Безмасляная система для анализа технологического газа Ulvac Qulee RGM-202/RGM-302
ULVAC Qulee RGM-202 и RGM-302 — системы анализа технологического газа с квадрупольным масс-фильтром, закрытым источником ионов и дифференциальной откачкой. Они предназначены для наблюдения за газовыми процессами, включая травление и химическое осаждение из газовой фазы.
Анализ газов · ULVAC
Производство RGM-202/302 завершено в январе 2020 года. Характеристики сохранены для исходной системы; оборудование поколения RGM2 имеет собственную документацию. Статус производства ULVAC.
Технические характеристики
| Диапазон масс RGM-202 | 1–200 а.е.м. |
|---|---|
| Диапазон масс RGM-302 | 1–300 а.е.м. |
| Масс-фильтр | Квадрупольный |
| Детекторы | SEM / коллектор Фарадея |
| Чувствительность | 1 × 10⁻³ А/Па |
| Минимальное парциальное давление внутри анализаторной трубки | 1 × 10⁻¹⁰ Па |
| Источник ионов | Закрытый, с использованием магнитного поля |
| Нить накала | V-образная, иридий с покрытием Y₂O₃, 1 шт. |
| Энергия ионизации | 20–70 эВ |
| Ток эмиссии | 10 мкА |
| Диапазон усилителя постоянного тока | 10⁻⁵–10⁻¹² А |
| Максимальная температура прогрева | 120 °C |
| Клапан ввода газа | VPC-070, три режима проводимости |
| Максимальное давление отбора пробы | 13 кПа |
| Быстрота турбомолекулярного насоса по азоту | 67 л/с |
| Форвакуумный насос | DIS090 |
| Вакуумметр Пирани | SW1-1 |
| Ионизационный вакуумметр | GI-M2 |
| Масса откачной системы / контроллера | 57 / 38 кг |
| Питание по исходной спецификации | 100 В переменного тока, 15 А |
| Сухой азот для пневматики | 0,4–0,7 МПа; соединение под трубку Ø6 мм |
| Последовательные интерфейсы | RS232C / RS485 |
| Аналоговые входы | 2 × 0–10 В |
| Дискретные выходы | 2 уставки: неисправность и сигнализация |
| Внешняя блокировка | Предусмотрена |
| Длина кабеля датчика | 5 м |
Применение и эксплуатация
Система понижает давление от точки отбора до анализаторной трубки. Максимальные 13 кПа относятся к отбору пробы, а 1 × 10⁻¹⁰ Па — к минимальному парциальному давлению внутри анализатора. Эти числа нельзя читать как границы одного диапазона измерения полного давления.
Закрытый источник ионов и короткий путь от технологической камеры предназначены для наблюдения за изменениями состава газа. При настройке необходимо учитывать фрагментацию молекул, фон и режим ввода пробы.
В исходной спецификации указано питание 100 В, 15 А. Исполнение электропитания установленной системы необходимо сверять с шильдиком; подключение к сети 220 В из этой таблицы не следует. Система включает турбомолекулярную ступень и сухой форвакуумный насос DIS090.
Документация производителя
ULVAC Qulee RGM: исходный каталог, PDF — таблица характеристик на странице 2.
Связанные разделы
- Оборудование для анализа газов
- ULVAC Qulee CGM-051 / CGM-052
- ULVAC Qulee HGM-202 / HGM-302
- Принадлежности ULVAC Qulee
Технические вопросы: lab@techeiscatel.ru, +7 (812) 715-00-17.
Связанное оборудование
Другие варианты того же типа. Диапазон, присоединение и условия применения проверяйте по характеристикам каждой модели.
ULVAC Qulee BGM-101/102/201/202 — анализаторы остаточных газов
ULVAC Qulee BGM исходного поколения — квадрупольные анализаторы для вакуумных печей, установок напыления и исследования остаточных газов. Модели различаются диапазоном масс и наличием электронного умножителя.
Диапазон масс BGM-101/102: 1–100 а.е.м.
Диапазон масс BGM-201/202: 1–200 а.е.м.
Масс-фильтр: Квадрупольный
Высокочувствительный квадрупольный масс-анализатор Ulvac Qulee HGM
ULVAC Qulee HGM-202 и HGM-302 — квадрупольные анализаторы для исследований остаточных газов и контроля газовой среды в высоком вакууме. Обе модели используют коллектор Фарадея и вторично-электронный умножитель; диапазон масс и чувствительность FC зависят от исполнения.
Диапазон масс HGM-202: 1–200 а.е.м.
Диапазон масс HGM-302: 1–300 а.е.м.
Масс-фильтр: Квадрупольный
Компактный квадрупольный масс-спектрометр Ulvac Qulee СGM
ULVAC Qulee CGM-051 и CGM-052 — квадрупольные анализаторы остаточных газов с диапазоном масс 1–50 а.е.м. Они применяются для контроля состава газовой среды при распылении, остаточной влаги и признаков натекания воздуха в вакуумную установку.
Диапазон масс: 1–50 а.е.м., обе модели
Масс-фильтр: Квадрупольный
Детектор CGM-051: Коллектор Фарадея (FC)