Мембранно-ёмкостные вакуумметры CBVAC
Мембранно-ёмкостные вакуумметры CBVAC: поставка, калибровка и сервис
Лаборатория контроля герметичности «Ликлаб» является специализированным центром по поставке, метрологической калибровке и сервисному сопровождению мембранно-ёмкостных вакуумметров CBVAC. Датчики CBVAC используются в системах течеискания, технологических вакуумных установках, линиях нанесения покрытий и оборудовании для контроля герметичности, где требуется высокая точность измерения абсолютного давления и устойчивость к загрязняющим технологическим процессам.
Мембранно-ёмкостные вакуумметры CBVAC (серии CM1, CM1E, DM1, EM1, HM1, MM1) обеспечивают измерение давления в диапазоне 0,02–1000 Торр с погрешностью до ±0,12 % от показания и независимостью от состава газа. В лаборатории «Ликлаб» эти приборы используются как рабочие опорные датчики в стендах течеискания, калибровочных установках и комплексах для испытаний на герметичность.
Профиль лаборатории «Ликлаб» и нормативная база
Деятельность лаборатории «Ликлаб» основывается на требованиях российской метрологической и отраслевой нормативной базы, в том числе ГОСТ 8.586 (серия стандартов по измерению давления и вакуума) и ГОСТ Р 50.05.01 (общие положения по персоналу и лабораториям неразрушающего контроля). В области вакуумной метрологии лаборатория специализируется на калибровке мембранно-ёмкостных датчиков давления и интеграции их в системы контроля герметичности.
| Параметр | Содержание |
|---|---|
| Основной профиль | Контроль герметичности гелием, вакуумные испытания, поставка и калибровка вакуумметров CBVAC, разработка методик измерений |
| Методы измерений давления | Мембранно-ёмкостные датчики абсолютного давления, манометрические методы, опорные вакуумметры в составе калибровочных стендов |
| Нормативные документы | ГОСТ 8.586, ГОСТ Р 50.05.01, ГОСТ Р 50.05.11, внутренние методики калибровки вакуумметров и регламенты лаборатории |
| Объекты применения приборов CBVAC | Системы течеискания, PVD/CVD/PECVD, плазмохимическое травление, калибровка вакуумных установок, испытательные стенды и метрологические лаборатории |
| Роль лаборатории | Поставка, метрологическая калибровка, документирование результатов измерений, интеграция в технологические линии и обучение персонала |
Принцип действия мембранно-ёмкостных вакуумметров CBVAC
Мембранно-ёмкостные вакуумметры CBVAC основаны на измерении деформации тонкой никелевой мембраны, натянутой над опорной камерой. Давление газа вызывает упругий прогиб мембраны, расстояние между ней и неподвижным электродом изменяется, а вместе с ним изменяется и электрическая ёмкость. Изменение ёмкости регистрируется электроникой датчика и преобразуется в выходной сигнал 0–10 В, пропорциональный абсолютному давлению.
Корпус и чувствительный элемент выполнены из никелевого сплава с полной сварной герметизацией. Конструкция не содержит масла и сорбентов, устойчива к агрессивным газам, вибрации и многократным циклам нагрева до 100–200 °C. Благодаря этому приборы CBVAC обеспечивают линейную шкалу, высокую стабильность нуля и независимость результатов измерений от состава газа.
| Преимущество | Инженерное пояснение |
|---|---|
| Независимость от состава газа | Измеряется механическое воздействие давления на мембрану, а не теплопроводность или ионизационные эффекты, поэтому показания одинаковы для воздуха, азота, аргона и технологических смесей |
| Высокая точность | Погрешность до ±0,12 % от показания при термостабилизации датчика позволяет использовать CBVAC в качестве опорных датчиков при калибровке других вакуумметров |
| Быстрый отклик | Время отклика менее 20 мс обеспечивает корректную работу в динамических процессах, например, при быстрых переключениях вакуумных клапанов и течеискательных циклах |
| Температурная стабилизация | Подогрев до 45 °C, 100 °C и выше снижает влияние адсорбции на мембране и дрейфа нуля, что критично для метрологических измерений |
| Перегрузочная способность | Возможна кратковременная подача давления до 310 кПа без разрушения мембраны, что повышает живучесть прибора в реальных процессах |
Номенклатура вакуумметров CBVAC, поставляемых лабораторией «Ликлаб»
Лаборатория «Ликлаб» поставляет и обслуживает полный спектр мембранно-ёмкостных вакуумметров CBVAC. Для каждого типа предусмотрены специфические функциональные возможности: защита от загрязнений, внешняя установка нуля, цифровые интерфейсы, релейные выходы для автоматического управления и высокотемпературное исполнение.
