Масс-спектрометрический течеискатель ZQJ-3200

Течеискатель ZQJ-Vactron-3200 относится к средствам измерений, реализующим масс-спектрометрический метод контроля герметичности с селективной регистрацией гелия. Прибор предназначен для измерения потока гелия при вакуумных испытаниях и методом щупа, для обнаружения и локализации мест нарушения герметичности в изделиях с возможностью откачки внутреннего объёма или подачи пробного газа под небольшим избыточным давлением.

Измерительный тракт основан на масс-спектрометрическом анализаторе, настроенном на регистрацию ионов гелия. Молекулы пробного газа ионизируются источником, далее ионы разделяются по массе-заряду и регистрируются ионным коллектором, формируя сигнал, пропорциональный потоку. В корпусе размещены анализатор, высоковакуумный насос, форвакуумная часть и система клапанов. Испытуемый объект подключается к испытательному порту на верхней панели корпуса; управление режимами и индикация выполняются с панели оператора.

 

Режимы работы и диапазоны

В приборе реализованы два вакуумных режима по входу течеискателя («Вакуум. метод — Нормальный» и «Вакуум. метод — Массивная течь») с автоматическим либо ручным переключением, а также режим поиска течей методом щупа. Минимально достоверно регистрируемый поток по вакуумному методу достигает уровня 5×10⁻¹³ Па·м³/с. Диапазон показаний в режиме щупа охватывает область от 5×10⁻⁹ до 1×10⁻² Па·м³/с. Время готовности не превышает нескольких минут, а отклик по вакуумному методу до 63 % сигнала задаётся в пределах секунд, что обеспечивает оперативную локализацию дефектов на производстве.

Исполнения и компоновочные варианты

Линейка включает базовый прибор со встроенным форвакуумным насосом и четыре модификации, отличающиеся наличием/типом форвакуума и компоновкой насосной части. Доступны варианты со встроенным безмасляным насосом, исполнения без встроенного насоса для подключения внешней насосной станции, а также комплектации с внешним масляным или безмасляным насосом на транспортировочной тележке. Такой подход облегчает подбор конфигурации под объём испытываемых изделий, требования к чистоте и ограничения рабочей зоны.

Метрологические характеристики

Диапазон измерений потока по входу течеискателя, Па·м3/с, режим «Вакуум. метод — Нормальный»	1×10−12 … 1×10−1
Диапазон измерений потока по входу течеискателя, Па·м3/с, режим «Вакуум. метод — Массивная течь»	1×10−9 … 1×10−1
Диапазон показаний, метод щупа, Па·м3/с	5×10−9 … 1×10−2
Минимально достоверно регистрируемый поток (вакуумный метод), Па·м3/с	≤ 5×10−13
Относительная погрешность в режиме «Нормальный»	±(0,15 + Qнпи/Qизм)·100 %
Относительная погрешность в режиме «Массивная течь»	±50 %

Основные технические характеристики

Габариты корпуса (Д×В×Ш), мм, не более	545 × 380 × 430
Электропитание	~220 В ±10 %, 50 Гц ±1 Гц
Условия эксплуатации: температура, влажность, атмосферное давление	+10…+35 °C; ≤ 80 % без конденсации; 84–106,7 кПа
Средняя наработка на отказ; средний срок службы	15 000 ч; 12 лет
Интерфейсы	RS-232 (D-Sub 9), дискретный ввод/вывод (D-Sub 37)
Испытательный порт	Фланцевое присоединение на верхней панели корпуса

Программное обеспечение

Встроенное ПО управляет вакуумной системой и анализатором, выполняет автоматическую диагностику, приём и обработку измерительной информации, формирование выводимых сигналов. Идентификация микропрограммного обеспечения фиксируется в меню «Сервис», при этом номер версии не должен быть ниже заданного изготовителем для утверждённого типа. Уровень защиты от преднамеренных и непреднамеренных изменений соответствует требованиям к средствам измерений данного класса.

Комплект поставки

Течеискатель заданного исполнения	1 шт.
Комплект ЗИП	1 компл.
Кабель питания	1 шт.
Руководство по эксплуатации	1 экз.
Паспорт	1 экз.

Метрологический статус и поверка

Прибор относится к средствам измерений с утверждённым типом и применяется для количественных измерений потока газа в вакууме. Поверка проводится по действующей методике с применением аттестованных мер потока и при соблюдении норм по климатическим условиям. Содержание работ включает внешний осмотр, подготовку и опробование, идентификацию программного обеспечения, определение метрологических характеристик в режимах «Нормальный» и «Массивная течь» по входу течеискателя, а также подтверждение соответствия установленным требованиям. Результаты поверки отражаются в федеральном информационном фонде; при положительном исходе оформляется свидетельство о поверке.

Эксплуатационные преимущества и рекомендации по применению

Конструктив течеискателя позволяет быстро выходить на рабочий режим, обеспечивая высокую чувствительность по вакуумному методу и воспроизводимую регистрацию по методу щупа. Наличие дискретных и последовательных интерфейсов упрощает интеграцию в автоматизированные стенды контроля, а запись и визуализация сигналов потока и давления на панели оператора повышают наглядность и удобство наладки. Для объектов большого объёма целесообразно предусматривать внешний форвакуумный пост, чтобы разгрузить насосную часть течеискателя и сократить цикл откачки. При работах в чистых помещениях рекомендуется выбирать исполнение с безмасляным форвакуумным насосом и использовать соответствующую вакуумную арматуру. Для подтверждения чувствительности перед началом смены следует проводить проверку по калиброванной течи и фиксацию нулевой линии; при переходе от грубого поиска к тонкой локализации применять ступенчатое снижение диапазона с контролем допустимого давления по входу.

Сервис, обучение и сопровождение

Поставка включает ввод в эксплуатацию, инструктаж оператора и рекомендации по построению технологической схемы испытаний. По запросу доступны курсы повышения квалификации по основам течеискания и вакуумной технике с разбором отраслевых кейсов. Обслуживание проводится в регламентные сроки, включая проверку вакуумной части, контроль состояния источника ионов и датчиков, а также периодическую метрологическую поверку для поддержания прослеживаемости результатов измерений.