Курс лекций "Вакуумная техника". Введение.

Преподаватель Федоров А. Л.

Содержание:

Введение

1 глава - физика вакуума: основные понятия и определения, газовые законы; сорбционные явления в вакууме; физические процессы в вакууме, вязкость газов, диффузия в газах, режимы течения газов.

2 глава - способы получения и контроля вакуума. классификация насосов. механические методы откачки. физико-химические методы откачки. контроль давления. измерение газовых потоков. методы течеискания.

Скачать книгу вы можете по этой ссылке: http://www.techeiscatel.ru/media/books/024760_831A1_lekcii_po_vakuumnoy_tehnike.doc

Введение

Научный этап в развитии вакуумной техники начинается еще с 1643 года, когда в Италии Торричели измерил атмосферное давление. В 1672 г. в Германии О.Герике изобрел механический поршневой насос с водяным уплотнением, что дало возможность проведения исследований свойств разреженного газа.
В 1873 г. А.Лодыгин изобрел первый электровакуумный прибор - лампу накаливания с угольным электродом. В 1883 г. Т.Эдиссон открыл термоэлектронную эмиссию.
В начале ХХ века были изобретены широко применяемые в настоящее время вакуумные насосы - вращательный, криосорбционный, моле¬кулярный, диффузионный.
Техническое применение вакуума непрерывно расширяется, но с конца прошлого века и до сих пор наиболее важное его применение - электронная техника. Низкий и средний вакуум применяется в осветительных приборах и газоразрядных устройствах. Высокий вакуум - в приемно-усилительных и генераторных лампах, в электронно-лучевых трубках и сверхвысокочастотных приборах. Особенно широко вакуумная техника применяется в производстве микросхем, где процессы нанесе¬ния тонких пленок, ионного травления обеспечивают получение элеме¬нтов электронных схем субмикронных размеров.
В металлургии плавка и переплав металлов в вакууме освобожда¬ет их от растворенных газов, благодаря чему они приобретают высокую механическую прочность, вязкость и пластичность. Сверхчистые вещества, полупроводники, диэлектрики изготавливаются в вакуумных кристаллизационных установках.
Диффузионная сварка в вакууме позволяет получать неразъемные герметичные соединения материалов с сильно различающимися свой-
ствами. Высококачественное соединение материалов с однородными
свойствами обеспечивает электронно-лучевая сварка в вакууме.
Применение вакуумных технологий позволяет получать упрочня¬ющие и защитные покрытия, обладающие уникальным набором свойств.
Вакуумное осаждение выгодно отличается от других методов прецизион¬ностью, практически неограниченными возможностями управлять структурой и свойствами покрытий, возможностью получать сочетания металлических и неметаллических материалов в покрытии практически недостижимые другими способами.
Типовая вакуумная установка включает в себя вакуумную камеру, насосы, соединительные трубопроводы, вакуумные затворы и средства контроля вакуума. Стандартами приняты следующие условные обозначения элементов вакуумных систем, рис:

{jlcomments}