| Модель | Диапазон | Точность | Ключевые особенности | Типичные области применения |
|---|---|---|---|---|
| CBVAC CM1 | 0,1 – 1000 Торр | ±0,12 % от показания | Универсальный аналоговый вакуумметр, термостабилизация 45/100 °C, выход 0–10 В | Стенды течеискания, лабораторные вакуумные установки, калибровочные стенды |
| CBVAC CM1E | 0,1 – 1000 Торр | ±0,12 % от показания | Исполнение с защитой от загрязнений и подогревом до 100 °C | PVD/CVD, плазмохимическое травление, контроль герметичности в загрязняющих средах |
| CBVAC DM1 | 0,1 – 1000 Торр (варианты до 0,02 Торр) | ±0,12 % от показания | Внешняя установка нуля, подогрев 45/100 °C, расширенная защита мембраны | Метрологические стенды, процессы с требуется регулярная коррекция нуля |
| CBVAC EM1 (RS-485/Modbus) | 0,1 – 1000 Торр | ±0,12 % от показания | Цифровой интерфейс RS-485/Modbus для интеграции в АСУ ТП | Автоматизированные линии, удалённый мониторинг вакуума, системы течеискания |
| CBVAC HM1 | 1 – 1000 Торр | ±0,12 % от показания | Два программируемых реле уставок, индикация состояния | Автоматическое управление клапанами и насосами, блокировки по давлению |
| CBVAC MM1 | 0,1 – 1000 Торр | ±0,25 % от показания | Высокотемпературное исполнение, устойчивость к загрязняющим процессам | Металлургические установки, тяжёлые CVD-процессы, промышленные вакуумные системы |
Сводные технические характеристики вакуумметров CBVAC
Обобщённые характеристики мембранно-ёмкостных вакуумметров CBVAC, применяемых лабораторией «Ликлаб», приведены в таблице. Конкретные значения для каждой модификации уточняются в техническом описании и калибровочных протоколах.
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Диапазоны измерения | 0,02 – 1000 Торр (в зависимости от модели) |
| Погрешность измерений | от ±0,12 % до ±0,5 % от показания |
| Время отклика | < 20 мс |
| Рабочие температуры | неподогреваемые, 45 °C, 100 °C, высокотемпературные исполнения 150–200 °C |
| Температурный коэффициент нуля | 0,002–0,01 % F.S./°C |
| Температурный коэффициент шкалы | 0,02–0,04 % от показания/°C |
| Перегрузочная способность | до 310 кПа |
| Выходной сигнал | 0–10 В DC (нагрузка > 10 кΩ) |
| Питание | ±15 В DC ± 5 % |
| Интерфейсы | DB9, DB15, клеммные колодки, RS-485/Modbus, EtherCAT (опция) |
| Присоединительные разъёмы | KF16, KF25, CF16, CF35, VCR, VCO, 1/2" Tube |
| Материалы, контактирующие с газом | никелевый коррозионностойкий сплав, полностью сварная конструкция |
| Разрешающая способность | до 0,001 % диапазона измерения |
Вакуумные реле CBVAC APS, PS и VS
Для автоматизации и защиты вакуумных систем лаборатория «Ликлаб» поставляет вакуумные реле CBVAC серий APS, PS и VS. Эти устройства дополняют вакуумметры, обеспечивая формирование межблочных сигналов и автоматическое управление арматурой и насосами.
