CBVAC JFB-63/81M. Быстрота откачки: N₂ - 85 л/с; He - 55 л/с; Предельное давление: ≤ 8×10⁻⁶ Па (LF); ≤ 8×10⁻⁷ Па (CF); Степень сжатия: N₂ - 3×10⁹; He - 3×10⁶
Вакуумные насосы
CBVAC JFB-63/81M. Раздел: Турбомолекулярные насосы JFB.
Технические характеристики
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Быстрота откачки | N₂ - 85 л/с; He - 55 л/с |
| Предельное давление | ≤ 8×10⁻⁶ Па (LF); ≤ 8×10⁻⁷ Па (CF) |
| Степень сжатия | N₂ - 3×10⁹; He - 3×10⁶ |
| Максимальное непрерывное входное давление | N₂ - 3 Па; He - 5 Па |
| Максимальное непрерывное выпускное давление | 1200 Па |
| Критическое выпускное давление | 1800 Па |
| Входной фланец | DN63 ISO-K (LF) или CF |
| Форвакуумный фланец | DN16 ISO-KF |
| Рекомендуемая быстрота форвакуумного насоса | 0,5-2 л/с |
| Масса | 2,9 кг (LF); 3,9 кг (CF) |
| Подшипники | Магнитная левитация и прецизионные керамические подшипники |
| Монтажная ориентация | Произвольная |
| Шум | ≤ 50 дБ при штатном воздушном охлаждении |
| Номинальная частота вращения | 84 000 об/мин |
| Интерфейс управления | RS485 и дискретные входы/выходы |
Подбор и комплектация
При выборе JFB-63/81M учитывают газовую нагрузку, давление в камере и проводимость магистрали. Быстрота откачки относится к условиям, указанным в таблице; рабочая быстрота у изделия может быть ниже. Питание, охлаждение и комплект присоединений согласуют для выбранного исполнения.
Документация и происхождение данных
Источники: Каталог Ликлаб 2026, стр. 250 · Исходная техническая карточка 1. Данные относятся к указанному исполнению и условиям измерения.