Высоковакуумные посты JFJ

Вакуумные системы и установки

Комплектная откачка от атмосферы до высокого вакуума с согласованными насосными ступенями.

Что входит в инженерное решение

Турбомолекулярный насос, форвакуумная ступень, измеритель давления, соединительная арматура и управление. Сухой или маслозаполненный форвакуум выбирают по требованиям к чистоте, парам и длительности цикла. Рама, колёса, дисплей и внешние интерфейсы уточняются при заказе.

Рабочая точка поста

Для сравнения предложений указывают объём камеры, давление начала контроля, допустимое время откачки, газ и присоединительную магистраль. Быстрота турбонасоса на входном фланце не равна производительности поста во всём диапазоне от атмосферного давления.

Заявленное предельное давление до 5×10⁻⁷ Па относится к соответствующему высоковакуумному исполнению и подготовленной системе. Оно не является гарантией давления на любом подключённом объекте.

JFJ как комплектный высоковакуумный пост

Выбирать пост по полному циклу

Установка объединяет высоковакуумную и форвакуумную ступени. При одном и том же турбонасосе разные форнасосы дают разное время предварительной откачки, уровень загрязнений и поведение при влажной нагрузке. Поэтому в запросе описывают объём, начальное состояние изделия и давление начала измерения.

Подключение без потери проводимости

Размер рабочего входа и арматуры согласуют с камерой. Длинный узкий шланг может ограничить быстроту значительно сильнее, чем различие соседних типоразмеров насоса. Положение датчика определяет, измеряется ли давление непосредственно в камере или только на входе откачного поста.

Комплект для эксплуатации

Помимо насосов предусматривают измеритель, запорную арматуру, линию напуска, кабели и средства контроля охлаждения. В мобильной версии важны фиксация оборудования при перемещении, доступ к соединениям и разгрузка шлангов. Работоспособность оценивают по откачке контрольного объёма и повторяемости запуска.