| Серия | Назначение | Конструктивные особенности | Ключевые параметры | Применение |
|---|---|---|---|---|
| APS | Абсолютные переключатели давления | Полностью сварная конструкция 316L VIM-VAR, диафрагма Hastelloy | Собственная утечка < 1×10⁻¹⁰ Па·м³/с, высокая повторяемость уставок | Межблочные цепи безопасности, защита вакуумных систем по давлению |
| PS / VS | Универсальные серии вакуумных реле | Герметичная сварная конструкция, виброустойчивость | Точная фиксация уставок, устойчивость к промышленным условиям | Автоматизация технологических линий, блокировки по давлению |
Калибровка вакуумметров CBVAC в лаборатории «Ликлаб»
Калибровка вакуумметров CBVAC в лаборатории «Ликлаб» выполняется по утверждённым методикам, основанным на ГОСТ 8.586 и внутренних регламентах. Цель калибровки – установление действительных метрологических характеристик прибора, привязка его шкалы к опорным значениям давления и оформление калибровочного сертификата, пригодного для использования в системе менеджмента качества заказчика.
Калибровка проводится по нескольким реперным точкам давления в рабочем диапазоне (например, 0,1; 1; 10; 100; 500; 1000 Торр). Для каждой точки фиксируются показания вакуумметра CBVAC и эталонного средства измерения, рассчитывается погрешность и строится калибровочная характеристика. По результатам оформляется протокол калибровки и калибровочный сертификат с указанием даты проведения, условий измерений и допустимой области применения прибора.
| Модель | Тип калибровки | Примерная дата последней калибровки | Рекомендуемый межкалибровочный интервал | Рекомендуемая дата следующей калибровки | Комментарий |
|---|---|---|---|---|---|
| CBVAC CM1 (стенды лаборатории) | Полная калибровка по рабочему диапазону | март 2025 г. | 1 год для опорного применения | март 2026 г. | Используется как опорный канал в калибровочных установках лаборатории |
| CBVAC CM1E | Калибровка с учётом загрязняющих процессов | апрель 2025 г. | 1 год в условиях плазмохимических процессов | апрель 2026 г. | Рекомендуется ежегодная калибровка из-за повышенной нагрузки на мембрану |
| CBVAC DM1 | Калибровка шкалы и нулевой точки | май 2025 г. | 1–2 года в зависимости от режима эксплуатации | май 2027 г. при двухлетнем интервале | Используется там, где ноль регулярно корректируется внешним сигналом |
| CBVAC EM1 | Калибровка и проверка цифрового интерфейса | июнь 2025 г. | 1–2 года | июнь 2027 г. | При каждом ТО рекомендуется сверка цифровых и аналоговых выходов |
| CBVAC HM1 | Калибровка датчика и уставок релейных выходов | март 2025 г. | 1 год для систем безопасности | март 2026 г. | В межблочных цепях желательно ежегодное подтверждение точности уставок |
| CBVAC MM1 | Калибровка в высокотемпературном режиме | февраль 2025 г. | 1–2 года | февраль 2027 г. | После крупных ремонтов установок рекомендуется внеплановая калибровка |
Для приборов, поставляемых заказчикам, лаборатория «Ликлаб» формирует индивидуальный график калибровки. Эта информация включается в калибровочный сертификат и паспорт прибора, а также может дублироваться во внутренние регламенты предприятия-пользователя.
Интеграция калиброванных вакуумметров CBVAC в системы контроля герметичности
Калиброванные мембранно-ёмкостные вакуумметры CBVAC используются лабораторией «Ликлаб» в составе стендов течеискания и вакуумных испытательных установок. Они обеспечивают:
– контроль уровня предварительного вакуума перед включением гелиевого течеискателя; – точное измерение давления испытания при манометрических методах; – контроль стабильности давления при длительных испытаниях на герметичность; – калибровку встроенных датчиков течеискателей и вспомогательных вакуумметров заказчика.
Корректно откалиброванный вакуумметр CBVAC позволяет количественно связать показания течеискателя и фактическое давление в системе, что важно для интерпретации результатов испытаний и сопоставления их с требованиями ГОСТ и технических условий.
