8-812-740-66-02
8
-812-989-04-49
info@vactron.org

 

 


Течеискатель гелиевый ТИ1-14 ремонт документы руководство

 

ТЕЧЕИСКАТЕЛЬ ГЕЛИЕВЫЙ
МАСС-СПЕКТРОМЕТРИЧЕСКИЙ
ТИ1-14М

 

Руководство по эксплуатации

 

 

 Содержание

1

Требования безопасности

2

Описание течеискателя и принципов его работы

2.1

Назначение

2.2

Состав течеискателя ТИ1-14М

2.3

Технические характеристики

3

Устройство и работа течеискателя

3.1

Принцип действия течеискателя

3.2

Конструкция

4

Подготовка течеискателя к работе

4.1

Эксплуатационные ограничения

4.2

Порядок установки

5

Порядок работы

5.1

Расположение и назначение органов настройки и включения

5.2

Исходное положение органов управления

5.3

Подключение течеискателя

5.4

Первое включение течеискателя

5.5

Включение течеискателя

5.6

Проверка течеискателя

5.7

Выключение течеискателя

5.8

Описание способов контроля герметичности

5.9

Проведение вакуумного контроля герметичности

5.10

Способы индикации течи

6

Техническое обслуживание

7

Текущий ремонт

8

Хранение

9

Транспортирование

10

Маркирование и пломбирование

 

УВАЖАЕМЫЙ ПОТРЕБИТЕЛЬ!
В связи с постоянной работой по совершенствованию прибора, повышающей его надежность и улучшающей условия эксплуатации, в схему и конструкцию могут быть внесены незначительные изменения, не отраженные в настоящем издании.

Настоящее Руководство по эксплуатации предназначено для установки, настройки, проверки, эксплуатации и технического обслуживания гелиевого масс-спектрометрического течеискателя ТИ1-14М (рисунок 1).
Персонал, проводящий техническое обслуживание течеискателя ТИ1-14М, должен пройти инструктаж и иметь право работы с электроустановками с напряжением свыше 1000 В.

ТИ1-14 Завод Измеритель

Принятые обозначения и сокращения

 

ТИ1-14М – масс-спектрометрический
гелиевый течеискатель;
СВ-14М – система вакуумная;
УР-14М – устройство регистрирующее;
БППМ-14 – блок питания преобразователя
манометрического;
БУ-14 – блок управления;
УЭ-14 – усилитель электрометрический;
ТМНнасос турбомолекулярный;
ПУСВ-14 – панель управления системой             
вакуумной;
МБУ –  микропроцессорный блок управления.

Течеискатель имеет сертификат соответствия  № РОСС RU.МЕ83.ВО2857

Рисунок1 – Внешний вид масс-спектрометрического

течеискателя ТИ1-14М

1 Требования безопасности

1.1 При работе с течеискателем необходимо соблюдать действующие правила по работе с электроустановками.
1.2 По требованиям электробезопасности течеискатель соответствует требованиям класса защиты  I по  ГОСТ 12.2.007.0-75.
1.3  Течеискатель работает от трехфазной сети переменного тока напряжением 380 В с частотой 50 Гц. Перед подключением течеискателя к сети питания необходимо обеспечить его надежное заземление. Порядок подключения приведен в разделе 4 (Подготовка течеискателя к работе).
1.4  Проведение технического обслуживания и ремонта должно проводиться только при отключении течеискателя от сети питания.
Работа с течеискателем при снятых крышках воспрещается. Персонал, проводящий техническое обслуживание течеискателя, должен пройти инструктаж и иметь право работы с электроустановками с напряжением свыше 1000 В.
1.5  На магнитном манометрическом преобразователе  имеется напряжение до 6000 В. На блоке питания преобразователя показан знак  «    ».
1.6 При работе с прибором оператор должен находится на резиновом коврике, входящем в комплект поставки течеискателя.
Подключение течеискателя к сети и отключение от нее должны проводиться строго в установленном данным Руководством по эксплуатации порядке.

2  Описание течеискателя и принципов его работы
2.1 Назначение
Масс-спектрометрический течеискатель ТИ1-14М предназначен для контроля  герметичности различных систем и объектов, допускающих откачку внутренней полости, а также запол­ненных гелием или смесью, содержащей гелий, и обнаруже­ния мест нарушения герметичности (течей). Течеискатель ТИ1-14М является комбинированным, позволяет работать в режиме «прямого потока» и «противотока». Использование режима «противоток» позволяет проверять на герметичность объекты значительного объема и с большим газовыделением.
Течеискатель является индикаторным прибором. Погрешность определения величины течи не нормируется. Течеискатель не подлежит поверке.
Основные области применения:
- контроль герметичности всех видов вакуумных систем и вакуумирован­ных объектов в процессе их изготовления и эксплуатации;
- контроль герметичности электровакуумных и полупроводниковых при­боров;
- контроль герметичности различных герметизированных неоткачи­ваемых объектов, изделий и пр.
Рабочие условия эксплуатации:
- температура окружающей среды от 10 до 35°С;
- относительная влажность воздуха до 80%  при температуре 298 К (25°С);
- атмосферное давление 86 - 106 кПа (650  -800 мм рт.ст.).

