Турбомолекулярный насос KYKY FF-63/80E

KYKY FF-63/80E — турбомолекулярный насос, 62 л/с по азоту. Заводская фотография, русское описание, характеристики по газам, охлаждение и контроллер.

Содержание карточки

Вакуумные насосы

KYKY FF-63/80E — оригинальная иллюстрация с заводской страницы модели. Показано одно из исполнений; комплектность определяется спецификацией.
KYKY FF-63/80E — оригинальная иллюстрация с заводской страницы модели. Показано одно из исполнений; комплектность определяется спецификацией.

Технические характеристики

ПараметрЗначение
МодельFF-63/80E
Тип насосаТурбомолекулярный, с консистентной смазкой подшипников
Входной фланецDN63 CF / DN63 ISO-K
Форвакуумный выходDN16 ISO-KF
Быстрота действия, N₂ — азот62 л/с
Быстрота действия, He — гелий55 л/с
Быстрота действия, H₂ — водород34 л/с
Быстрота действия, Ar — аргон65 л/с
Степень сжатия, N₂10⁹
Степень сжатия, He10⁵
Степень сжатия, H₂10⁴
Степень сжатия, Ar10⁹
Предельное давление — CF5×10⁻⁶ Па; значение по заводской таблице
Предельное давление — ISO-K3×10⁻⁵ Па; значение по заводской таблице
Форвакуум — максимальное давление при непрерывной работе500 Па
Форвакуум — максимальное давление по N₂1500 Па
Газовый поток по таблице, N₂35 sccm
Газовый поток по таблице, He30 sccm
Газовый поток по таблице, H₂19 sccm
Газовый поток по таблице, Ar38 sccm
Частота вращения ротора72000 об/мин
Время выхода на режим по таблице≤2 мин
ОхлаждениеВоздушное; выбранная заводская таблица
Расход воды — только для водяного исполнения1 л/мин
Температура воды — только для водяного исполнения≤25 °C
ПитаниеВ источнике DC 24 / AC 220 В; назначение входов и состав питания уточняют по контроллеру
Максимальная потребляемая мощность по таблице90 Вт
Указанный контроллерTD-80 / TCP-100 / TC-100; исполнения электронного блока

Устройство, исполнение и условия применения

FF-63/80E предназначен для высоковакуумной ступени откачки. Изготовитель указывает консистентную смазку подшипников. Это не магнитный подвес и не отсутствие смазочных материалов во всей насосной системе. Для работы подбирают форвакуумную ступень, контроллер и охлаждение под конкретную газовую нагрузку.

Быстрота действия зависит от газа: N₂ — 62 л/с, He — 55 л/с, H₂ — 34 л/с, Ar — 65 л/с. Степень сжатия приведена отдельно и не является быстротой откачки. В фильтре каталога используется значение по азоту 223.2 м³/ч; это пересчёт единиц для насоса, а не производительность всей установки.

Давление на входе и давление форвакуума относятся к разным участкам системы. Для непрерывной работы заводская таблица указывает 500 Па, а отдельная строка максимального форвакуума по азоту — 1500 Па. Эти значения не взаимозаменяемы. Режим пуска, допустимость конкретного газа и расход продувки определяют по руководству, а не по максимальной строке таблицы.

Газовый поток в sccm — объёмный расход, приведённый к стандартным условиям; его нельзя подставлять вместо быстроты действия в л/с. Веб-таблица не раскрывает стандарт приведения и весь набор условий испытания. Поэтому из неё не рассчитаны гарантированное время откачки камеры или параметры технологической установки.

Предельное давление приведено отдельно для CF и ISO-K. Оно характеризует условия заводской спецификации; реальная камера зависит также от герметичности, газовыделения, подготовки поверхности и проводимости соединений. Одно лучшее значение не записано в общий фильтр давления для всех исполнений.

Для выбранной страницы указано охлаждение: воздушное; выбранная заводская таблица. Расход и температура воды в таблице применимы только при наличии водяного охлаждения. Их присутствие в общей таблице воздушной модели не означает, что к ней обязательно подключают воду.

Строка питания DC24/AC220 не объясняет, какие значения относятся к насосу, контроллеру или сетевому блоку. Они сохранены с этим ограничением. Подключать 220 В к низковольтному разъёму насоса нельзя; электрическую схему выбирают по точной модели контроллера. Перечень контроллеров обозначает варианты, а не одновременную комплектность.

Число в обозначении модели не заменяет табличную быстроту действия. Для FF-63/80E использовано 62 л/с по N₂. Сведения базовых насосов без суффикса E и параметры отдельного контроллера не перенесены в эту спецификацию.

Фотография взята с заводской страницы именно FF-63/80E; показан один вариант сборки. Фланец, кабели, вентилятор, контроллер и блок питания согласуются по спецификации комплекта. Экспортное исполнение E/FE сохранено в названии и прежнем адресе; оно не объединено автоматически с базовой моделью.

Документация и источники

Проверено 10 сентября 2026 года. Различия редакций, исполнений и условия измерений приведены в описании.

Связанное оборудование и материалы

Технический каталог оборудования

Контакты лаборатории

Ранее опубликованные материалы

Учебная анимация · 48 секунд

Быстрота откачки и проводимость линии

Учебная анимация показывает, почему быстрота откачки у камеры отличается от значения на входе насоса. Формула связывает насос и проводимость соединительной линии. Наглядно сравниваются короткий широкий тракт и длинный узкий. Объясняется влияние арматуры, режима течения и свойств газа. Схемы качественные: они не являются расчётом или испытанием конкретной насосной системы.

Схема объясняет принцип работы. Конструкция и характеристики конкретного изделия приведены в таблицах этой страницы. Ролик без звука; пояснения даны на русском языке.

Открыть или скачать MP4

Текстовое пояснение к ролику

Насос и камера работают через линию Трубопровод, клапаны и другие элементы ограничивают перенос газа. У камеры действует эффективная быстрота откачки.

Проводимость входит в расчёт откачки Для установившегося потока: 1/Sэфф = 1/Sнас + 1/C. Все три величины выражают в согласованных единицах объёмного расхода.

Короткий широкий тракт проводит газ лучше При одинаковом газе и режиме течения увеличение прохода и сокращение длины повышают проводимость соединительной линии.

Узкая длинная линия ограничивает насос Насос с высокой быстротой откачки не устраняет сопротивление тракта. Эффективная быстрота откачки ограничена проводимостью линии.

Арматуру учитывают вместе с трубопроводом Для последовательных элементов складывают обратные проводимости. Клапан, фильтр и переходник входят в общий расчёт.

Подбирают весь вакуумный тракт Учитывают газ, давление и режим течения. Короткая линия и достаточное проходное сечение помогают реализовать возможности насоса.

Написать по email

Выбранное оборудование