lab@techeiscatel.ru

+7 (812) 715-00-17

Вакуумметры Ulvac

Датчики давления ULVAC и вакуумметры G-TRAN: как выбрать и внедрить

Специалисты «Ликлаб» подготовили практический обзор современных датчиков давления ULVAC — от Пирани для низкого вакуума до ионизационных датчиков для высокого и сверхвысокого вакуума, а также емкостных манометров для прецизионных процессов. Ниже — краткий путеводитель по линейкам, рекомендации по выбору, интеграции и сервису.

Где применяются датчики ULVAC

  • Производство полупроводников, микро- и оптоэлектроники, ЖК-панелей и фотоэлектронных элементов;
  • Контроль откачки шлюзовых и процессных камер, мониторинг технологических газов и режимов;
  • Испытательные стенды, вакуум-камеры НИОКР, системы течеискания и герметизации;
  • Криогенная техника, покрытие/осаждение (PVD/CVD), термовакуумные испытания.

Линейки и модели ULVAC: краткий путеводитель

Пирани (низкий/средний вакуум)

G-TRAN SP1 — компактный термокондукционный датчик для повседневного мониторинга низкого вакуума, удобен в лабораторных и производственных установках.

G-TRAN SW100 — «широкодиапазонный» Пирани с быстрым откликом и устойчивостью к загрязнениям; подходит для шлюзов и общепромышленных камер.

Ионизационные (высокий/сверхвысокий вакуум)

G-TRAN SC1 — холоднокатодный (Penning) датчик: компактный, с хорошей стойкостью к перезагрязнению; работает в областях HV/UHV.

G-TRAN SH200 и ST200 — ионизационные датчики для высокого вакуума; в связке с фирменными источниками и усилителями обеспечивают стабильную работу и калибровку.

Ax-TRAN — компонентное семейство ионизационных датчиков для OEM-интеграции в системы высокого и сверхвысокого вакуума.

Емкостные манометры (абсолютные)

CCMT-D — прецизионные емкостные датчики абсолютного давления с термостабилизацией и высокой точностью в низких диапазонах. Независимы от состава газа — идеально для технологических уставок.

Контроллеры

G-TRAN ISG1 — компактный одноканальный контроллер для датчиков G-TRAN; удобен для единичных постов.

G-TRAN IM1R1/IM2R1 — модульные контроллеры на несколько каналов (в т.ч. комбинации Пирани + ионизационный) для многокамерных установок и НИОКР-стендов.

Как выбрать тип датчика под задачу

Задача/режимРекомендуемый типПочему
Быстрый мониторинг откачки шлюза, rough-линия Пирани (SP1, SW100) Недорогие, стойкие к неидеальному газу, быстрый отклик и широкий диапазон.
Стабильный контроль HV (10−3…10−7 мбар) Холодный катод (SC1) Меньше риск деградации катода, устойчивость к загрязнениям, компактность.
UHV и метрологичный контроль нижнего диапазона Ионизационные (SH200/ST200/Ax-TRAN) Высокая чувствительность и стабильность при правильной калибровке и прогреве.
Точные технологические процессы (CVD/PVD, дозирование) Емкостные CCMT-D Абсолютное измерение, независимое от состава газа, термостабилизация сенсора.
Один пост/одна камера Контроллер ISG1 Простой монтаж и интеграция с датчиками G-TRAN.
Многокамерная установка, стенд НИОКР Контроллеры IM1R1/IM2R1 Мультиканальность, единая платформа для нескольких датчиков.

Практические советы по установке и эксплуатации

  1. Правильное место отбора. Ставьте датчик на отвод с ламинарным потоком и достаточной проводимостью; Пирани — вдали от струйных напусков, ионизационные — вдали от плазмы.
  2. Газовая чистота. Перед пуском — продувка сухим азотом; для HV/UHV — вакуум-выпечка по регламенту производителя.
  3. Электрика и «земля». Используйте экранированные кабели и корректное заземление контроллеров ISG/IM для устойчивых показаний.
  4. Калибровка и поверка. Рекомендуем ежегодную поверку/калибровку; для емкостных CCMT-D — контроль нуля и температурной стабильности, для ионизационных — проверку эмиссии/характеристик.
  5. Сервис. Холоднокатодные датчики требуют периодической очистки при загрязнении; горячекатодные — бережных режимов в присутствии активных газов.

