Вакуумная арматура и комплектующие KF, ISO и CF для сборки и модернизации вакуумных систем
Вакуумные клапаны, переходники, хомуты и уплотнения Ликлаб
Лаборатория LeakLab поставляет вакуумную арматуру, переходные элементы и комплектующие для сборки, модернизации и обслуживания вакуумных систем на базе стандартов KF, ISO и CF. В ассортимент входят обратные клапаны, пневматические и ручные отсечные клапаны, клапаны напуска воздуха, шаровые и дисковые вакуумные краны, переходники CF-KF и ISO-KF, электровводы, центрирующие кольца с уплотнением Viton, медные прокладки CF, коллекторы, крестовины, тройники, сильфоны, шланговые патрубки, гибкие вакуумные шланги, торцевые заглушки и другие элементы вакуумной обвязки.
Компоненты из нержавеющей стали SS304 предназначены для форвакуумных, высоковакуумных и сверхвысоковакуумных систем, испытательных стендов, вакуумных камер, аналитических установок, технологических линий и лабораторного оборудования. Дополнительно поставляются двухступенчатые пластинчато-роторные насосы серии 2XZ для форвакуумной откачки и работы в составе вакуумных систем. Номенклатура подходит для построения распределительных магистралей, ввода электрических сигналов в вакуумный объем, развакуумирования, виброразвязки насосов, подключения датчиков и коммутации сложных вакуумных трасс.
Ключевые слова: вакуумная арматура, вакуумные комплектующие, вакуумные компоненты, KF арматура, ISO вакуумные соединения, CF вакуумные фланцы, вакуумные переходники, переходник CF KF, переходник ISO KF, вакуумный обратный клапан, отсечной вакуумный клапан, пневматический вакуумный клапан, клапан напуска воздуха, шаровый вакуумный кран, дисковый вакуумный клапан, электроввод вакуумный KF, электроввод вакуумный CF, вакуумный коллектор KF, вакуумный сильфон ISO, телескопический сильфон KF, вакуумный шланг KF, штуцер KF, центрирующее кольцо KF, центрирующее кольцо Viton, медная прокладка CF, заглушка ISO, вакуумный тройник KF, вакуумная крестовина KF, вакуумный адаптер, вакуумная обвязка, вакуумные фитинги, вакуумные клапаны SS304, насос 2XZ, форвакуумный насос 2XZ, пластинчато-роторный вакуумный насос, компоненты для вакуумных камер, арматура для высоковакуумных систем, комплектующие для сверхвысокого вакуума, LeakLab.
| № | Наименование | Исполнение и размеры | Количество | Материал | Характеристика | Типовые свойства и назначение |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | Обратный клапан вакуумный KF | KF16, KF25, KF40 | KF16 - 5 шт; KF25 - 8 шт; KF40 - 5 шт | SS304 | Быстроразъемный клапан для предотвращения обратного потока газа | Применяется в форвакуумных и технологических линиях. Совместим с KF-соединениями, которые собираются хомутом и центрирующим кольцом с эластомерным O-ring. |
| 2 | Переходная втулка KF без уплотнения для мягкого шланга | KF16 - 6 мм | не указано | SS304 | Штуцер под гибкий шланг без встроенного уплотнения | Используется для подключения мягкого шланга к KF-порту. Требует внешнего шлангового соединения и фиксации хомутом. |
| 3 | Переходник вакуумный CF-KF | CF35-KF25; CF35-KF40; CF16-KF16 | CF35-KF25 - 4 шт; CF35-KF40 - 3 шт; CF16-KF16 - 3 шт | SS304 | Редукционный переход между ножевым фланцем CF и быстросборным KF | Позволяет подключать UHV-компоненты CF к HV/forevacuum арматуре KF. Для стороны CF применяется медная прокладка. |
| 4 | Переходник вакуумный редукционный ISO-KF | ISO100-KF25; ISO100-KF40; ISO100-KF50; ISO63-KF25; ISO63-KF40; ISO160-KF50; ISO160-KF40 | ISO100-KF25 - 5 шт; ISO100-KF40 - 5 шт; ISO100-KF50 - 3 шт; ISO63-KF25 - 10 шт; ISO63-KF40 - 5 шт; ISO160-KF50 - 2 шт; ISO160-KF40 - 2 шт | SS304 | Переход между крупным ISO и KF | Используется для стыковки крупных камерных портов ISO с лабораторной арматурой KF. В узле ISO обычно применяется центрирующее кольцо с O-ring и наружным фиксатором. |
