение | Назначение и особенности |
|---|---|
| Digital DC DCS0052B DC PULSE | Постоянное и импульсное питание процессов распыления. |
| MFU-20K SG-10-4 | Биполярное и низкочастотное питание по выбранной архитектуре процесса. |
| RFS-N RMG-1303 | Высокочастотное питание и согласование нагрузки. |
| MEX-N EXN PHS-N EXO-13 | Принадлежности и узлы согласования совместимых RF-систем. |
| HPS HPS-N EGN EGL EGK EGO | Источники питания и электронно-лучевые испарители. |
| CRTM-R1 CRTS | Контроль скорости осаждения и толщины по кварцевому сенсору. |
| UNECS | Спектральная эллипсометрия для анализа толщины и оптических свойств плёнок. |
Применение
Оборудование выбирается как согласованный технологический комплект: камера, источник, подложка, мощность, рабочий газ, датчик и программное управление. Назначение серии не подтверждает пригодность для любой рецептуры.
Выбор и комплектация
При модернизации потребуются электрическая схема, описание нагрузки и процесса, ограничения по охлаждению, изоляции и блокировкам. Для кварцевого контроля задают частоту кристалла, материал покрытия, держатель и коэффициенты технологического процесса.
ULVAC: компоненты вакуумного процесса
Источники и измерение покрытия
Источники питания, системы напыления и измерители толщины подбирают как части одного процесса. Для источника нужны материал, геометрия нагрузки, режим мощности и требования к согласованию. Для контроля толщины важны положение датчика и связь показаний с толщиной на изделии.
Кварцевый контроль CRTM
Кварцевый датчик измеряет изменение резонансной частоты при осаждении материала. Пересчёт в толщину требует корректных параметров материала и геометрического коэффициента. Кристаллы, держатели, кабели и вводы включают в комплект с учётом температуры и доступности замены.
Согласование поставки
В техническом задании фиксируют последовательность слоёв, материал подложки, требуемую равномерность и контрольные образцы. Комплектность источника, охлаждения, ввода и контроллера проверяют совместно. Приёмка по результату процесса требует отдельно согласованной методики.
Документация и происхождение данных
Источники: Каталог Ликлаб 2026, стр. 69, 70. Данные относятся к указанному исполнению и условиям измерения.