KYKY GID-63Z — регулирующий поворотный вакуумный клапан с присоединениями ISO-F63. Изменяет проводимость линии откачки и поддерживает заданное давление в камере по сигналу внешнего вакуумметра.
Вакуумные затворы и клапаны · KYKY · Ликлаб
Характеристики · Чертежи и размеры · Подбор и эксплуатация · Поставка
KYKY GID, ISO-F. Чертёж изготовителя; размеры GID-63Z приведены в таблице.
Регулирующий клапан GID-63Z изменяет проводимость откачного тракта и тем самым эффективную быстроту откачки камеры. Контроллер сопоставляет сигнал вакуумметра с заданием давления и перемещает регулирующий элемент. Каталог предусматривает адаптацию алгоритма к объёму камеры и газовому потоку.
Технические характеристики GID-63Z
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Присоединение | ISO-F63 |
| Условный проход | DN63 |
| Тип управления | Автоматическое регулирование давления, индекс Z |
| Уплотнение диска | Регулирующее исполнение без уплотнения диска M; для герметичного отсечения используют отдельный затвор |
| Диапазон применения | 10⁻⁶–1,2 × 10⁵ Па |
| Общий поток течи | ≤ 1,0 × 10⁻¹⁰ Па·м³/с |
| Перепад давления при открытии | ≤ 1,2 × 10⁵ Па — для диска с уплотнением |
| Точность регулирования давления | 5 мВ или 0,1 % от уставки |
| Точность положения | ± 0,1 % FS |
| Разрешение положения | 0,009° |
| Вход сигнала мембранного вакуумметра | 0–10 В DC, DB15, гнездовая часть |
| Время переключения | ≤ 0,6 с |
| Интерфейсы управления | Аналоговые 0–10 В и 4–20 мА; RS485; DeviceNet® или EtherCAT — опции (DB9, гнездовая часть, по каталогу) |
| Питание | 24 В DC ± 10 %, DB9, штыревая часть |
| Материал корпуса | Нержавеющая сталь 316L |
| Материал O-образного уплотнения | FKM или FFKM, по исполнению |
| Ориентация монтажа | Произвольная |
Параметры приведены для указанного исполнения. Поток течи выражен в Па·м³/с; 1 Па·м³/с = 10 мбар·л/с. Давление: 1 МПа = 10 бар, 1 Па = 0,01 мбар.
Монтажные чертежи и размеры
Буквенные обозначения сохранены для сопоставления с документацией производителя. Линейные размеры указаны в миллиметрах. Нажмите на чертёж для просмотра в полном размере.
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Размер A | 30 мм |
| Размер B | 130 мм |
| Размер C | 110 мм |
| Размер D | 63 мм |
| Размер H | 70 мм |
| Размер I | 4 мм |
| Размер N | 91 мм |
| Размер O | 273 мм |
| Размер P | 124 мм |
| Размер S | 90 мм |
Регулирующий GID: ISO-F. Заводской чертёж серии; размеры GID-63Z определяются таблицей выбранного исполнения.
Подбор и условия эксплуатации
Согласуйте диапазон и масштаб аналогового сигнала вакуумметра с входом контроллера. Точность регулирования клапана и погрешность измерения давления датчиком — самостоятельные характеристики.
Питание, интерфейс управления и кабели подбираются для выбранного исполнения. Дополнительные интерфейсы входят в состав соответствующей комплектации.
Для устойчивого управления важны объём камеры, расход газа, быстрота насоса и проводимость трубопроводов. Подбор проводят по рабочему диапазону давления и динамике процесса, а не только по DN.
В обозначении GID индекс Z означает регулирование давления, M — уплотнение диска. Для герметичного отсечения применяют исполнение с уплотнением.
Особенности исполнения
Контроллер меняет угол поворота диска, регулируя эффективную быстроту откачки. По каталогу алгоритм учитывает объём камеры и газовый поток. Вакуумный насос и мембранный вакуумметр подбираются как отдельные узлы системы.
Индекс Z обозначает автоматическое регулирование давления, индекс M — уплотнение диска. Для регулирующего исполнения без M предусматривают отдельный отсечной затвор.
Точность давления приведена изготовителем как «5 мВ или 0,1 % от уставки». Это не готовая погрешность всей установки в паскалях: результат зависит также от диапазона и характеристик подключённого вакуумметра. FS в точности положения означает полный диапазон.
Подключение RS485 выполняется по схеме комплектного контроллера. DeviceNet и EtherCAT доступны как дополнительные варианты интерфейса.
Уплотнительные кольца выполняются из FKM или FFKM, корпус — из нержавеющей стали 316L, диск — из нержавеющей стали. Материал уплотнения выбирают с учётом рабочей среды и температуры.
Чертёж относится к типу присоединения ISO-F. Области применения, перечисленные изготовителем: нанесение тонких плёнок, выращивание кристаллов, ионное травление, плоские дисплеи и солнечная фотоэнергетика.
Ответный фланец GID-63Z/ZM изготавливают по монтажному чертежу выбранного исполнения.
Подбор и поставка в России
Лаборатория контроля герметичности Ликлаб помогает подобрать GID-63Z, ответные фланцы, уплотнения и систему управления под вакуумную установку. В запросе укажите рабочую среду, диапазон давления, допустимый поток течи, температуру, DN, тип присоединений и привод. Наличие, срок поставки и комплектность подтверждаются при согласовании заказа.
Подобрать оборудование · lab@techeiscatel.ru · +7 (812) 715-00-17
Документация
Каталог вакуумной арматуры KYKY, декабрь 2025.
Найти GID-63Z в техническом каталоге
