Высокочувствительный квадрупольный масс-анализатор Ulvac Qulee HGM
ULVAC Qulee HGM-202 и HGM-302 — квадрупольные анализаторы для исследований остаточных газов и контроля газовой среды в высоком вакууме. Обе модели используют коллектор Фарадея и вторично-электронный умножитель; диапазон масс и чувствительность FC зависят от исполнения.
Анализ газов · ULVAC
Производство HGM-202/302 завершено в декабре 2018 года. Страница относится к исходному поколению HGM; характеристики HGM2 не переносятся на него автоматически. Статус производства ULVAC.
Технические характеристики
| Диапазон масс HGM-202 | 1–200 а.е.м. |
|---|---|
| Диапазон масс HGM-302 | 1–300 а.е.м. |
| Масс-фильтр | Квадрупольный |
| Детекторы | Коллектор Фарадея (FC) и вторично-электронный умножитель (SEM) |
| Чувствительность FC, HGM-202 | 2,5 × 10⁻⁶ А/Па |
| Чувствительность FC, HGM-302 | 2,0 × 10⁻⁶ А/Па |
| Чувствительность SEM | 4 А/Па |
| Минимальное парциальное давление, FC | Около 1 × 10⁻⁹ Па |
| Минимальное парциальное давление, SEM | Около 1 × 10⁻¹³ Па |
| Максимальное рабочее давление | 1 × 10⁻² Па |
| Нити накала | Иридий с покрытием Y₂O₃, 2 шт. |
| Энергия ионизации | 25–70 эВ; стандартная настройка 50 эВ |
| Ток эмиссии | 0,1 / 0,5 / 1 мА; стандартная настройка 0,5 мА |
| Дегазация | Электронная бомбардировка: 330 В, 5 мА |
| Напряжение SEM | От −1 до −3 кВ, шаг 1 В |
| Питание | 24 В постоянного тока, ±10%; 50 Вт |
| Масса электронного блока / датчика | 2,4 / 0,81 кг |
| Прогрев датчика с электроникой | До 250 °C |
| Прогрев со снятым электронным блоком | До 300 °C |
| Температура окружающей среды | 10–40 °C |
| Относительная влажность | 15–80%, без конденсации |
| Степень защиты электронного блока | IP30 |
| Интерфейс исходной серии | RS232C / RS485, принадлежности выбираются отдельно |
Применение и эксплуатация
HGM-202 охватывает массы до 200 а.е.м., HGM-302 — до 300 а.е.м. Чувствительность коллектора Фарадея составляет соответственно 2,5 × 10⁻⁶ и 2,0 × 10⁻⁶ А/Па. В прежнем тексте страницы эти исполнения ошибочно имели одинаковое значение.
SEM используют при измерении малых ионных токов. Минимальное парциальное давление и чувствительность — разные характеристики; при выборе режима учитывают давление, состояние источника ионов и требования к измерению.
Конструкция предусматривает обслуживание нитей накала, источника ионов и умножителя. Работы выполняют по руководству и с проверкой совместимости деталей с конкретной модификацией.
Документация производителя
ULVAC Qulee HGM: исходный каталог, PDF — таблица характеристик на странице 2.
Связанные разделы
- Оборудование для анализа газов
- ULVAC Qulee CGM-051 / CGM-052
- ULVAC Qulee RGM-202 / RGM-302
- Принадлежности ULVAC Qulee
Технические вопросы: lab@techeiscatel.ru, +7 (812) 715-00-17.
Связанное оборудование
Другие варианты того же типа. Диапазон, присоединение и условия применения проверяйте по характеристикам каждой модели.
ULVAC Qulee BGM-101/102/201/202 — анализаторы остаточных газов
ULVAC Qulee BGM исходного поколения — квадрупольные анализаторы для вакуумных печей, установок напыления и исследования остаточных газов. Модели различаются диапазоном масс и наличием электронного умножителя.
Диапазон масс BGM-101/102: 1–100 а.е.м.
Диапазон масс BGM-201/202: 1–200 а.е.м.
Масс-фильтр: Квадрупольный
Безмасляная система для анализа технологического газа Ulvac Qulee RGM-202/RGM-302
ULVAC Qulee RGM-202 и RGM-302 — системы анализа технологического газа с квадрупольным масс-фильтром, закрытым источником ионов и дифференциальной откачкой. Они предназначены для наблюдения за газовыми процессами, включая травление и химическое осаждение из газовой фазы.
Диапазон масс RGM-202: 1–200 а.е.м.
Диапазон масс RGM-302: 1–300 а.е.м.
Масс-фильтр: Квадрупольный
Компактный квадрупольный масс-спектрометр Ulvac Qulee СGM
ULVAC Qulee CGM-051 и CGM-052 — квадрупольные анализаторы остаточных газов с диапазоном масс 1–50 а.е.м. Они применяются для контроля состава газовой среды при распылении, остаточной влаги и признаков натекания воздуха в вакуумную установку.
Диапазон масс: 1–50 а.е.м., обе модели
Масс-фильтр: Квадрупольный
Детектор CGM-051: Коллектор Фарадея (FC)