Очистка и ремонт турбомолекулярного насоса Edwards EXT

Гелиевый течеискатель ТИ1-50 производства Завода "Измеритель" комплектуется турбомолекулярным насосом английской фирмы Edwards. Данный насос выполнен с высокой точностью, поддерживает работу с частотой до 90 000 об/мин. Действие турбомолекулярного насоса основано на сообщении молекулам откачиваемого газа дополнительной скорости в направлении откачки вращающимся ротором. Вакуум, который создает данная модель турбомолекулярного насоса, до 10^-5 Па.

Данный обзор посвящен ремонту турбомолекулярного насоса Edwards, замене поврежденного магнитного подшипника и очистке насоса от загрязнений, накопившихся в ходе работы. Обзор позволит изучить устройство ТМН.

1. Турбомолекулярный насос с поврежденным ротором и треснувшим прецезионным подшипником.

 

2. Картридж, содержащий смазку для керамичского гибридного подшипника.

3. Пористые прокладки насыщены маслом. Смазка поднимается вверх по конической шайбе благодаря центростремительной силе, обеспечевая непрерывное смазывание подшипника.

4. Гибридный керамический подшипник. Его дорожка качения заполнена маслом, которое, вероятно, растеклось из-за касания ротором резервуара со смазкой.

5. Сеператор подшипника также покрыт сгоревшим маслом.

6. Открываем крепление ротора насоса.

7. Выкручиваем ось. Она имеет правостороннюю резьбу.

 

8. Слева - алюминиевый корпус насоса. Справа - ротор, магнитный подшипник, статор.

 

9. Извлекаем магнитный подшипник.

 

 

10. Магнитный подшипник содержит 3 магнитных кольца. Извлекаем их с помощью ключа.