Обучение персонала работе с вакуумметрами CBVAC
Лаборатория «Ликлаб» проводит обучение специалистов предприятий работе с мембранно-ёмкостными вакуумметрами CBVAC. Обучение включает как теоретические основы вакуумной метрологии, так и практическую часть по настройке, калибровке и эксплуатации датчиков в составе реальных установок.
| Программа обучения | Содержание | Форма проведения | Документы по результатам |
|---|---|---|---|
| Базовый курс по вакуумметрам CBVAC | Принцип действия, выбор диапазона, особенности монтажа, работа с аналоговым выходом 0–10 В, интерпретация калибровочного сертификата | Очные занятия в лаборатории с демонстрацией на стендах | Свидетельство о прохождении обучения, протокол проверки знаний |
| Калибровка вакуумметров по ГОСТ 8.586 | Планирование калибровочных точек, работа с опорными средствами измерений, ведение протоколов, оценка погрешностей | Теоретический курс + практическая отработка на калибровочной установке | Свидетельство о подготовке в области метрологической калибровки вакуумметров |
| Интеграция CBVAC в системы течеискания и АСУ ТП | Связка сигналов вакуумметров с течеискателями, настройка релейных выходов HM1, работа с RS-485/Modbus и межблочными реле | Выездной тренинг на площадке заказчика | Акт о проведении обучения и внутренние удостоверения предприятия |
| Эксплуатация в тяжёлых процессах (PVD, CVD, травление) | Регламент обслуживания, периодическая калибровка, оценка влияния загрязнений, выбор интервала калибровки | Семинары для технологов и инженеров по вакуумной технике | Сертификат участника и методические рекомендации |
Наличие подготовленного персонала и калиброванных вакуумметров CBVAC позволяет предприятиям формировать устойчивую систему контроля вакуума и герметичности, обеспечивающую сопоставимые и прослеживаемые результаты измерений в течение всего жизненного цикла оборудования.
Лаборатория «Ликлаб» обеспечивает поставку, калибровку и сервис мембранно-ёмкостных вакуумметров CBVAC, интегрируя их в системы течеискания и вакуумные технологические установки. Опора на калиброванные датчики, корректно оформленные калибровочные сертификаты и подготовленный персонал позволяет предприятиям получать достоверные данные о вакууме и герметичности, соответствующие требованиям современного промышленного и научного производства.
Техническая документация и связанные материалы
Скачиваемый каталог содержит подробное описание, изображение, рабочие диапазоны и таблицы характеристик этой страницы.
Ёмкостные вакуумметры CBVAC
Вакуумметры и датчики вакуума
Измерение абсолютного давления деформацией мембраны для регулирования вакуумных процессов.
| Серия | Назначение исполнения | Что указать при заказе |
|---|---|---|
| CM1 | Базовая серия ёмкостных преобразователей | Полная шкала, нагрев, присоединение |
| CM1E | Исполнение для процессов травления | Шкала, температура и рабочая среда |
| DM1 | Термостатированное исполнение | Нагрев 45 или 100 °C, номинал шкалы |
| EM1 | Компактное исполнение без нагрева | Шкала, присоединение и выход |
| HM1 | Исполнение с релейными уставками | Пороговые сигналы и нагрузка |
| MM1 | Применение в температурных процессах | Температура и материалы среды |
CM1 в качестве опорного примера
Доступны дискретные номиналы полной шкалы. Для CM1 источник указывает 0,1–1000 Торр без нагрева, 0,02–1000 Торр при 45 °C и 0,05–1000 Торр при 100 °C. Это набор вариантов шкалы, а не единый диапазон одного датчика. Аналоговый выход — 0–10 В.
Точность до 0,12 % от показания достигается в определённых диапазонах и температурных исполнениях. Для конкретного заказа указывают весь код, допустимую погрешность и условия её нормирования. Нагреваемому датчику нужен прогрев до установки нуля.
Ёмкостный метод существенно менее зависим от вида газа, чем Пирани. Совместимость материалов с процессом и допустимое избыточное давление всё равно проверяют отдельно.
