Система на основе анализа остаточных газов для контроля в составе автоматизированного стенда, включая несколько испытательных камер. Наличие экрана и его размер согласуют для заказываемого исполнения. Измерительный модуль — HM-Leaklab-100.
Назначение и принцип работы
Система на основе анализа остаточных газов для контроля в составе автоматизированного стенда, включая несколько испытательных камер. Наличие экрана и его размер согласуют для заказываемого исполнения. Измерительный модуль — HM-Leaklab-100.
Технические характеристики
| Характеристики изделия | Модель | HM-Leaklab-210 (без экрана) |
| Наименование | Масс-спектрометр для непрерывного контроля | |
| Габариты | L700*W300*H380 | |
| Масса | 27.5кг | |
| Рабочие характеристики | Электропитание | перем. ток 220 В,1800 Вт |
| Максимальное рабочее давление | 5·10⁻⁴Торр | |
| Измерительный модуль | HM-Leaklab-100 | |
| Индикация | Сенсорный компьютер 10,1 дюйма | |
| Нити накала ионного производителя | Две иридиевые нити с покрытием оксидом иттрия | |
| Диапазон масс | 1~100а.е.м. | |
| Минимальный обнаруживаемый поток утечки | 5·10⁻⁸Па·м³/с | |
| Максимальное давление в измерительном модуле | 5·10⁻⁴ Торр | |
| Диапазон испытательного давления | 1-10мбар (абсолютное давление) | |
| Архив результатов | До 1 млн результатов | |
| Экспорт данных CSV (в характеристиках производителя: CVS) | Предусмотрен | |
| Интерфейсы | RJ45*1，DB25*1，DB9*1 | |
| Выходы | 8 релейных выходов | |
| Входы | 8 входов NPN |
Подбор исполнения и интеграция
При подборе определяют объём изделия, испытательное давление, допустимую утечку, время цикла, способ соединения и требования к регистрации результатов. Предел обнаружения прибора не является допустимой утечкой изделия. Состав стенда и оснастку согласуют под технологический процесс.
Связанное оборудование
Другие варианты того же типа. Диапазон, присоединение и условия применения проверяйте по характеристикам каждой модели.
HM-Leaklab-200 — Масс-спектрометр для непрерывного контроля
Масс-спектрометрическая система на основе RGA с экраном. Производитель рассматривает её для контроля утечек электролита и остаточных газов, в том числе с переключением нескольких испытательных камер. Измерительный модуль — HM-Leaklab-100. Контроль заданных компонентов электролита выполняется без гелия; газовый состав, условия отбора пробы и порог обнаружения должны соответствовать проверяемому изделию.
Наименование: Масс-спектрометр для непрерывного контроля
Габариты: L750*W300*H377
Масса: 38кг
HM-Leaklab-230 — Масс-спектрометрическая система для разных давлений
Комплексная система непрерывного масс-спектрометрического анализа, объединяющая RGA, вакуумную систему и модуль отбора пробы. Диапазон давления отбора — от 10⁻⁸ Торр до 1,2 атм; варианты диапазона масс — 1–100, 1–200 и 1–300 а.е.м. Предназначена для мониторинга H₂, He, N₂, O₂, Ar и других компонентов технологического газа. Предусмотрены регистрация динамики, сигнализация и защита элементов от загрязнения технологическими отложениями.
Наименование: Анализатор остаточных газов для разных давлений отбора проб
Габариты Д × Ш × В: 540 × 236 × 374 мм
Электропитание: 220 В переменного тока, 50 Гц, 5 А
HM-Leaklab-100 — Анализатор остаточных газов RGA
Квадрупольный измерительный модуль для качественного и количественного анализа остаточных газов в вакуумном объёме. Определяет компоненты по отношению массы иона к заряду; среди рассматриваемых газов — вода, кислород, азот и диоксид углерода. Для работы необходимы система отбора пробы, вакуумное обеспечение и программное обеспечение анализа. Это измерительный модуль RGA, а не самостоятельный гелиевый течеискатель.
Полная длина: 486 мм
Разрешение по массе при 10 % высоты пика: <1 а.е.м.
Детектор: FC/CEM