lab@techeiscatel.ru

+7 (812) 715-00-17

Турбомолекулярный насос KYKY CXF-320/3000E на магнитном подвесе

Содержание материала

KYKY CXF-320/3000E — насос на магнитном подвесе, 3000 л/с по N₂. Фото, характеристики по газам, охлаждение и данные для включения в вакуумную систему.

Вакуумные насосы

KYKY CXF-320/3000E — оригинальная иллюстрация с заводской страницы. Показанное оснащение уточняют по спецификации комплекта.
KYKY CXF-320/3000E — оригинальная иллюстрация с заводской страницы. Показанное оснащение уточняют по спецификации комплекта.

Технические характеристики

ПараметрЗначение
МодельCXF-320/3000E
Принцип и исполнениеТурбомолекулярный, активный магнитный подвес
Входной фланецISO-F; размер требует чертежа: строка DN250 расходится с обозначением CXF-320/3000E
Форвакуумный выходDN50 ISO-KF
Быстрота действия, N₂3000 л/с
Быстрота действия, Ar2750 л/с
Быстрота действия, He2300 л/с
Быстрота действия, H₂1100 л/с
Степень сжатия, N₂10⁸
Степень сжатия, Ar10⁸
Степень сжатия, He10⁴
Степень сжатия, H₂10³
Предельное давление — CF1×10⁻⁶ Па; строка общей таблицы, наличие такого фланца для 3000E не подтверждено
Предельное давление — ISO-K/F6×10⁻⁶ Па; строка общей таблицы, наличие такого фланца для 3000E не подтверждено
Форвакуум — максимальное давление непрерывной работы40 Па
Форвакуум — максимальное давление по N₂290 Па
Газовый поток по таблице, N₂5800 sccm
Газовый поток по таблице, Ar2200 sccm
Газовый поток по таблице, He4300 sccm
Газовый поток по таблице, H₂3100 sccm
Частота вращения ротора21000 об/мин
Выход на режим по таблице≤18 мин
ОхлаждениеВодяное
Расход охлаждающей воды1 л/мин
Температура охлаждающей воды20 °C; табличная точка, допуск не задан
Питание по таблицеAC 220 В через соответствующий контроллер; допуск и частота не указаны
Контроллер по таблицеCXF-3000, внешний электронный блок
Масса по веб-таблице70 кг; состав учтённого комплекта в таблице не раскрыт

Устройство, исполнение и условия применения

CXF-320/3000E использует активный магнитный подвес ротора. Электронная система управления регулирует положение вала; внешний контроллер является отдельной частью насосного комплекта. Источник описывает пятиосевое управление, защитные подшипники и водяное охлаждение.

В таблице раздельно указаны быстрота действия, степень сжатия и газовый поток для N₂, Ar, He, H₂. Для каталожного фильтра быстрота по азоту 3000 л/с пересчитана в 10800 м³/ч. Газовый поток в sccm имеет другие условия приведения и не подменяет быстроту откачки насоса.

Для непрерывной работы заводская веб-таблица ограничивает давление форвакуума величиной 40 Па. Отдельная строка максимального форвакуума по N₂ содержит 290 Па. При выборе форвакуумной ступени учитывают рабочую газовую нагрузку и проводимость линии; максимальную строку не принимают за постоянный рабочий режим.

Охлаждение и питание задаются для согласованного комплекта насоса и контроллера. Для расхода воды 1 л/мин в таблице указана температура 20 °C без допуска; это не автоматически диапазон 20±5 °C и не максимально разрешённая температура.

Предельное давление относится к условиям указанного источника. Достижимое давление в камере зависит от её герметичности, газовыделения, подготовки и проводимости соединений. Разные фланцевые варианты и редакции таблиц сохраняются раздельно; они не сведены к одному лучшему значению в фильтре давления.

На странице CXF-320/3000E вход записан как DN250 ISO-F, а общие строки предельного давления включают CF и ISO-K/F. Это внутренняя неоднозначность источника. До выбора переходника необходим чертёж: размер входа и наличие CF-исполнения не объявлены подтверждёнными; в фильтре оставлен только выход DN50 ISO-KF.

Документация и источники

Проверено 10 сентября 2026 года. Различия редакций, исполнений и условия измерений приведены в описании.

Связанное оборудование и материалы

Технический каталог оборудования

Контакты лаборатории

Ранее опубликованные материалы
Написать по email

Выбранное оборудование