Датчики давления ULVAC и вакуумметры G-TRAN: как выбрать и внедрить
Специалисты «Ликлаб» подготовили практический обзор современных датчиков давления ULVAC — от Пирани для низкого вакуума до ионизационных датчиков для высокого и сверхвысокого вакуума, а также емкостных манометров для прецизионных процессов. Ниже — краткий путеводитель по линейкам, рекомендации по выбору, интеграции и сервису.
Где применяются датчики ULVAC
- Производство полупроводников, микро- и оптоэлектроники, ЖК-панелей и фотоэлектронных элементов;
- Контроль откачки шлюзовых и процессных камер, мониторинг технологических газов и режимов;
- Испытательные стенды, вакуум-камеры НИОКР, системы течеискания и герметизации;
- Криогенная техника, покрытие/осаждение (PVD/CVD), термовакуумные испытания.
Линейки и модели ULVAC: краткий путеводитель
Пирани (низкий/средний вакуум)
G-TRAN SP1 — компактный термокондукционный датчик для повседневного мониторинга низкого вакуума, удобен в лабораторных и производственных установках.
G-TRAN SW100 — «широкодиапазонный» Пирани с быстрым откликом и устойчивостью к загрязнениям; подходит для шлюзов и общепромышленных камер.
Ионизационные (высокий/сверхвысокий вакуум)
G-TRAN SC1 — холоднокатодный (Penning) датчик: компактный, с хорошей стойкостью к перезагрязнению; работает в областях HV/UHV.
G-TRAN SH200 и ST200 — ионизационные датчики для высокого вакуума; в связке с фирменными источниками и усилителями обеспечивают стабильную работу и калибровку.
Ax-TRAN — компонентное семейство ионизационных датчиков для OEM-интеграции в системы высокого и сверхвысокого вакуума.
Емкостные манометры (абсолютные)
CCMT-D — прецизионные емкостные датчики абсолютного давления с термостабилизацией и высокой точностью в низких диапазонах. Независимы от состава газа — идеально для технологических уставок.
Контроллеры
G-TRAN ISG1 — компактный одноканальный контроллер для датчиков G-TRAN; удобен для единичных постов.
G-TRAN IM1R1/IM2R1 — модульные контроллеры на несколько каналов (в т.ч. комбинации Пирани + ионизационный) для многокамерных установок и НИОКР-стендов.
Как выбрать тип датчика под задачу
| Задача/режим | Рекомендуемый тип | Почему |
|---|---|---|
| Быстрый мониторинг откачки шлюза, rough-линия | Пирани (SP1, SW100) | Недорогие, стойкие к неидеальному газу, быстрый отклик и широкий диапазон. |
| Стабильный контроль HV (10−3…10−7 мбар) | Холодный катод (SC1) | Меньше риск деградации катода, устойчивость к загрязнениям, компактность. |
| UHV и метрологичный контроль нижнего диапазона | Ионизационные (SH200/ST200/Ax-TRAN) | Высокая чувствительность и стабильность при правильной калибровке и прогреве. |
| Точные технологические процессы (CVD/PVD, дозирование) | Емкостные CCMT-D | Абсолютное измерение, независимое от состава газа, термостабилизация сенсора. |
| Один пост/одна камера | Контроллер ISG1 | Простой монтаж и интеграция с датчиками G-TRAN. |
| Многокамерная установка, стенд НИОКР | Контроллеры IM1R1/IM2R1 | Мультиканальность, единая платформа для нескольких датчиков. |
Практические советы по установке и эксплуатации
- Правильное место отбора. Ставьте датчик на отвод с ламинарным потоком и достаточной проводимостью; Пирани — вдали от струйных напусков, ионизационные — вдали от плазмы.
- Газовая чистота. Перед пуском — продувка сухим азотом; для HV/UHV — вакуум-выпечка по регламенту производителя.
- Электрика и «земля». Используйте экранированные кабели и корректное заземление контроллеров ISG/IM для устойчивых показаний.
- Калибровка и поверка. Рекомендуем ежегодную поверку/калибровку; для емкостных CCMT-D — контроль нуля и температурной стабильности, для ионизационных — проверку эмиссии/характеристик.
- Сервис. Холоднокатодные датчики требуют периодической очистки при загрязнении; горячекатодные — бережных режимов в присутствии активных газов.
Коротко о ключевых моделях
- SP1 (Пирани): базовый, компактный, универсальный для rough-вакуума.
- SW100 (Пирани wide-range): широкий диапазон, устойчивая работа в «грязных» условиях.
- SC1 (холодный катод): HV/UHV, компактный корпус, удобный сервис.
- SH200/ST200 (ионизация): стабильность и чувствительность для высоких вакуумов.
- CCMT-D (емкостной манометр): прецизионный контроль абсолютного давления, невосприимчив к составу газа.
- ISG1 (1-канальный контроллер): компактная интеграция одного датчика.
- IM1R1/IM2R1 (мульт. контроллеры): масштабируемые платформы для нескольких датчиков и камер.
- Ax-TRAN (ионизационный датчик): OEM-компоненты для высоких/сверхвысоких вакуумов.
Интеграция в ваши установки
Датчики ULVAC поддерживают стандартные фланцы KF/CF/ISO, контроллеры — типовые сигналы для ПЛК/SCADA. Для схемы «шлюз + процессная камера» рациональна связка: SW100 на rough-участке, SC1 или SH200 в зоне HV и CCMT-D как метрологическая «опорная» мерка давления, управляемые через ISG1 (один пост) либо IM1R1/IM2R1 (несколько каналов).
Сервис и сопровождение «Ликлаб»
Мы поможем подобрать оптимальную конфигурацию датчиков под конкретный процесс, спроектируем узел измерения (фланцы, расположение, фильтрация), интегрируем в ПЛК, подготовим методики, обеспечим сервис, калибровку и поверку с метрологической прослеживаемостью.
Издание: Санкт-Петербург, 2025. Объем: 209 страниц. Пособие создано для инженерной подготовки и повышения квалификации персонала, проводящего контроль герметичности в атомной энергетике, машиностроении, химической промышленности, на объектах газовой и водородной инфраструктуры.
Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» имени В. И. Ульянова и Лаборатория Ликлаб приглашают сотрудников предприятий принять участие в курсе повышения квалификации «Основы течеискания и вакуумной техники».