ULVAC Qulee BGM исходного поколения — квадрупольные анализаторы для вакуумных печей, установок напыления и исследования остаточных газов. Модели различаются диапазоном масс и наличием электронного умножителя.
Анализ газов · ULVAC
ULVAC завершил производство и продажи BGM-101/102/201/202 28 декабря 2018 года. Страница сохраняет характеристики исходной серии для идентификации и эксплуатации; это не BGM2.
Технические характеристики
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Диапазон масс BGM-101/102 | 1–100 а.е.м. |
| Диапазон масс BGM-201/202 | 1–200 а.е.м. |
| Масс-фильтр | Квадрупольный |
| Разрешение | M/ΔM = 1M по записи ULVAC, при 10% высоты пика |
| Детектор BGM-101/201 | Коллектор Фарадея (FC) |
| Детекторы BGM-102/202 | Электронный умножитель (SEM) и FC |
| Чувствительность BGM-101/201 | 1 × 10⁻⁷ А/Па, FC |
| Чувствительность BGM-102/202 | 4 А/Па, SEM |
| Минимальное парциальное давление BGM-101/201 | 1 × 10⁻⁸ Па |
| Минимальное парциальное давление BGM-102/202 | 1 × 10⁻¹² Па, SEM |
| Максимальное рабочее давление | 1 × 10⁻² Па |
| Нити накала | Иридий с покрытием Y₂O₃, 2 шт. |
| Энергия ионизации | 50 эВ |
| Ток эмиссии | 0,5 мА |
| Дегазация | Электронная бомбардировка: 300 В, 5 мА |
| Измерение полного давления | Предусмотрено |
| Питание | 24 В DC, ±10%; 50 Вт; сетевой адаптер отдельно |
| Масса BGM-101/201: электроника / датчик | 2,1 / 0,50 кг |
| Масса BGM-102/202: электроника / датчик | 2,2 / 0,64 кг |
| Прогрев с электронным блоком | До 120 °C |
| Прогрев со снятым электронным блоком | До 250 °C |
| Рабочая температура окружающей среды | 10–40 °C |
| Относительная влажность | 15–80%, без конденсации |
| Степень защиты электроники | IP30 |
| Интерфейсы | RS232C / RS485, принадлежности отдельно |
| Разъём последовательной связи | RJ-11, 6 контактов |
| Внешний ввод/вывод | D-sub 15, винты M2.6 |
| Аналоговые входы | 2 × 0–10 В |
| Вход блокировки по давлению | 1 |
| Выходы уставок | 2 по парциальному давлению; 1 по полному |
| ПО в каталоге данной редакции | Qulee QCS 3.1 или позднее в рамках совместимого поколения; Windows 7/8 |
| Кабель связи в стандартном комплекте | 3 м |
Устройство, исполнение и условия применения
Числа 101/102 относятся к диапазону 1–100 а.е.м., 201/202 — к диапазону 1–200 а.е.м. Исполнения с окончанием 02 имеют SEM и FC; характеристики двух детекторов не объединяются в одну универсальную чувствительность.
В таблице изготовителя для максимального давления верно приведено 1 × 10⁻² Па и 1 × 10⁻⁴ мбар, но пересчёт в Торр напечатан с ошибкой. Здесь использовано исходное значение СИ без повторения неверного пересчёта.
Прогрев до 250 °C проводят со снятым электронным блоком. Чувствительный элемент остаётся установленным; электронный блок снимают перед высокотемпературным прогревом согласно руководству изготовителя.
При прямом подключении давление камеры должно отвечать пределу анализатора. Для отбора пробы при более высоком давлении применяют согласованную систему дифференциальной откачки; её диапазон не является собственным диапазоном датчика.
Принадлежности BGM-IS01, кабели, адаптеры и нагревательные кожухи выбираются по конкретной модели. Настройки QCS и последовательные интерфейсы старой серии нельзя автоматически заменить требованиями Ethernet поколения BGM2.
Документация и источники
Проверено 9 сентября 2026 года. Различия редакций, исполнений и условия измерений приведены в описании.
Связанное оборудование и материалы
- Программное обеспечение QCS для масс-спектрометров Ulvac Qulee
- Квадрупольный масс-спектрометр Ulvac Qulee с высоковакуумной системой Ulvac YTP
- Высокочувствительный квадрупольный масс-анализатор Ulvac Qulee HGM
- Компактный квадрупольный масс-спектрометр Ulvac Qulee СGM
- Аксессуары для квадрупольных масс-спектрометров Ulvac Qulee
- Квадрупольный анализатор остаточных газов ULVAC Qulee CGM2-101
- Течеискатели и насосы ULVAC
Технический каталог оборудования