Ёмкостное измерение CBVAC в контуре давления
Измерение по деформации мембраны
Газовое давление изменяет положение мембраны и электрическую ёмкость измерительной системы. Такой принцип существенно уменьшает зависимость показаний от теплопроводности газа. Для технологической среды отдельно оценивают химическую совместимость мембраны, конденсацию и осаждение продуктов на её поверхности.
Шкала должна соответствовать процессу
Номинал полной шкалы определяет область, в которой удобно регулировать давление. Переход на меньшую шкалу может улучшить разрешение в рабочей точке, но требует проверки допустимой перегрузки. При замене преобразователя важны не только фланец и диапазон: сверяют питание, выходную характеристику и назначение контактов.
Нагрев и установка нуля
Термостатирование помогает поддерживать воспроизводимые условия чувствительного элемента. Ноль устанавливают после прогрева и достижения достаточного остаточного давления по руководству прибора. Если ноль часто уходит, сначала проверяют загрязнение, температуру и качество откачки, затем решают вопрос о настройке или сервисе.
CM1: выбор монтаж и калибровка
Каждый прибор имеет одну полную шкалу. Числа семейства не образуют непрерывный диапазон единственного датчика.
Оригинальная публикация Ликлаб / Вернуться к разделу
Документация и происхождение данных
Источники: Каталог Ликлаб 2026, стр. 31, 32, 33. Данные относятся к указанному исполнению и условиям измерения.
Семейства ёмкостных вакуумметров
Вакуумметры и датчики вакуума · CBVAC
Прямое измерение давления по деформации мембраны для газовых процессов, камер и систем регулирования.
| Серия или решение | Назначение и особенности |
|---|---|
| CM1 и CM1E | CM1 — базовая серия. CM1E — исполнение для травления с уменьшением влияния осаждения продуктов процесса на мембрану. |
| DM1 и DM1E | Термостатированные приборы; серия E ориентирована на процессы травления. Диапазон и интерфейс задаются кодом. |
| HM1 | Два независимых реле; варианты без нагрева, с нагревом 45 °C или 100 °C. |
| EM1 | Компактное исполнение без нагрева для ограниченного монтажного пространства. |
| KM1 | Компактное термостатированное исполнение с нагревом 45 °C или 100 °C. |
| FM1 | Ёмкостное измерение с цифровой связью EtherCAT; проверяют профиль обмена и разъёмы. |
| MM1 | Высокотемпературное исполнение для горячего газового тракта. |
Применение
В отличие от тепловых преобразователей ёмкостный мембранный прибор измеряет давление без пересчёта по теплопроводности газа. Состав газа остаётся важным для химической совместимости и чистоты измерительной полости.
Выбор и комплектация
Указать полную шкалу, рабочую температуру, фланец, ориентацию, питание, аналоговый или цифровой выход и наличие реле. Границы шкалы выбираются из дискретного ряда; обозначение диапазона семейства не означает один универсальный прибор.
Как различаются семейства CBVAC CM DM HM EM KM FM MM
Выбор конструкции
Компактность, наличие нагрева, релейных выходов и цифрового протокола являются независимыми параметрами выбора. EM1 удобен при ограниченном месте, KM1 сочетает компактность с термостатированием, HM1 добавляет релейные функции. Для FM1 проверяют EtherCAT и совместимость с архитектурой промышленной сети.
Работа с продуктами процесса
Версии CM1E и DM1E ориентированы на задачи травления, но пригодность для конкретной смеси подтверждают по материалам и температуре. Нагрев не исключает отложения при любом процессе. Положение чувствительного порта, защита от прямого потока и доступ для обслуживания должны быть предусмотрены в проекте.
Оформление спецификации
Заказ записывают полным обозначением с номиналом шкалы, температурой, присоединением, выходом и разъёмом. Если преобразователь заменяет существующий, прикладывают фотографию шильдика и электрическую схему. Наличие одинакового корпуса или фланца не доказывает электрическую взаимозаменяемость.
CBVAC DM1: измерительный тракт
Нагрев, полную шкалу, выход и присоединение задают отдельными полями кода заказа.
