Магнитолевитационный насос Ликлаб MTP-3201

MTP-3201 — турбомолекулярный насос CBVAC с магнитным подвесом ротора. Характеристики разных входных фланцев, условия высокого вакуума, охлаждение и управление.

Содержание карточки

Вакуумные насосы

CBVAC MTP-3201CTMS (ISO320F) — заводская иллюстрация из брошюры, страница 3. Изображение извлечено из PDF без изменения конструкции.

Технические характеристики

Параметр	Значение
Модель страницы	MTP-3201
Производитель серии	CBVAC
Принцип	Турбомолекулярный насос; магнитный подвес ротора
Вход и быстрота N₂	ISO250F: 2650 л/с; ISO320F: 3200 л/с
Быстрота H₂	ISO250F: 2050 л/с; ISO320F: 2300 л/с
Предельное давление после прогрева	10⁻⁷ Па; условия подготовки системы обязательны
Степень сжатия N₂	>10⁸
Максимальное непрерывное форвакуумное давление	266 Па при включённой функции TMS
Форвакуумный порт	KF40
Азотная продувка	50 ±10 SCCM при наличии продувки
Быстрота форвакуумного насоса	>1300 л/мин
Охлаждение	Водяное
Монтажная ориентация	Произвольная при соблюдении требований крепления
Масса по входному фланцу	ISO250F: 79 кг; ISO320F: 84 кг
Температура окружающей среды	0–40 °C
Степень защиты	IP54
Частота вращения по брошюре	27 720 об/мин
Разгон / остановка по брошюре	≤10 / ≤16 мин
Расход охлаждающей воды	3 л/мин
Температура охлаждающей воды	15–35 °C; допустимая газовая нагрузка зависит от температуры
Электропитание по брошюре	Однофазное 176–264 В переменного тока
Прогрев входного фланца	<120 °C, с работающим охлаждением
Максимальная входная полная мощность контроллера	1500 В·А без TMS; 1800 В·А с TMS

Устройство, исполнение и условия применения

Магнитный подвес удерживает вращающийся ротор без рабочего контакта с подшипниками. Высоковакуумная ступень работает совместно с форвакуумным насосом; газовая нагрузка, давление на выпуске и охлаждение ограничивают допустимый режим.

Основная таблица вариантов входного фланца взята из руководства CBVAC. Изменение фланца может менять быстроту и массу: обозначение модели без фланца не задаёт единственную конфигурацию. Для серии 4301 значение 4000 л/с относится к ISO320F, а 4300 л/с — к ISO400F.

В брошюре максимальная входная мощность подписана W, а в таблице 6 руководства — VA с отдельными строками для TMS. В карточке сохранена единица В·А руководства; это полная электрическая мощность, её нельзя приравнивать к активной мощности в ваттах. Числовой фильтр мощности не заполнен.

Строка оборотов в таблице 3 руководства имеет смещение ячеек. Обороты и времена разгона приведены по отдельным колонкам брошюры. Степень сжатия по водороду в этих двух документах различается; однозначное значение не выбрано. Для расчёта водородной нагрузки требуется паспорт конкретной редакции.

В брошюре давление охлаждающей воды 0,3–0,4 МПа, в разделе охлаждения руководства — 0,3 МПа. Требования к воде и газовой нагрузке проверяют совместно: значения из разных редакций не расширяют допустимый режим. Прогрев не отменяет охлаждение.

CTMS расшифрован в руководстве: C — антикоррозионное исполнение, T — подогрев TMS, M — Modbus, S — продувочный порт KF10. Наличие этих опций устанавливают по полному обозначению и комплектности; допустимые газы проверяют отдельно.

В названии этой страницы сохранено MTP-3201 без суффикса. Фотография и чертёж показывают CTMS с ISO320F; они не означают, что все MTP-3201 поставляются с такими опциями. Марка Ликлаб сохранена как обозначение каталога поставщика, изготовитель серии — CBVAC.

Иллюстрации и исходные таблицы

Чертёж MTP-3201CTMS (ISO320F). Размеры относятся именно к подписанному исполнению.

Документация и источники

Проверено 10 сентября 2026 года. Различия редакций, исполнений и условия измерений приведены в описании.

Связанное оборудование и материалы

Технический каталог оборудования

Контакты лаборатории

Ранее опубликованные материалы

Каталог Ликлаб 2026, стр. 334

Учебная анимация · 48 секунд

Быстрота откачки и проводимость линии

Учебная анимация показывает, почему быстрота откачки у камеры отличается от значения на входе насоса. Формула связывает насос и проводимость соединительной линии. Наглядно сравниваются короткий широкий тракт и длинный узкий. Объясняется влияние арматуры, режима течения и свойств газа. Схемы качественные: они не являются расчётом или испытанием конкретной насосной системы.

Схема объясняет принцип работы. Конструкция и характеристики конкретного изделия приведены в таблицах этой страницы. Ролик без звука; пояснения даны на русском языке.

Открыть или скачать MP4

Текстовое пояснение к ролику

Насос и камера работают через линию Трубопровод, клапаны и другие элементы ограничивают перенос газа. У камеры действует эффективная быстрота откачки.

Проводимость входит в расчёт откачки Для установившегося потока: 1/Sэфф = 1/Sнас + 1/C. Все три величины выражают в согласованных единицах объёмного расхода.

Короткий широкий тракт проводит газ лучше При одинаковом газе и режиме течения увеличение прохода и сокращение длины повышают проводимость соединительной линии.

Узкая длинная линия ограничивает насос Насос с высокой быстротой откачки не устраняет сопротивление тракта. Эффективная быстрота откачки ограничена проводимостью линии.

Арматуру учитывают вместе с трубопроводом Для последовательных элементов складывают обратные проводимости. Клапан, фильтр и переходник входят в общий расчёт.

Подбирают весь вакуумный тракт Учитывают газ, давление и режим течения. Короткая линия и достаточное проходное сечение помогают реализовать возможности насоса.

Написать по email