Коротко о ключевых моделях

  • SP1 (Пирани): базовый, компактный, универсальный для rough-вакуума.
  • SW100 (Пирани wide-range): широкий диапазон, устойчивая работа в «грязных» условиях.
  • SC1 (холодный катод): HV/UHV, компактный корпус, удобный сервис.
  • SH200/ST200 (ионизация): стабильность и чувствительность для высоких вакуумов.
  • CCMT-D (емкостной манометр): прецизионный контроль абсолютного давления, невосприимчив к составу газа.
  • ISG1 (1-канальный контроллер): компактная интеграция одного датчика.
  • IM1R1/IM2R1 (мульт. контроллеры): масштабируемые платформы для нескольких датчиков и камер.
  • Ax-TRAN (ионизационный датчик): OEM-компоненты для высоких/сверхвысоких вакуумов.

Интеграция в ваши установки

Датчики ULVAC поддерживают стандартные фланцы KF/CF/ISO, контроллеры — типовые сигналы для ПЛК/SCADA. Для схемы «шлюз + процессная камера» рациональна связка: SW100 на rough-участке, SC1 или SH200 в зоне HV и CCMT-D как метрологическая «опорная» мерка давления, управляемые через ISG1 (один пост) либо IM1R1/IM2R1 (несколько каналов).

Сервис и сопровождение «Ликлаб»

Мы поможем подобрать оптимальную конфигурацию датчиков под конкретный процесс, спроектируем узел измерения (фланцы, расположение, фильтрация), интегрируем в ПЛК, подготовим методики, обеспечим сервис, калибровку и поверку с метрологической прослеживаемостью.

Вакуумметрия и газовый анализ ULVAC

Вакуумметры и датчики вакуума

Контроль общего давления и состава остаточной среды в вакуумной камере.

Газовый анализатор Qulee в каталоге ULVAC
Газовый анализатор Qulee в каталоге ULVAC · Каталог Ликлаб, стр. 67.
Серия или решениеНазначение и особенности
SW100-A SW100-RТрансмиттеры; диапазон по каталогу 5 × 10⁻²–1 × 10⁵ Па.
GP-GПирани-вакуумметры для контроля форвакуумной области.
SWU10-UПирани-вакуумметр с непосредственным USB-подключением к совместимому устройству.
Трансмиттерные и комбинированные серииВыбор измерительной головки и контроллера по требуемому диапазону.
Qulee BGM2Квадрупольный анализ остаточных и технологических газов.
Qulee QCSПрограммное обеспечение для настройки, наблюдения и регистрации газового анализа.

Применение

Общее давление служит для управления откачкой и защиты оборудования. RGA дополнительно показывает парциальные давления и помогает различать воздух, воду, остатки технологических газов и загрязнение.

Выбор и комплектация

Определяют диапазон масс, детектор, допустимое давление анализатора, фланец, длину зонда, прогрев и отбор пробы. Пирани требует учёта газа; измерительный диапазон датчика не является диапазоном гарантированной точности.

Вакуумметрия и Qulee в технологическом контроле

ULVAC Qulee
ULVAC Qulee · Каталог Ликлаб, стр. 68.

Давление и состав газа

Вакуумметр отвечает на вопрос о давлении, газоанализатор — о составе остаточной среды. Эти измерения дополняют друг друга. Рост отдельного массового пика интерпретируют с учётом спектра фрагментации, фона камеры и состояния источника ионов, а не только номера массы.

Подключение анализатора

Для Qulee согласуют допустимое давление включения, интерфейс, питание и программное обеспечение. При более высоком давлении используют предусмотренную систему отбора и понижения давления. Защита источника ионов должна отключать его при выходе за рабочую область.

Диагностика процесса

Сравнивают фон после прогрева, спектр при подаче рабочего газа и изменение во времени. Для поиска подсоса полезен контролируемый пробный газ и повторяемая процедура. Количественный анализ требует соответствующей калибровки и учёта чувствительности к отдельным компонентам.

Документация и происхождение данных

Источники: Каталог Ликлаб 2026, стр. 67, 68. Данные относятся к указанному исполнению и условиям измерения.

← Подбор оборудования в техническом каталоге
Написать по email

Выбранное оборудование