| 5 | Электроввод вакуумный KF | KF16 - 8, 12, 19 контактов; KF25 - 4, 6, 8, 10, 12, 19 контактов; KF40 - 4 контакта (30A), 6, 8, 10 контактов | по 3 шт каждого исполнения | Корпус SS304 | Электрический герметичный ввод для сигналов и питания через вакуумную стенку | Применяется для вывода цепей датчиков, нагревателей, приводов и исполнительных устройств. Количество контактов и токовая нагрузка выбираются по схеме подключения. |
| 6 | Пятилучевой вакуумный коллектор KF | KF25, 5-ходовой | 10 шт | SS304 | Пятиканальный распределитель потока | Используется для разведения нескольких вакуумных ветвей, подключения датчиков, насосов и технологических линий. |
| 7 | Шестилучевой вакуумный коллектор KF | KF25, 6-ходовой | 5 шт | SS304 | Шестиканальный распределитель потока | Подходит для распределительных коллекторов, стендов вакуумирования и многоканальных измерительных систем. |
| 8 | Сильфон вакуумный ISO | ISO100, L=100 мм; 250 мм; 500 мм | не указано | SS304 | Гибкая сильфонная вставка для компенсации осевых и угловых смещений | Снижает передачу вибрации и компенсирует монтажные допуски. Применяется между камерой, насосом и трубопроводом. |
| 9 | Клапан вакуумный пневматический отсечной KF, L-образный | KF16 24V; KF16 220V; KF25 24V; KF25 220V; KF40 24V; KF40 220V | KF16 24V - 8 шт; KF16 220V - 8 шт; KF25 24V - 8 шт; KF25 220V - 8 шт; KF40 24V - 4 шт; KF40 220V - 4 шт | SS304 | Пневматически управляемый угловой клапан | Применяется для автоматического отсечения линий, циклов вакуумирования и продувки. Выбор напряжения зависит от катушки управления и шкафа автоматики. |
| 10 | Сильфон вакуумный KF телескопический | KF25, L=100 мм; 250 мм; 1000 мм | L100 - 20 шт; L250 - 10 шт; L1000 - 20 шт | SS304 | Телескопический сильфон регулируемой длины | Используется при необходимости монтажной подстройки длины вакуумной линии и компенсации смещений. |
| 11 | Патрубок шланговый KF | KF40 - 32 мм; KF40 - 25 мм | по 10 шт | SS304 | Штуцер KF под гибкий шланг | Применяется для подключения армированных или PVC-шлангов к вакуумной магистрали. |
| 12 | Скоба-зажим C type | M8 | 500 шт | Aluminium | Крепежный элемент для фиксации узлов и арматуры | Используется в монтажных сборках, подвесах и опорах. Алюминий снижает массу, но уступает нержавеющей стали по коррозионной стойкости в агрессивной среде. |
| 13 | Насос вакуумный 2XZ | 2XZ-4B 220V; 2XZ-6B 220V; 2XZ-100B 380V | 2XZ-4B - 1 шт; 2XZ-6B - 1 шт; 2XZ-100B - 8 шт | не указано | Двухступенчатый маслозаполненный пластинчато-роторный насос прямого привода | Может работать как самостоятельный форвакуумный насос и как backing pump для бустерных, диффузионных и турбомолекулярных насосов. |
| 14 | Заглушка торцевая ISO | ISO160; ISO250 | ISO160 - 5 шт; ISO250 - 5 шт | SS304 | Торцевая крышка для закрытия ISO-порта | Используется для временной герметизации неиспользуемого порта камеры или трубопровода. |
| 15 | Прокладка вакуумная CF | CF35; CF50 | CF35 - 100 шт; CF50 - 50 шт | Медь | Металлическая прокладка для ножевых фланцев CF | Образует герметичное соединение за счет пластической деформации меди ножевыми кромками фланцев. Применяется в HV и UHV. |
| 16 | Штуцер KF с внутренней резьбой | KF25 - 1 дюйм | 30 шт | SS304 | Переходной элемент KF с внутренней трубной или присоединительной резьбой | Используется для подключения арматуры с резьбовым присоединением к KF-линии. |
| 17 | Центрирующее кольцо KF с уплотнением Viton и наружным кольцом | KF100 | 20 шт | SS304 + Viton | Центрирующее кольцо с захватным кольцом и эластомерным уплотнением | Обеспечивает соосность фланцев и удерживает O-ring. Исполнение с наружным кольцом удобно при сборке и допускает небольшое избыточное давление. |
| 18 | Кран шаровой вакуумный трехходовой с площадкой, Т-образный | KF16; KF25; KF40 | KF16 - 1 шт; KF25 - 2 шт; KF40 - 1 шт | SS304 | Трехходовой шаровой кран для переключения потоков | Используется для коммутации ветвей, изоляции объема, подключения откачки, продувки и напуска газа. |
