Анализатор для мониторинга процессов PVD и условий с повышенным давлением газа. Рабочее давление составляет до 2 Па, варианты диапазона масс 1–50 и 1–100 а.е.м., минимальное обнаруживаемое парциальное давление 2·10⁻⁹ Па. Поддерживаются сканирование спектра и выбранных масс, определение H₂, He, N₂, O₂ и Ar, интеграция через API и сигнализация отклонений.
Назначение и принцип работы
Анализатор для мониторинга процессов PVD и условий с повышенным давлением газа. Рабочее давление составляет до 2 Па, варианты диапазона масс 1–50 и 1–100 а.е.м., минимальное обнаруживаемое парциальное давление 2·10⁻⁹ Па. Поддерживаются сканирование спектра и выбранных масс, определение H₂, He, N₂, O₂ и Ar, интеграция через API и сигнализация отклонений.
Характеристики исполнения
Комплектацию и параметры заказываемого исполнения согласуют при подборе.
Подбор исполнения и интеграция
При подборе определяют объём изделия, испытательное давление, допустимую утечку, время цикла, способ соединения и требования к регистрации результатов. Предел обнаружения прибора не является допустимой утечкой изделия. Состав стенда и оснастку согласуют под технологический процесс.
HM-Leaklab-150 — Анализатор остаточных газов для повышенного давления
Контроль потерь качества на производственной линии
Работа при повышенном давлении — новый уровень контроля качества
Диапазон применимых давлений: 0,01–2 Па
Принцип работы и возможности
- Максимальное рабочее давление — 2 Па. Укороченный путь передачи ионов снижает потери при столкновениях и обеспечивает работу при более высоком давлении.
- Минимальное обнаруживаемое парциальное давление — 2·10⁻⁹ Па. Позолоченный металлический квадруполь, цилиндр Фарадея и микроканальный детектор обеспечивают обнаружение малых парциальных давлений.
- Максимальная скорость сканирования — 3 мс на точку. Быстрая регистрация изменений процесса без пропуска данных.
- Двойная защита: иридиевые/вольфрамовые нити и устойчивость к загрязнению для стабильной работы основных узлов.
- Собственная разработка основных технологий и локальная поддержка, заявленные производителем; комплексное решение с самостоятельно разработанными компонентами.
- Интеллектуальный контроль и предупреждения: интеграция через API, автоматический мониторинг и регистрация парциальных давлений для цифровой производственной линии.
- Точное разделение: позолоченный металлический квадруполь для воспроизводимого разрешения и согласованности характеристик.
Области применения
- Полупроводники: PVD, ALD, CVD
- Производство фотоэлектрических элементов
- Испарительное нанесение органических OLED-материалов
- Оптические и оптоэлектронные покрытия
- Аккумуляторы и новые энергетические материалы
- Вакуумная пайка и спекание
Технические характеристики из графической таблицы
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Наименование | Анализатор остаточных газов для повышенного давления |
| Габариты Д × Ш × В | 320 × 240 × 120 мм |
| Электропитание | 220 В переменного тока, 50 Гц, 1 А; или 24 В постоянного тока, 5 А |
| Масса | 1,2 кг |
| Рабочее давление | <2 Па |
| Диапазон масс | 1–100 а.е.м. |
| Разрешение на уровне 10 % высоты пика | <1 а.е.м. |
| Чувствительность | 1·10⁻⁵ А/мбар (FC); 1·10⁻² А/мбар (MCP) |
| Минимальное обнаруживаемое парциальное давление | 2·10⁻⁷ Па (FC); 2·10⁻⁹ Па (MCP) |
| Тип детектора | Цилиндр Фарадея (FC); микроканальная пластина (MCP) |
а.е.м. — атомная единица массы, Торр — единица давления, FC — цилиндр Фарадея, MCP — микроканальная пластина, EM — электронный умножитель. Чувствительность в А/Торр или А/мбар характеризует токовый отклик анализатора и не является потоком утечки. Условия прогрева и температурные пределы разных узлов уточняют в руководстве. Условия обслуживания согласуют при выборе оборудования.
Связанное оборудование
Другие варианты того же типа. Диапазон, присоединение и условия применения проверяйте по характеристикам каждой модели.
HM-Leaklab-100 — Анализатор остаточных газов RGA
Квадрупольный измерительный модуль для качественного и количественного анализа остаточных газов в вакуумном объёме. Определяет компоненты по отношению массы иона к заряду; среди рассматриваемых газов — вода, кислород, азот и диоксид углерода. Для работы необходимы система отбора пробы, вакуумное обеспечение и программное обеспечение анализа. Это измерительный модуль RGA, а не самостоятельный гелиевый течеискатель.
Полная длина: 486 мм
Разрешение по массе при 10 % высоты пика: <1 а.е.м.
Детектор: FC/CEM
HM-Leaklab-130 — Высокочувствительный анализатор остаточных газов
Анализатор остаточных газов для полупроводниковых процессов и вакуумного нанесения покрытий. Предназначен для контроля следовых примесей и динамики газового состава. Заявлены минимальное парциальное давление 2·10⁻¹⁵ Торр, скорость сканирования 2 мс на точку и диапазон масс до 300 а.е.м. Конкретное исполнение и условия достижения характеристик уточняют при подборе.
Наименование: Высокопроизводительный анализатор остаточных газов
Габариты Д × Ш × В: 450 × 120 × 120 мм
Электропитание и мощность: 220 В переменного тока, 50 Гц; 120 Вт
HM-100 — анализатор остаточных газов (RGA)
Длина датчика: 315 мм
Общая длина: 486 мм
Разрешение при 10% высоты пика: <1 а. е. м.