Компактный квадрупольный масс-спектрометр Ulvac Qulee СGM
ULVAC Qulee CGM-051 и CGM-052 — квадрупольные анализаторы остаточных газов с диапазоном масс 1–50 а.е.м. Они применяются для контроля состава газовой среды при распылении, остаточной влаги и признаков натекания воздуха в вакуумную установку.
Анализ газов · ULVAC
Производство CGM-051/052 завершено в январе 2020 года. Эта страница сохраняет характеристики исходной серии для идентификации и эксплуатации установленного оборудования. Параметры поколения CGM2 следует проверять отдельно. Статус производства ULVAC.
Технические характеристики
| Диапазон масс | 1–50 а.е.м., обе модели |
|---|---|
| Масс-фильтр | Квадрупольный |
| Детектор CGM-051 | Коллектор Фарадея (FC) |
| Детекторы CGM-052 | Вторично-электронный умножитель (SEM) и FC |
| Чувствительность CGM-051 | 1 × 10⁻⁷ А/Па, FC |
| Чувствительность CGM-052 | 1 × 10⁻⁴ А/Па, SEM |
| Минимальное парциальное давление CGM-051 | 1 × 10⁻⁷ Па |
| Минимальное парциальное давление CGM-052 | 1 × 10⁻¹⁰ Па, SEM |
| Максимальное рабочее давление | 2 Па в режиме FC; 1 × 10⁻² Па в режиме SEM |
| Область линейности по давлению | До 1 Па |
| Нить накала | Иридий с покрытием Y₂O₃ |
| Энергия ионизации | 40 эВ |
| Ток эмиссии | 0,1 или 0,4 мА |
| Дегазация | Электронная бомбардировка: 300 В, 5 мА |
| Питание | 24 В постоянного тока, ±10%; 50 Вт |
| Прогрев датчика с электроникой | До 120 °C |
| Прогрев со снятым электронным блоком | До 250 °C |
| Температура окружающей среды | 10–40 °C |
| Относительная влажность | 15–80%, без конденсации |
| Степень защиты электронного блока | IP30 |
| Интерфейс исходной серии | RS232C / RS485, принадлежности выбираются отдельно |
Применение и эксплуатация
Для контроля при давлении до 1 Па серия может работать без отдельной дифференциальной откачки. Это область применения и линейности, а не единый предел работы каждого детектора: для SEM допустимое давление значительно ниже.
CGM-051 и CGM-052 различаются детекторами и минимальным регистрируемым парциальным давлением. Значение парциального давления характеризует отдельный компонент смеси и не заменяет показание полного давления в камере.
Прогрев до 250 °C выполняется со снятым электронным блоком. Указание старого описания о снятии чувствительного элемента исправлено по каталогу ULVAC. Перед прогревом и обслуживанием необходимо соблюдать руководство конкретного прибора.
Документация производителя
ULVAC Qulee CGM: исходный каталог, PDF — таблица характеристик на странице 2.
Связанные разделы
- ULVAC Qulee CGM2-101 — отдельная модель поколения CGM2, 1–100 а.е.м., Ethernet.
- Оборудование для анализа газов
- ULVAC Qulee HGM-202 / HGM-302
- ULVAC Qulee RGM-202 / RGM-302
- Принадлежности ULVAC Qulee
Технические вопросы: lab@techeiscatel.ru, +7 (812) 715-00-17.
Связанное оборудование
Другие варианты того же типа. Диапазон, присоединение и условия применения проверяйте по характеристикам каждой модели.
ULVAC Qulee BGM-101/102/201/202 — анализаторы остаточных газов
ULVAC Qulee BGM исходного поколения — квадрупольные анализаторы для вакуумных печей, установок напыления и исследования остаточных газов. Модели различаются диапазоном масс и наличием электронного умножителя.
Диапазон масс BGM-101/102: 1–100 а.е.м.
Диапазон масс BGM-201/202: 1–200 а.е.м.
Масс-фильтр: Квадрупольный
Безмасляная система для анализа технологического газа Ulvac Qulee RGM-202/RGM-302
ULVAC Qulee RGM-202 и RGM-302 — системы анализа технологического газа с квадрупольным масс-фильтром, закрытым источником ионов и дифференциальной откачкой. Они предназначены для наблюдения за газовыми процессами, включая травление и химическое осаждение из газовой фазы.
Диапазон масс RGM-202: 1–200 а.е.м.
Диапазон масс RGM-302: 1–300 а.е.м.
Масс-фильтр: Квадрупольный
Высокочувствительный квадрупольный масс-анализатор Ulvac Qulee HGM
ULVAC Qulee HGM-202 и HGM-302 — квадрупольные анализаторы для исследований остаточных газов и контроля газовой среды в высоком вакууме. Обе модели используют коллектор Фарадея и вторично-электронный умножитель; диапазон масс и чувствительность FC зависят от исполнения.
Диапазон масс HGM-202: 1–200 а.е.м.
Диапазон масс HGM-302: 1–300 а.е.м.
Масс-фильтр: Квадрупольный