Услуга анализа остаточных газов на установке Гелиос–0611
Специалисты Лаборатории ВАКТРОН предлагают Вам воспользоваться услугой анализа состава и парциального давления газов в объеме вашей технологической установки или изделия.
Анализ остаточных газов рекомендуется проводить в случае:
- если характеристики наносимого покрытия или пленки отличаются от заданного
- в составе материала изделия недопустимо появление посторонних включений
- не удается достичь рабочего давления в вакуумной камере
- при восстановлении установок после длительного хранения
- при использовании масляных средств откачки для оценки их влияния на изделие
- при необходимости в реальном времени контролировать состав газов рабочего процесса.
Анализ остаточных газов производится с помощью мобильной установки Гелиос–0611 производства ВАКТРОН, построенной на базе квадрупольного масс-спектрометра ULVAC QULEE.