Оригинальная публикация Ликлаб / Вернуться к разделу
Карточки моделей и артикулов (16)
- Вакуумное реле давления VS160
- Высокотемпературный емкостный мембранный вакуумметр MM1
- Емкостное мембранное реле давления DA1
- Емкостное мембранное реле давления DC1
- Емкостное мембранное реле давления SA1
- Емкостное мембранное реле давления SC1
- Емкостный мембранный вакуумметр CM1
- Емкостный мембранный вакуумметр CM111AVASL
- Емкостный мембранный вакуумметр CM1E
- Емкостный мембранный вакуумметр DM1
- Емкостный мембранный вакуумметр DM1E
- Емкостный мембранный вакуумметр FM1 с EtherCAT
- Емкостный мембранный вакуумметр HM1 с релейными выходами
- Компактный емкостный мембранный вакуумметр EM1
- Нагреваемый емкостный мембранный вакуумметр KM1
- Реле давления PS150
Документация и происхождение данных
Источники: Каталог Ликлаб 2026, стр. 38, 39, 40. Данные относятся к указанному исполнению и условиям измерения.
Как заказать вакуумметр CBVAC
Вакуумметры и датчики вакуума · CBVAC
Код модели определяет шкалу, термостатирование, механическое присоединение и сигнальный интерфейс.
| Параметр CM1 | Варианты по руководству |
|---|---|
| Полная шкала без нагрева | 0,1; 0,25; 1; 2; 10; 20; 100; 500; 1000 Торр |
| Полная шкала при 45 °C | 0,02; 0,05; 0,1; 0,25; 1; 2; 10; 20; 100; 1000 Торр |
| Полная шкала при 100 °C | 0,05; 0,1; 0,25; 1; 2; 10; 20; 100; 1000 Торр |
| Питание и выход | ±15 В DC; выход 0–10 В DC, пропорциональный давлению |
| Присоединения | KF, CF, VCR, VCO и трубное исполнение из таблицы заказа |
| Время прогрева нагреваемых приборов | 2 ч для шкал ≥ 1 Торр; 4 ч для шкал < 1 Торр |
Точность и условия измерения
В руководстве точность CM1 разделена по полной шкале и температуре. Для варианта без нагрева указано 0,5 % показания при шкале < 1 Торр и 0,25 % при шкале ≥ 1 Торр. Значение 0,12 % относится к отдельным нагреваемым исполнениям и не является общей точностью всей серии.
Подключение к автоматике
В спецификации отдельно фиксируют распиновку, допустимую нагрузку аналогового выхода, кабель и источник двухполярного питания. Для EtherCAT нельзя использовать схему подключения или протокол RS485 другой серии. Нулевую точку выставляют после прогрева при достаточном вакууме.
По каталогу вакуумметров CBVAC, стр. 1–4 и раздел соответствующей серии. Для шкалы 0,25 Торр и иных пересекающихся строк точности необходим паспорт выбранного кода.
Согласование вакуумметра с системой управления
Аналоговый канал
Для выхода 0–10 В проверяют общий провод, входное сопротивление принимающего устройства, экранирование и масштабирование. Значение полной шкалы в ПЛК должно совпадать с заказанным преобразователем. Проверку проводят в нескольких рабочих точках, а не только при атмосферном давлении.
Релейный и цифровой канал
Реле применяют для пороговых разрешений, а цифровой интерфейс — для получения давления и диагностических признаков. В проекте фиксируют адрес, скорость связи, единицы, обработку потери связи и состояние при ошибке датчика. Готовность преобразователя после прогрева отделяют от факта наличия питания.
Комплект сервисных данных
Для эксплуатации сохраняют паспорт, код шкалы, распиновку, процедуру нуля и интервалы проверки. При нестабильных показаниях полезны тренды давления, температуры и выходного сигнала. Они помогают отделить изменение процесса от неисправности измерительного тракта.
Документация и происхождение данных
Источники: Каталог Ликлаб 2026, стр. 41, 42. Данные относятся к указанному исполнению и условиям измерения.