Вакуумметры

Вакуумметр — это прибор для измерения давления в разреженных газах. Чаще всего его первичные преобразователи давления имеют неэлектрический выходной сигнал, например, в виде силы или перемещения, и объединены в один блок с измерительным устройством. Когда нужно передавать результаты измерений на расстояние, используется преобразование неэлектрического сигнала в стандартный электрический или пневматический. В этом случае первичный и промежуточный преобразователи объединяются в единый измерительный модуль.

Деформационные датчики работают на основе зависимости деформации чувствительного элемента от измеряемого давления. Эта деформация преобразуется в показания прибора или изменение выходного сигнала. Большинство деформационных манометров используют упругие элементы для преобразования давления в перемещение рабочей точки. В зависимости от материала мембраны, деформационные датчики могут быть пьезорезитивными или емкостными. Вакуумметры используют емкостный метод измерения, фиксируя изменение электрической емкости при деформации керамической мембраны.

Тепловые датчики, такие как терморезисторные и термопарные вакуумметры (например, вакуумметры Пирани), измеряют давление за счет изменения теплопроводности газа. Чем ниже давление, тем хуже тепло передается, и тем выше температура нагреваемого провода. В современных тепловых мановакуумметрах, использующих терморезисторы, давление газа определяется по количеству энергии, необходимой для поддержания постоянной температуры терморезистора. В случае конвекционных вакуумметров этот принцип расширен для измерения давления, близкого к атмосферному, за счет учета охлаждения через конвекцию.

Электронные датчики, такие как ионизационные или магниторазрядные вакуумметры, измеряют давление на основе ионизации газа. Ионизационные вакуумметры с холодным катодом, например, работают как вакуумные диоды, в которых электрический ток зависит от числа ионов газа. В зависимости от конструкции, они могут быть с холодным катодом (типа Пеннинга) или с накаливаемым катодом.

Комплекты датчиков вакуума Ликлаб

Комплекты датчиков вакуума Ликлаб предлагают решение для точного измерения низкого давления в вакуумных системах. Они включают различные типы датчиков, такие как деформационные, тепловые и ионизационные, что позволяет подобрать оптимальный вариант для разных задач. Такие датчики обеспечивают надежные и стабильные измерения давления, что важно для научных исследований, промышленного применения и высокоточных вакуумных процессов.

Вакуумметры INSTRUE WPC400, WPI200, PON100, CMG500, PNP101

Вакуумметры INSTRUE WPC400, WPI200, PON100, CMG500, PNP101Лаборатория контроля герметичности «Ликлаб» поставляет и внедряет линейку вакуумметров INSTRUE на территории России, обеспечивая полный комплекс услуг: подбор конфигурации под задачу заказчика, поставку датчиков и контроллеров, калибровку в российских метрологических центрах, интеграцию в испытательные стенды и системы контроля герметичности, обучение персонала и регламентное обслуживание. Вакуумметры INSTRUE закрывают диапазон давлений от атмосферного до высоковакуумной области и включают Пирани-датчики, широкодиапазонные комбинированные датчики с холодным катодом, мембранно-ёмкостные датчики и интегрированные решения с локальной индикацией.

«Ликлаб» берет на себя не только поставку оборудования, но и методическое сопровождение: разработку схем включения, помощь в выборе диапазонов, подготовку программ калибровки и интеграцию датчиков в стенды для вакуумирования и контроля герметичности, в том числе по национальным стандартам и отраслевым регламентам.

Вакуумметры INSTRUE WPC400, WPI200, PON100, CMG500, PNP101

Вакуумметры ASAIR серии AGP и ADP для научных и промышленных вакуумных систем

Вакуумметры ASAIR серии AGP и ADPКомпания ASAIR специализируется на разработке и производстве высокоточных датчиков давления и вакуумметров, ориентированных на применение в вакуумной, полупроводниковой, фармацевтической, энергетической и упаковочной промышленности. Линейка приборов включает Пирани-вакуумметры, ёмкостные и пьезорезистивные датчики абсолютного давления, комбинированные широкодиапазонные вакуумметры, а также компактные цифровые дифференциальные датчики для контроля малых перепадов давления.

Вакуумметры ASAIR построены на современной элементной базе: тонкоплёночные ёмкостные сенсоры, кремниевые пьезорезистивные элементы, MEMS-чипы и ионизационные модули холодного катода. Это обеспечивает высокую точность, устойчивость к загрязнениям и удобство интеграции в системы автоматизации через аналоговые и цифровые интерфейсы.

Линейка ASAIR охватывает диапазон давлений от атмосферного уровня и технического вакуума до области высокого и сверхвысокого вакуума, что позволяет использовать однородную платформу приборов для построения комплексных вакуумных систем контроля и управления.

Вакуумметры ASAIR серии AGP и ADP

Вакуумметры Мерадат ВИТ16 и ВИТ19: тепловые и широкодиапазонные вакуумметры

Вакуумметры Мерадат ВИТ16 и ВИТ19Линейка вакуумметров Мерадат ВИТ занимает устойчивое место на российском рынке измерительной техники для вакуумных систем. Приборы ВИТ16 и ВИТ19 применяются в лабораторных, технологических и испытательных установках для точного контроля давления, сопровождения процессов откачки и документирования результатов испытаний на герметичность. Они взаимодействуют с широким набором первичных преобразователей, поддерживают релейные выходы, аналоговый токовый интерфейс, связь по RS-485 и ведение архива, что позволяет использовать их как центральные узлы измерения и индикации в составе сложных вакуумных комплексов.

