Квадрупольный измерительный модуль для качественного и количественного анализа остаточных газов в вакуумном объёме. Определяет компоненты по отношению массы иона к заряду; среди рассматриваемых газов — вода, кислород, азот и диоксид углерода. Для работы необходимы система отбора пробы, вакуумное обеспечение и программное обеспечение анализа. Это измерительный модуль RGA, а не самостоятельный гелиевый течеискатель.
Назначение и принцип работы
Квадрупольный измерительный модуль для качественного и количественного анализа остаточных газов в вакуумном объёме. Определяет компоненты по отношению массы иона к заряду; среди рассматриваемых газов — вода, кислород, азот и диоксид углерода. Для работы необходимы система отбора пробы, вакуумное обеспечение и программное обеспечение анализа. Это измерительный модуль RGA, а не самостоятельный гелиевый течеискатель.
Технические характеристики
| Характеристики изделия | Наименование | Анализатор остаточных газов (RGA) | Рабочие характеристики | Длина измерительного зонда | 315 мм |
| Полная длина | 486 мм | ||||
| Модель | HM-Leaklab-100 | Диапазон масс | 1-100 а.е.м. | ||
| Разрешение по массе при 10 % высоты пика | <1 а.е.м. | ||||
| Габариты, мм | L486*W119*H119 | Нити накала | Две иридиевые нити с покрытием оксидом иттрия / две вольфрамовые нити | ||
| Детектор | FC/CEM | ||||
| Электропитание | пост. ток 24 В，5 А | Чувствительность, коллектор Фарадея | 3·10⁻⁴А/Торр | ||
| Чувствительность, электронный умножитель | 0.1 А/Торр | ||||
| Масса | 3кг | Минимальное обнаруживаемое парциальное давление, электронный умножитель | 3·10⁻¹⁴Торр | ||
| Максимальная рабочая температура зонда, FC/EM | 200 °C /120 °C | ||||
| Максимальное рабочее давление | 5·10⁻⁴Торр | Максимальная температура прогрева | 300 °C | ||
| Время сканирования одной точки | 20 мс/точку | ||||
| Максимальное рабочее давление | 5 *10-4Торр |
Подбор исполнения и интеграция
При подборе определяют объём изделия, испытательное давление, допустимую утечку, время цикла, способ соединения и требования к регистрации результатов. Предел обнаружения прибора не является допустимой утечкой изделия. Состав стенда и оснастку согласуют под технологический процесс.
Связанное оборудование
Другие варианты того же типа. Диапазон, присоединение и условия применения проверяйте по характеристикам каждой модели.
HM-Leaklab-130 — Высокочувствительный анализатор остаточных газов
Анализатор остаточных газов для полупроводниковых процессов и вакуумного нанесения покрытий. Предназначен для контроля следовых примесей и динамики газового состава. Заявлены минимальное парциальное давление 2·10⁻¹⁵ Торр, скорость сканирования 2 мс на точку и диапазон масс до 300 а.е.м. Конкретное исполнение и условия достижения характеристик уточняют при подборе.
Наименование: Высокопроизводительный анализатор остаточных газов
Габариты Д × Ш × В: 450 × 120 × 120 мм
Электропитание и мощность: 220 В переменного тока, 50 Гц; 120 Вт
HM-Leaklab-150 — Анализатор остаточных газов для повышенного давления
Анализатор для мониторинга процессов PVD и условий с повышенным давлением газа. Рабочее давление составляет до 2 Па, варианты диапазона масс 1–50 и 1–100 а.е.м., минимальное обнаруживаемое парциальное давление 2·10⁻⁹ Па. Поддерживаются сканирование спектра и выбранных масс, определение H₂, He, N₂, O₂ и Ar, интеграция через API и сигнализация отклонений.
Наименование: Анализатор остаточных газов для повышенного давления
Габариты Д × Ш × В: 320 × 240 × 120 мм
Электропитание: 220 В переменного тока, 50 Гц, 1 А; или 24 В постоянного тока, 5 А
HM-100 — анализатор остаточных газов (RGA)
Длина датчика: 315 мм
Общая длина: 486 мм
Разрешение при 10% высоты пика: <1 а. е. м.