Содержание карточки
KYKY GID-63Z ISO-F — регулирующий поворотный вакуумный клапан с присоединениями ISO-F63. Изменяет проводимость линии откачки и поддерживает заданное давление в камере по сигналу внешнего вакуумметра.
Вакуумные затворы и клапаны · KYKY · Ликлаб
Характеристики · Чертежи и размеры · Подбор и эксплуатация · Поставка
KYKY GID, ISO-F. Чертёж изготовителя; размеры GID-63Z ISO-F приведены в таблице.
Регулирующий клапан GID-63Z ISO-F изменяет проводимость откачного тракта и тем самым эффективную быстроту откачки камеры. Контроллер сопоставляет сигнал вакуумметра с заданием давления и перемещает регулирующий элемент. Каталог предусматривает адаптацию алгоритма к объёму камеры и газовому потоку.
Технические характеристики GID-63Z ISO-F
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Присоединение | ISO-F63 |
| Условный проход | DN63 |
| Тип управления | Автоматическое регулирование давления, индекс Z |
| Уплотнение диска | Регулирующее исполнение без уплотнения диска M; для герметичного отсечения используют отдельный затвор |
| Диапазон применения | 10⁻⁶–1,2 × 10⁵ Па |
| Общий поток течи | ≤ 1,0 × 10⁻¹⁰ Па·м³/с |
| Перепад давления при открытии | ≤ 1,2 × 10⁵ Па — для диска с уплотнением |
| Точность регулирования давления | 5 мВ или 0,1 % от уставки |
| Точность положения | ± 0,1 % FS |
| Разрешение положения | 0,009° |
| Вход сигнала мембранного вакуумметра | 0–10 В DC, DB15, гнездовая часть |
| Время переключения | ≤ 0,6 с |
| Интерфейсы управления | Аналоговые 0–10 В и 4–20 мА; RS485; DeviceNet® или EtherCAT — опции (DB9, гнездовая часть, по каталогу) |
| Питание | 24 В DC ± 10 %, DB9, штыревая часть |
| Материал корпуса | Нержавеющая сталь 316L |
| Материал O-образного уплотнения | FKM или FFKM, по исполнению |
| Ориентация монтажа | Произвольная |
Параметры приведены для указанного исполнения. Поток течи выражен в Па·м³/с; 1 Па·м³/с = 10 мбар·л/с. Давление: 1 МПа = 10 бар, 1 Па = 0,01 мбар.
Монтажные чертежи и размеры
Буквенные обозначения сохранены для сопоставления с документацией производителя. Линейные размеры указаны в миллиметрах. Нажмите на чертёж для просмотра в полном размере.
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Размер A | 30 мм |
| Размер B | 130 мм |
| Размер C | 110 мм |
| Размер D | 63 мм |
| Размер H | 70 мм |
| Размер I | 4 мм |
| Размер N | 91 мм |
| Размер O | 273 мм |
| Размер P | 124 мм |
| Размер S | 90 мм |
Регулирующий GID: ISO-F. Заводской чертёж серии; размеры GID-63Z ISO-F определяются таблицей выбранного исполнения.
Подбор и условия эксплуатации
Согласуйте диапазон и масштаб аналогового сигнала вакуумметра с входом контроллера. Точность регулирования клапана и погрешность измерения давления датчиком — самостоятельные характеристики.
Питание, интерфейс управления и кабели подбираются для выбранного исполнения. Дополнительные интерфейсы входят в состав соответствующей комплектации.
Для устойчивого управления важны объём камеры, расход газа, быстрота насоса и проводимость трубопроводов. Подбор проводят по рабочему диапазону давления и динамике процесса, а не только по DN.
В обозначении GID индекс Z означает регулирование давления, M — уплотнение диска. Для герметичного отсечения применяют исполнение с уплотнением.
Особенности исполнения
Контроллер меняет угол поворота диска, регулируя эффективную быстроту откачки. По каталогу алгоритм учитывает объём камеры и газовый поток. Вакуумный насос и мембранный вакуумметр подбираются как отдельные узлы системы.
Индекс Z обозначает автоматическое регулирование давления, индекс M — уплотнение диска. Для регулирующего исполнения без M предусматривают отдельный отсечной затвор.
Точность давления приведена изготовителем как «5 мВ или 0,1 % от уставки». Это не готовая погрешность всей установки в паскалях: результат зависит также от диапазона и характеристик подключённого вакуумметра. FS в точности положения означает полный диапазон.
Подключение RS485 выполняется по схеме комплектного контроллера. DeviceNet и EtherCAT доступны как дополнительные варианты интерфейса.
Уплотнительные кольца выполняются из FKM или FFKM, корпус — из нержавеющей стали 316L, диск — из нержавеющей стали. Материал уплотнения выбирают с учётом рабочей среды и температуры.
Чертёж относится к типу присоединения ISO-F. Области применения, перечисленные изготовителем: нанесение тонких плёнок, выращивание кристаллов, ионное травление, плоские дисплеи и солнечная фотоэнергетика.
Ответный фланец GID-63Z/ZM изготавливают по монтажному чертежу выбранного исполнения.
Подбор и поставка в России
Лаборатория контроля герметичности Ликлаб помогает подобрать GID-63Z ISO-F, ответные фланцы, уплотнения и систему управления под вакуумную установку. В запросе укажите рабочую среду, диапазон давления, допустимый поток течи, температуру, DN, тип присоединений и привод. Наличие, срок поставки и комплектность подтверждаются при согласовании заказа.
Подобрать оборудование · lab@techeiscatel.ru · +7 (812) 715-00-17
Документация
Каталог вакуумной арматуры KYKY, декабрь 2025.
Найти GID-63Z ISO-F в техническом каталоге
Дополнительная документация
Учебная анимация · 48 секунд
Вакуумные клапаны: отсечение и регулирование
Учебная анимация показывает различие между отсечением вакуумной линии и регулированием её проводимости. Рассмотрены положение затвора, перепад давления, варианты привода и выбор присоединения. Объясняется, почему сигнал конечного положения не заменяет проверку герметичности. Схемы условные: допустимые режимы и последовательность управления определяются документацией выбранного клапана, а не изображённой учебной моделью.
Схема объясняет принцип работы. Конструкция и характеристики конкретного изделия приведены в таблицах этой страницы. Ролик без звука; пояснения даны на русском языке.
Текстовое пояснение к ролику
Отсечной клапан разделяет участки системы Открытый проход соединяет объёмы. Закрытое запорное устройство изолирует участки при соблюдении допустимых рабочих условий.
Регулирующий клапан изменяет проводимость Изменение проходного сечения влияет на поток газа. Для регулирования используют клапан, рассчитанный на такую работу.
Перед переключением проверяют перепад Давления по обе стороны затвора создают нагрузку. Допустимый перепад для закрытого клапана и для его открытия может различаться.
Привод выбирают под задачу управления Ручной, пневматический и электрический приводы требуют разных подключений. Проверяют питание, управляющие сигналы и условия работы.
Положение и герметичность проверяют отдельно Концевой сигнал подтверждает положение механизма. Он не измеряет поток через уплотнение и не заменяет проверку герметичности.
Проверяют совместимость всего узла Сверяют тип фланца, DN, уплотнение, газ и температуру. Учитывают направление потока, проводимость и ограничения изготовителя.