Модульный масс-спектрометрический течеискатель Ulvac HELIOT ZERO

HELIOT ZERO — специализированный течеискатель для автоматических систем контроля герметичности на гелии. Конструкция ориентирована на встраивание в технологические стенды и линейные комплексы, обеспечивая компактную компоновку, удобство размещения узлов и эксплуатационную простоту. В стандартной поставке предусмотрены калиброванная течь и вакуумный датчик типа Пирани, что ускоряет ввод в эксплуатацию и обеспечивает оперативную проверку чувствительности перед началом смены.

Измерительный тракт построен на масс-спектрометрической трубке с магнитным отклонением на 90°, обеспечивающей селективную регистрацию гелия при высокой помехоустойчивости. Узлы разнесены: анализатор с тест-портом отделён от блока питания, а пульт управления выполнен отдельным модулем. Допускается удаление анализатора от блока питания до 10 м и пульта от блока питания до 20 м, что упрощает интеграцию в габаритные стенды и вынос электроники из зоны технологических воздействий.

 

Интерфейс оператора и обслуживание

Панель управления выполнена на цветном сенсорном дисплее с высокой читаемостью индикации. Система уведомляет о необходимости регламентного обслуживания. Наличие калиброванной течи позволяет подтверждать чувствительность и корректность показаний непосредственно на рабочем месте, а датчик Пирани обеспечивает контроль давления на тест-портах при каждом цикле.

Вакуумная схема и испытательные порты

Течеискатель оснащён тремя тест-портами, что позволяет поэтапно выявлять грубые, средние и малые утечки и оптимизировать вакуумный цикл. Вакуумная часть включает турбомолекулярный насос, линию форвакуумной откачки, встроенную калиброванную течь с отсечным клапаном, датчик Пирани для мониторинга давления, а также порты GROSS, MIDDLE и FINE с присоединением по NW16.

Методы испытаний и диапазоны

Поддерживаются вакуумные методы течеискания в диапазоне ориентировочно от 1×10⁻¹² до 1×10⁻³ Па·м³/с. Дополнительно доступен щуповый метод (опция) с рабочим диапазоном порядка 1×10⁻⁸…1×10⁻³ Па·м³/с и индикацией концентрации 0,1–1000 ppm. Отображаемые единицы измерения включают Па·м³/с, mbar·L/s, Torr·L/s, atm·cc/s, а также массовые эквиваленты g/a и oz/a для задач вне СИ.

Щуповый метод реализуется посредством опционного датчика-щупа и узла переключения на «sniffer»-канал. Вакуумные методы используют подключение изделия к одному из тест-портов с управлением последовательностью клапанов по алгоритму стенда.

Интеграция в автоматические стенды

Прибор оснащён дискретными входами/выходами с открытым коллектором для управления, аналоговыми выходами 0–10 В (скорость утечки и давление на тест-порте), а также интерфейсами RS-232C и RS-485 для связи с ПЛК и верхним уровнем АСУ ТП. Предусмотрена многоязычная индикация панели оператора.

Области применения

HELIOT ZERO предназначен для встраивания в автоматические системы контроля герметичности в автомобильной промышленности, холодильной и климатической технике, а также на линиях упаковки пищевой и фармацевтической продукции. Прибор эффективен для конечного контроля герметичности изделий и при отладке технологических процессов, связанных с проницаемостью и микропротечками гелия.

Технические данные

Тип масс-спектрометра	Трубка с магнитным отклонением на 90°; селективность по He
Диапазон по вакуумному методу	~1×10−12…1×10−3 Па·м3/с (эквиваленты в mbar·L/s, Torr·L/s, atm·cc/s)
Диапазон по щуповому методу (опция)	~1×10−8…1×10−3 Па·м3/с; индикация 0,1–1000 ppm
Тест-порты	Три: GROSS, MIDDLE, FINE; фланцы NW16; отдельный порт форвакуума NW16
Датчики в составе	Калиброванная течь; датчик Пирани
Интерфейсы	Дискретные входы/выходы (open collector), аналог 0–10 В (скорость утечки, давление), RS-232C, RS-485
Панель оператора	Цветной сенсорный дисплей; сервисные уведомления
Питание	AC 90–240 В, 50/60 Гц; потребление до 700 Вт
Масса	Анализатор + модуль тест-порта ≈ 7,4 кг; блок питания + панель ≈ 10,5 кг
Разнесение модулей	Анализатор — блок питания до 10 м; блок питания — панель до 20 м
Маркировка/соответствие	CE

Указанные диапазоны чувствительности достигаются в конфигурации с ротационным форвакуумным насосом производительностью порядка 30 л/мин; фактические значения зависят от применяемой насосной станции и алгоритма работы стенда.

Вакуумная схема: пояснения

Схема разделена на функциональные зоны: порты FINE, MIDDLE и GROSS для поэтапного поиска утечек; линия форвакуума FORE; калиброванная течь CL с отсечным клапаном CLV; турбомолекулярный насос TMP; датчик Пирани PiG для контроля давления; тракт анализатора ANA, связанный с масс-спектрометром. Такое построение облегчает реализацию алгоритмов грубого поиска, дооткачки и тонкой диагностики с автоматическим управлением клапанами.

Эксплуатационные преимущества

Небольшая занимаемая площадь и допускаемая ориентация анализаторного модуля в любом пространственном положении упрощают встраивание в шкафы испытательных станций. Модульное разнесение до десятков метров ускоряет разводку кабелей и позволяет разместить шкафы управления вне зоны повышенной вибрации, запыленности и температурных нагрузок.

Применение в производстве

Течеискатель одинаково эффективен при 100-% контроле готовых изделий и при испытаниях на узловых участках. Прибор обеспечивает селективную регистрацию малых натеканий на производственных скоростях, пригоден для серийных стендов и единичных установок НИОКР.

Поставка и опции

Доступны удлинительные кабели для модульного разнесения, щуп и блок переключения для «sniffer»-метода, комплектующие форвакуумной части и насосные станции различной производительности для масштабирования под требуемый цикл.