Комплексная система непрерывного масс-спектрометрического анализа, объединяющая RGA, вакуумную систему и модуль отбора пробы. Диапазон давления отбора — от 10⁻⁸ Торр до 1,2 атм; варианты диапазона масс — 1–100, 1–200 и 1–300 а.е.м. Предназначена для мониторинга H₂, He, N₂, O₂, Ar и других компонентов технологического газа. Предусмотрены регистрация динамики, сигнализация и защита элементов от загрязнения технологическими отложениями.
Назначение и принцип работы
Комплексная система непрерывного масс-спектрометрического анализа, объединяющая RGA, вакуумную систему и модуль отбора пробы. Диапазон давления отбора — от 10⁻⁸ Торр до 1,2 атм; варианты диапазона масс — 1–100, 1–200 и 1–300 а.е.м. Предназначена для мониторинга H₂, He, N₂, O₂, Ar и других компонентов технологического газа. Предусмотрены регистрация динамики, сигнализация и защита элементов от загрязнения технологическими отложениями.
Характеристики исполнения
Комплектацию и параметры заказываемого исполнения согласуют при подборе.
Подбор исполнения и интеграция
При подборе определяют объём изделия, испытательное давление, допустимую утечку, время цикла, способ соединения и требования к регистрации результатов. Предел обнаружения прибора не является допустимой утечкой изделия. Состав стенда и оснастку согласуют под технологический процесс.
HM-Leaklab-230 — Анализатор остаточных газов с широким диапазоном давления отбора проб
Поточный анализ газов для сложных технологических процессов
Непрерывный анализ в широком диапазоне давлений
Диапазон давления на входе системы отбора проб: 1·10⁻⁸ Торр — 1,2 атм
Принцип работы и возможности
- Непрерывный анализ: наблюдение за изменениями технологических газов, выявление аномалий и предварительные предупреждения о загрязнении и рисках процесса.
- Интегрированная конструкция: анализатор, вакуумная система и система отбора проб в одном комплексе для быстрой установки и подключения.
- Устойчивость к загрязнению: покрытия и поверхностная химическая обработка снижают осаждение частиц и риск загрязнения, повышая стабильность длительной работы.
- Два режима детектирования: совместная работа цилиндра Фарадея FC и электронного умножителя EM для чувствительности и динамического диапазона, требуемых в разных задачах.
- Интеграция данных: API и загрузка результатов, сопряжение с MES и системой управления оборудованием.
- Основные компоненты разрабатывает Hirays. Сроки поставки и условия сервисного обслуживания согласуют при заказе.
- Интеллектуальный анализ: автоматизированный качественный и количественный анализ, мониторинг и предупреждения, уменьшающие зависимость от действий оператора.
- Применимость к технологическим процессам: CVD, PVD, ALD, травление и вакуумное нанесение покрытий.
- Работа в производстве: длительное функционирование при широком диапазоне давлений с непрерывным мониторингом для повышения выхода годных изделий и повторяемости процесса.
- Более широкий диапазон давления: охват дополнительных технологических условий.
- Инженерная адаптация: несколько интерфейсов подключения для сопряжения с системой заказчика.
- Порядок ввода в эксплуатацию и требования к подготовке операторов определяют для конкретной комплектации.
- Локальная поддержка: заявленные локальная поставка, сокращение сроков сервисного обслуживания и ремонта.
Области применения
- CVD: мониторинг химического осаждения из газовой фазы
- PVD: мониторинг физического осаждения из газовой фазы
- ALD: мониторинг атомно-слоевого осаждения
- Непрерывный контроль газов при травлении
- Анализ процесса вакуумного нанесения покрытий
- Контроль вакуумных течей и источников загрязнения
Технические характеристики из графической таблицы
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Наименование | Анализатор остаточных газов для разных давлений отбора проб |
| Габариты Д × Ш × В | 540 × 236 × 374 мм |
| Электропитание | 220 В переменного тока, 50 Гц, 5 А |
| Масса | 25 кг |
| Рабочее давление анализатора | <5·10⁻³ Па |
| Ионный источник | Открытый или закрытый ионный источник |
| Разрешение на уровне 10 % высоты пика | 1 а.е.м. |
| Чувствительность | 1·10⁻⁶ А/Торр |
| Максимальная рабочая температура | Электронные компоненты: 40 °C; датчик: 120 °C |
| Максимальная температура прогрева | 300 °C |
Давление отбора проб 1·10⁻⁸ Торр — 1,2 атм относится к входу комплекса. Значение <5·10⁻³ Па в таблице относится к рабочему давлению анализатора. Эти параметры нельзя объединять в один диапазон давления внутри масс-спектрометра.
а.е.м. — атомная единица массы, Торр — единица давления, FC — цилиндр Фарадея, MCP — микроканальная пластина, EM — электронный умножитель. Чувствительность в А/Торр или А/мбар характеризует токовый отклик анализатора и не является потоком утечки. Условия прогрева и температурные пределы разных узлов уточняют в руководстве. Условия обслуживания согласуют при выборе оборудования.
Связанное оборудование
Другие варианты того же типа. Диапазон, присоединение и условия применения проверяйте по характеристикам каждой модели.
HM-Leaklab-200 — Масс-спектрометр для непрерывного контроля
Масс-спектрометрическая система на основе RGA с экраном. Производитель рассматривает её для контроля утечек электролита и остаточных газов, в том числе с переключением нескольких испытательных камер. Измерительный модуль — HM-Leaklab-100. Контроль заданных компонентов электролита выполняется без гелия; газовый состав, условия отбора пробы и порог обнаружения должны соответствовать проверяемому изделию.
Наименование: Масс-спектрометр для непрерывного контроля
Габариты: L750*W300*H377
Масса: 38кг
HM-Leaklab-210 — Масс-спектрометр для встраивания в испытательный стенд
Система на основе анализа остаточных газов для контроля в составе автоматизированного стенда, включая несколько испытательных камер. Наличие экрана и его размер согласуют для заказываемого исполнения. Измерительный модуль — HM-Leaklab-100.
Наименование: Масс-спектрометр для непрерывного контроля
Габариты: L700*W300*H380
Масса: 27.5кг
HM-Leaklab-100 — Анализатор остаточных газов RGA
Квадрупольный измерительный модуль для качественного и количественного анализа остаточных газов в вакуумном объёме. Определяет компоненты по отношению массы иона к заряду; среди рассматриваемых газов — вода, кислород, азот и диоксид углерода. Для работы необходимы система отбора пробы, вакуумное обеспечение и программное обеспечение анализа. Это измерительный модуль RGA, а не самостоятельный гелиевый течеискатель.
Полная длина: 486 мм
Разрешение по массе при 10 % высоты пика: <1 а.е.м.
Детектор: FC/CEM