Турбомолекулярная откачка FF и CXF

Вакуумные насосы

От небольших аналитических объёмов до технологических камер с большой газовой нагрузкой.

Значения разных исполнений CXF не следует округлять до чисел в обозначении модели: например, CXF-200/1401 указан в каталоге с быстротой 1280 л/с. В проекте сохраняют точную пару «модель — характеристика».

Выбор и включение в систему

Подбираются контроллер, кабели, форвакуумный насос, охлаждение, клапан напуска и допустимая ориентация. Для He и H₂ проверяют соответствующие откачные кривые и сжатие. Монтаж насоса должен учитывать нагрузки на фланец и предусмотренные изготовителем защитные требования.

Для обслуживания турбонасоса нужны модель и S/N самого насоса и контроллера. Неисправность внешней откачки часто проявляется как ошибка высоковакуумной ступени.

KYKY FF и CXF: выбор турбомолекулярного насоса

Общий фланец разные характеристики

В одной размерной группе встречаются насосы с разной быстротой, газовой нагрузкой и компрессией. Сравнивают полное обозначение, в том числе суффиксы. Высокая быстрота по азоту не описывает автоматически откачку водорода и гелия.

Комплектация узла

Насос согласуют с контроллером, соединительным кабелем, охлаждением, форнасосом и напускным клапаном. Вакуумное крепление должно соответствовать требованиям изготовителя к аварийному моменту. Подвешивать насос на гибком шланге или неподтверждённом переходнике нельзя.

Сервисные признаки

Отслеживают время разгона, мощность, температуру и вибрацию. При аварийной остановке сначала выясняют состояние форлинии, охлаждения и газовой нагрузки. Замена контроллера или кабеля требует подтверждения совместимости с мотором и версией электроники.