Вакуумметры Мерадат ВИТ зарегистрированы в Государственном реестре средств измерений и могут применяться в официальных измерительных цепях, в том числе в составе стендов контроля герметичности, криогенных систем и вакуумных установок, эксплуатируемых лабораторией «Ликлаб» и промышленными предприятиями.

Приборы ВИТ16 и ВИТ19 построены по модульному принципу: индикаторно-вычислительный блок щитового исполнения и набор взаимозаменяемых первичных преобразователей давления. За счёт этого один и тот же индикаторный блок может работать в различных диапазонах – от форвакуума до высокого вакуума, а в случае ВИТ19 – и до сверхвысокого вакуума при использовании ионизационных датчиков.

Вакуумметры Мерадат ВИТ16 и ВИТ19

Вакуумметры KYKY: поставка, калибровка и настройка измерительных систем

Вакуумметры KYKYЛаборатория контроля герметичности «Ликлаб» специализируется на поставке, калибровке и внедрении вакуумных измерителей и контроллеров KYKY в составе течеискательных и вакуумных установок. В состав измерительных систем лаборатории входят ёмкостные, термокондуктометрические, ионизационные и комбинированные датчики, а также многоканальные контроллеры для интеграции датчиков в автоматизированные системы управления технологическими процессами.

Вакуумметры KYKY используются «Ликлаб» как в собственных испытательных стендах и установках течеискания, так и в поставляемых заказчикам комплексах контроля герметичности, криогенных системах и установках сверхвысокого вакуума. Для обеспечения прослеживаемости результатов все ключевые приборы проходят регламентную калибровку по утверждённым методикам с оформлением калибровочных сертификатов.

Лаборатория «Ликлаб» обеспечивает полный цикл работ с вакуумной измерительной техникой KYKY: подбор конфигурации под задачу заказчика, поставку датчиков и контроллеров, монтаж и подключение, калибровку по рабочему диапазону давлений, сопровождение в эксплуатации и обучение персонала.

Вакуумметры KYKY

Мембранно-ёмкостные вакуумметры CBVAC: поставка, калибровка и сервис

Мембранно-ёмкостные вакуумметры CBVACЛаборатория контроля герметичности «Ликлаб» является специализированным центром по поставке, метрологической калибровке и сервисному сопровождению мембранно-ёмкостных вакуумметров CBVAC. Датчики CBVAC используются в системах течеискания, технологических вакуумных установках, линиях нанесения покрытий и оборудовании для контроля герметичности, где требуется высокая точность измерения абсолютного давления и устойчивость к загрязняющим технологическим процессам.

Мембранно-ёмкостные вакуумметры CBVAC (серии CM1, CM1E, DM1, EM1, HM1, MM1) обеспечивают измерение давления в диапазоне 0,02–1000 Торр с погрешностью до ±0,12 % от показания и независимостью от состава газа. В лаборатории «Ликлаб» эти приборы используются как рабочие опорные датчики в стендах течеискания, калибровочных установках и комплексах для испытаний на герметичность.

Лаборатория «Ликлаб» выполняет полный цикл работ с вакуумметрами CBVAC: поставка, ввод в эксплуатацию, метрологическая калибровка по ГОСТ 8.586, составление протоколов калибровки, периодический контроль характеристик и обучение персонала заказчика.

Мембранно-ёмкостные вакуумметры CBVAC

Вакуумметр Leaklab с индикатором для контроля герметичности: 1 атм.– 0,05 Па +-15 % с поверкой

Лаборатория контроля герметичности Leaklab представляет передовую систему измерения давления в вакууме с функцией течеискателя. Данная система позволяет точно и оперативно выявлять наличие сквозных утечек и анализировать процессы дегазации.

Принцип работы

Система работает на основе вакуумметрического метода течеискания. Она измеряет изменение давления в заданном объёме за определённое время с высокой точностью и определяет общее натекание.

Данная методика позволяет:

  • Разделять сквозные утечки и дегазацию внутренних поверхностей.

  • Анализировать динамику давления в вакууме и определять источники возможных потерь герметичности.

  • Оптимизировать процесс подготовки вакуумных установок, включая прогрев и очистку.

Функциональные возможности

  • Гибкость в настройке: пользователь может задать объём вакуумной камеры (1 л, 100 л, 1000 л и более).

  • Определение общего натекания: анализируется изменение давления во времени и вычисляется общий поток в Па·м³/с.

  • Разделение процессов:

    • Сквозные утечки – определяются динамическим натеканием, при котором давление изменяется с постоянной скоростью.

    • Дегазация – характеризуется насыщением давления, где на начальном этапе выделение газов высокое, а затем выходит на стабильный уровень.

  • Автоматический анализ: прибор позволяет отделить утечки от дегазации и определить необходимый вид обслуживания – устранение утечек или дополнительную обработку камеры.

Вакуумметр Leaklab с индикатором для контроля герметичности: 1 атм.– 0,05 Па +-15 % с поверкой

Выбранное оборудование