| 19 | Клапан дисковый вакуумный KF | KF16; KF25; KF40 | по 10 шт каждого размера | SS304 | Поворотный дисковый затвор для перекрытия линии | Подходит для быстрого открытия и закрытия магистрали на средних диаметрах. Требует оценки проводимости и герметичности по режиму процесса. |
| 20 | Кран шаровой вакуумный KF | KF16; KF25; KF40 | по 10 шт каждого размера | SS304 | Запорная арматура шарового типа | Применяется в линиях подачи газа, продувки и вспомогательных вакуумных магистралях. Удобен для ручного запирания. |
| 21 | Электроввод вакуумный CF | CF35 - 55 контактов; CF16 - 4 контакта | по 2 шт | Корпус SS304 | Герметичный электрический ввод на фланце CF | Предназначен для высоковакуумных и сверхвысоковакуумных систем, где требуется электрический ввод через металлическое уплотнение CF. |
| 22 | Шланг вакуумный мягкий KF | KF16, ID 19 мм, L 4 м; KF40, ID 38 мм, L 12 м | по 1 шт | SS304 + PVC | Гибкий шланговый узел с KF-окончаниями | Используется в мобильных схемах откачки, для временных подключений и при виброразвязке оборудования. |
| 23 | Сильфон вакуумный KF телескопический, серия длин | KF16, KF25, KF40; L=150, 200, 300, 400, 750 мм | по 2 шт на каждую комбинацию размера и длины | SS304 | Телескопический сильфон для регулируемой длины линии | Упрощает сборку нестандартных стендов и компенсирует расхождения по монтажной базе. |
| 24 | Сильфон вакуумный KF | KF10; L=100 мм, 500 мм, 1000 мм | по 2 шт | SS304 | Гибкая сильфонная вставка малого диаметра | Применяется в аналитических, дозирующих и измерительных вакуумных схемах малого диаметра. |
| 25 | Крестовина вакуумная KF | KF10 | 2 шт | SS304 | Четырехходовой фитинг | Служит для разводки потока, установки датчиков и подключения дополнительных ветвей. |
| 26 | Тройник вакуумный KF | KF10 | 2 шт | SS304 | Трехходовой фитинг | Используется для ответвления линии, подключения вакуумметра, газового ввода или калиброванной течи. |
| 27 | Клапан вакуумный отсечной KF, L-образный | KF10 | 1 шт | не указано | Угловой запорный клапан | Подходит для локального изолирования малого объема или диагностической ветви. |
| 28 | Центрирующее кольцо KF с уплотнением Viton | KF10 | 50 шт | SS304 + Viton | Стандартный центрирующий элемент KF-соединения | Удерживает эластомерное уплотнение и центрирует пару фланцев при сборке. |
| 29 | Клапан вакуумный ручной ISO, L-образный | ISO100 | 1 шт | SS304 | Угловой ручной клапан для крупного ISO-порта | Используется на камерах и магистралях среднего и большого диаметра для ручного отсечения объема. |
| 30 | Клапан напуска воздуха KF | KF16; KF25; KF40 | по 10 шт каждого размера | SS304 | Клапан для контролируемого напуска воздуха или инертного газа | Применяется для развакуумирования системы без резкого потока, что снижает риск пылевого загрязнения. |
| 31 | Отвод вакуумный 90° ISO | ISO63; ISO100 | по 10 шт | SS304 | Колено 90 градусов для ISO-линии | Используется для изменения направления магистрали. При проектировании следует учитывать снижение проводимости относительно прямого участка. |
Краткие инженерные примечания
- KF-соединения относятся к быстросборным вакуумным фланцам. Уплотнение формируется эластомерным O-ring в центрирующем кольце, а стяжка выполняется хомутом.
- ISO-соединения большого диаметра используют центрирующее кольцо с O-ring и внешний фиксатор. Это удобно для камерных портов и трубопроводов больших диаметров.
- CF-соединения работают на металлической медной прокладке. Герметизация достигается врезанием ножевых кромок фланцев в медь, поэтому такие узлы подходят для HV и UHV.
- Сильфоны снижают передачу вибрации от насосов и компенсируют монтажные смещения, однако увеличивают стоимость и должны подбираться по допустимому изгибу и осевой нагрузке.
- Серия 2XZ является типовым исполнением двухступенчатых маслозаполненных пластинчато-роторных насосов. Такие насосы часто используют как форвакуумные.

Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» имени В. И. Ульянова и Лаборатория Ликлаб приглашают сотрудников предприятий принять участие в