CBVAC JFB-63/81M

CBVAC JFB-63/81M. Быстрота откачки: N₂ - 85 л/с; He - 55 л/с; Предельное давление: ≤ 8×10⁻⁶ Па (LF); ≤ 8×10⁻⁷ Па (CF); Степень сжатия: N₂ - 3×10⁹; He - 3×10⁶

Содержание карточки

Вакуумные насосы · CBVAC

CBVAC JFB-63/81M. Раздел: Турбомолекулярные насосы JFB.

Изображение из технической карточки: CBVAC JFB-63/81M
Изображение из технической карточки: CBVAC JFB-63/81M. Источник изображения

Технические характеристики

ПараметрЗначение
Быстрота откачкиN₂ - 85 л/с; He - 55 л/с
Предельное давление≤ 8×10⁻⁶ Па (LF); ≤ 8×10⁻⁷ Па (CF)
Степень сжатияN₂ - 3×10⁹; He - 3×10⁶
Максимальное непрерывное входное давлениеN₂ - 3 Па; He - 5 Па
Максимальное непрерывное выпускное давление1200 Па
Критическое выпускное давление1800 Па
Входной фланецDN63 ISO-K (LF) или CF
Форвакуумный фланецDN16 ISO-KF
Рекомендуемая быстрота форвакуумного насоса0,5-2 л/с
Масса2,9 кг (LF); 3,9 кг (CF)
ПодшипникиМагнитная левитация и прецизионные керамические подшипники
Монтажная ориентацияПроизвольная
Шум≤ 50 дБ при штатном воздушном охлаждении
Номинальная частота вращения84 000 об/мин
Интерфейс управленияRS485 и дискретные входы/выходы

Подбор и комплектация

При выборе JFB-63/81M учитывают газовую нагрузку, давление в камере и проводимость магистрали. Быстрота откачки относится к условиям, указанным в таблице; рабочая быстрота у изделия может быть ниже. Питание, охлаждение и комплект присоединений согласуют для выбранного исполнения.

Документация и происхождение данных

Источники: Каталог Ликлаб 2026, стр. 250 · Исходная техническая карточка 1. Данные относятся к указанному исполнению и условиям измерения.

← Подбор оборудования в техническом каталоге

Учебная анимация · 48 секунд

Быстрота откачки и проводимость линии

Учебная анимация показывает, почему быстрота откачки у камеры отличается от значения на входе насоса. Формула связывает насос и проводимость соединительной линии. Наглядно сравниваются короткий широкий тракт и длинный узкий. Объясняется влияние арматуры, режима течения и свойств газа. Схемы качественные: они не являются расчётом или испытанием конкретной насосной системы.

Схема объясняет принцип работы. Конструкция и характеристики конкретного изделия приведены в таблицах этой страницы. Ролик без звука; пояснения даны на русском языке.

Открыть или скачать MP4

Текстовое пояснение к ролику

Насос и камера работают через линию Трубопровод, клапаны и другие элементы ограничивают перенос газа. У камеры действует эффективная быстрота откачки.

Проводимость входит в расчёт откачки Для установившегося потока: 1/Sэфф = 1/Sнас + 1/C. Все три величины выражают в согласованных единицах объёмного расхода.

Короткий широкий тракт проводит газ лучше При одинаковом газе и режиме течения увеличение прохода и сокращение длины повышают проводимость соединительной линии.

Узкая длинная линия ограничивает насос Насос с высокой быстротой откачки не устраняет сопротивление тракта. Эффективная быстрота откачки ограничена проводимостью линии.

Арматуру учитывают вместе с трубопроводом Для последовательных элементов складывают обратные проводимости. Клапан, фильтр и переходник входят в общий расчёт.

Подбирают весь вакуумный тракт Учитывают газ, давление и режим течения. Короткая линия и достаточное проходное сечение помогают реализовать возможности насоса.

Исполнения JFB-63/81M и JFB-63/81MJ

Руководство показывает несколько конструктивных вариантов с общим обозначением JFB-63/81M(J). Суффикс в названии следует сохранять при подборе: таблица для JFB-63/81MJ отдельно описывает входы A, B и C с собственными параметрами. Эти значения нельзя заменять характеристиками одного входа JFB-63/81M.

Иллюстрация помогает сопоставить форму входной части и расположение контроллера с имеющейся установкой. Для согласования конкретного исполнения нужны маркировка насоса, схема подключения к камере и данные форвакуумной ступени. Наличие нескольких вариантов в руководстве не означает их взаимозаменяемость без проверки.

Варианты JFB-63/81M(J), показанные производителем; точное исполнение определяется полным кодом насоса.
Варианты JFB-63/81M(J), показанные производителем; точное исполнение определяется полным кодом насоса.

Источник: Manual-JFB Pump CBVAC.pdf — PDF, с. 7. Открыть иллюстрацию крупнее.

Турбомолекулярные насосы JFB: сравнение и интеграция

JFB-63/81M выбирают по быстроте для рабочего газа и допустимому выпускному давлению. Значения критического и максимального непрерывного выпускного давления имеют разное назначение: критическое значение не используют как обычную рабочую уставку.

При замене насоса проверяют вход LF/CF, выпускной фланец, контроллер, охлаждение и монтаж. Паспортное предельное давление насоса не равно гарантированному давлению в подключённой камере.

Технические источники CBVAC: Руководство JFB — PDF, с. 10 · Руководство JFB — PDF, с. 12 · Руководство JFB — PDF, с. 14.

Сравнение серии, графики и условия применения

Оборудование и связанные материалы

CBVAC JFB-100/251 · CBVAC JFB-100/301 · CBVAC JFB-160/401 · Турбомолекулярный насос CBVAC JFB-160/450D · Турбомолекулярный насос CBVAC JFB-160/700 · CBVAC JFB-160/701 · Турбомолекулярный насос CBVAC JFB-200/1400 · CBVAC JFB-200/1401 · Турбомолекулярный насос CBVAC JFB-250/2200 · CBVAC JFB-250/2201 · CBVAC JFB-400/4201 · CBVAC JFB-63/81 · CBVAC JFB-63/81MJ

Все вакуумные насосы · Вакуумметры и датчики · lab@techeiscatel.ru

Написать по email

Выбранное оборудование