Турбомолекулярный насос KYKY CXF-200/1400 на магнитном подвесе

KYKY CXF-200/1400 — насос на магнитном подвесе, 1400 л/с по N₂. Фото, характеристики по газам, охлаждение и данные для включения в вакуумную систему.

Содержание карточки

Вакуумные насосы

Заводская иллюстрация семейства KYKY CXF-1400/2300: производитель использует один снимок на обеих страницах. Точное исполнение сверяют по чертежу.
Заводская иллюстрация семейства KYKY CXF-1400/2300: производитель использует один снимок на обеих страницах. Точное исполнение сверяют по чертежу.

Технические характеристики

ПараметрЗначение
МодельCXF-200/1400
Принцип и исполнениеТурбомолекулярный, активный магнитный подвес
Входной фланецDN200 CF / DN200 ISO-K / DN200 ISO-F
Форвакуумный выходDN40 ISO-KF
Быстрота действия, N₂1400 л/с
Быстрота действия, Ar1360 л/с
Быстрота действия, He880 л/с
Быстрота действия, H₂560 л/с
Степень сжатия, N₂10⁸
Степень сжатия, Ar10⁸
Степень сжатия, He10⁴
Степень сжатия, H₂10³
Предельное давление — CF1×10⁻⁶ Па
Предельное давление — ISO-K/F6×10⁻⁶ Па
Форвакуум — максимальное давление непрерывной работы100 Па
Форвакуум — максимальное давление по N₂210 Па
Газовый поток по таблице, N₂2700 sccm
Газовый поток по таблице, Ar980 sccm
Газовый поток по таблице, He2000 sccm
Газовый поток по таблице, H₂1800 sccm
Частота вращения ротора30000 об/мин
Выход на режим по таблице≤8 мин
ОхлаждениеВодяное
Расход охлаждающей воды1 л/мин
Температура охлаждающей воды20 °C; табличная точка, допуск не задан
Питание по таблицеAC 220 В через соответствующий контроллер; допуск и частота не указаны
Контроллер по таблицеCXF-1400, внешний электронный блок
Масса по веб-таблице50 кг — ISO-K/F; 52 кг — CF
Архивное руководство — обозначенияВ заголовке CXF-200/1400; в колонке CXF-200/1400E. Заводские обозначения приведены раздельно
Архивное руководство — быстрота и газ1400 л/с по воздуху, а не отдельная газовая таблица
Архивное руководство — предельное давлениеISO-K: ≤8×10⁻⁶ Па; CF: ≤8×10⁻⁷ Па
Архивное руководство — запуск и масса11 мин; 47 кг

Устройство, исполнение и условия применения

CXF-200/1400 использует активный магнитный подвес ротора. Электронная система управления регулирует положение вала; внешний контроллер является отдельной частью насосного комплекта. Источник описывает пятиосевое управление, защитные подшипники и водяное охлаждение.

В таблице раздельно указаны быстрота действия, степень сжатия и газовый поток для N₂, Ar, He, H₂. Для каталожного фильтра быстрота по азоту 1400 л/с пересчитана в 5040 м³/ч. Газовый поток в sccm имеет другие условия приведения и не подменяет быстроту откачки насоса.

Для непрерывной работы заводская веб-таблица ограничивает давление форвакуума величиной 100 Па. Отдельная строка максимального форвакуума по N₂ содержит 210 Па. При выборе форвакуумной ступени учитывают рабочую газовую нагрузку и проводимость линии; максимальную строку не принимают за постоянный рабочий режим.

Охлаждение и питание задаются для согласованного комплекта насоса и контроллера. Для расхода воды 1 л/мин в таблице указана температура 20 °C без допуска; это не автоматически диапазон 20±5 °C и не максимально разрешённая температура.

Предельное давление относится к условиям указанного источника. Достижимое давление в камере зависит от её герметичности, газовыделения, подготовки и проводимости соединений. Разные фланцевые варианты и редакции таблиц сохраняются раздельно; они не сведены к одному лучшему значению в фильтре давления.

Основная таблица выше воспроизводит экспортную страницу KYKY, в описании которой использовано CXF-200/1400, а в поле PRODUCT MODEL — CXF-200/1400E. Архивный заводской разворот тоже сочетает название без E в заголовке и E в таблице. Прежнее обозначение страницы сохранено; взаимозаменяемость конкретных поставок разных лет из этого не следует.

Архивная редакция отличается по газу измерения, предельному давлению и массе. Её значения вынесены в отдельные строки и не смешаны с основной веб-таблицей. На скане единица VIB обозначена как µm, а в более поздних веб-таблицах встречается mm: значение вибрации из старого разворота не перенесено в паспортную характеристику без методики и уточнения единиц. Дату создания PDF нельзя принимать за дату выпуска насоса.

Документация и источники

Проверено 10 сентября 2026 года. Различия редакций, исполнений и условия измерений приведены в описании.

Связанное оборудование и материалы

Технический каталог оборудования

Контакты лаборатории

Ранее опубликованные материалы

Учебная анимация · 48 секунд

Быстрота откачки и проводимость линии

Учебная анимация показывает, почему быстрота откачки у камеры отличается от значения на входе насоса. Формула связывает насос и проводимость соединительной линии. Наглядно сравниваются короткий широкий тракт и длинный узкий. Объясняется влияние арматуры, режима течения и свойств газа. Схемы качественные: они не являются расчётом или испытанием конкретной насосной системы.

Схема объясняет принцип работы. Конструкция и характеристики конкретного изделия приведены в таблицах этой страницы. Ролик без звука; пояснения даны на русском языке.

Открыть или скачать MP4

Текстовое пояснение к ролику

Насос и камера работают через линию Трубопровод, клапаны и другие элементы ограничивают перенос газа. У камеры действует эффективная быстрота откачки.

Проводимость входит в расчёт откачки Для установившегося потока: 1/Sэфф = 1/Sнас + 1/C. Все три величины выражают в согласованных единицах объёмного расхода.

Короткий широкий тракт проводит газ лучше При одинаковом газе и режиме течения увеличение прохода и сокращение длины повышают проводимость соединительной линии.

Узкая длинная линия ограничивает насос Насос с высокой быстротой откачки не устраняет сопротивление тракта. Эффективная быстрота откачки ограничена проводимостью линии.

Арматуру учитывают вместе с трубопроводом Для последовательных элементов складывают обратные проводимости. Клапан, фильтр и переходник входят в общий расчёт.

Подбирают весь вакуумный тракт Учитывают газ, давление и режим течения. Короткая линия и достаточное проходное сечение помогают реализовать возможности насоса.

Написать по email

Выбранное оборудование