2.2 Состав течеискателя ТИ1-14М.
Состав комплекта течеискателя ТИ1-14М приведен в таблице 1.  Схема укладки ЗИП на рисунке 2. Внешний вид кабелей принадлежностей и запасных частей на рисунке 3.
Таблица 1


Наименование, тип

Обозначение

Кол., шт.

Место укладки

Примечание

1

 Течеискатель ТИ1-14М

ТФИЯ.406239.009

1

 

 

1.1

 Система вакуумная СВ-14М

ТФИЯ.408839.003

1

 

Устанавливается  на тележке

1.2

 Устройство регистрирующее УР-14М

ТФИЯ.408844.004

1

 

Устанавливается на СВ-14М

1.3

 Тележка (на тележке установлен насос 2НВР-5ДМ и блок  уравления МБУ-150-80

ТФИЯ.304136.003

1

 

 

1.4

 Коврик

ТФИЯ.305167.001-01

1

 

Для обеспечения безопасности работы оператора

1.5

 Чехол

ТФИЯ.305135.001

1

 

 

2

 Комплект ЗИП

2.1

Для эксплуатации:

2.1.1

 Кабель

ЕХ4.853.269

1

15

Для подключения   к сети    380 В, 50 Гц

2.1.2

 Кабель

ЕХ4.853.270

1

15

Соединяет СВ-14М с УР-14М

2.1.3

 Кабель

ЕХ4.853.297

1

15

Соединяет УР-14М с УЭ-14

2.1.4

 Индикатор световой

ЕХ 2.426.004

1

15

Для работы с объектом

2.1.5

 Щуп

ЕХ2.832.008

1

9

То же

2.1.6

 Колодка соединительная

ЕХ3.656.047

1

9

-“-

2.1.7

 Колодка соединительная

ЕХ3.656.047-01

1

9

-“-

2.1.8

 Плата соединительная

ЕХ3.660.182

1

9

-“-

2.1.9

 Плата соединительная

ЕХ3.660.182-02

1

9

-“-

2.1.10

 Обдуватель

ЕХ4.467.003

1

3

-“-

2.1.11

 Тройник

ЕХ4.468.001

1

9

-“-

2.1.12

 Воронка

ЕХ4.478.001

1

15

-“-

2.1.13

 Сопло

ЕХ6.451.005

1

4

-“-

2.1.14

 Заглушка

ЕХ8.632.068

1

7

-“-

2.2.15

 Трубка вакуумная резиновая Æ 2х2

ТУ 38.105.881-85

1

15

Длина 1,5 м

2.2

 Для ремонта

2.2.1

 Катод

ЕХ5.320.012

50

1

(Уложены в банку)

2.2.2

 Втулка изоляционная

ЕХ7.860.074

15

16

Для текущего ремонта

2.2.3

 Втулка изоляционная

ЕХ7.860.075

2

11

То же

2.2.4

 Уплотнитель

ЕХ8.683.103

4

7

-“-

2.2.5

 Уплотнитель

ЕХ8.683.104

1

19

-“-

2.2.6

 Уплотнитель

ЕХ8.683.110

4

14

-“-

2.2.7

 Прокладка

ЕХ8.683.392

2

17

-“-

2.2.8

 Прокладка

ЕХ8.683.393

1

19

-“-

2.2.9

 Прокладка

ЕХ8.683.396

5

12

-“-

2.2.10

 Прокладка

ЕХ8.683.397

2

18

-“-

2.2.11

 Прокладка

ЕХ8.683.398

2

17

-“-

2.2.12

 Кольцо уплотнительное

ЕХ8.683.399

4

6

-“-

2.2.13

 Прокладка

ЕХ8.683.400

2

13

-“-

2.2.14

 Винт

ЕХ8.900.028-01

6

5

-“-

2.2.15

 Винт

ЕХ8.900.109

2

21

-“-

2.2.16

 Гайка

ЕХ8.939.022

2

22

-“-

2.2.17

 Диафрагма  фокусирующая

ЕХ7.324.003

1

8

-“-

2.2.18

 Лампа СМ28-005

ТУ-16.535.362-81

10

20

-“-

2.2.19

 Вставки плавкие:

 

 

 

 

 

 ВП-1-1- 0,25А 250В 
ВП-1-1- 2А 250В

ОЮО.480.003 ТУ
ОЮО.480.003 ТУ

2
2

10
10

Для текущего ремонта

 

 ВП-1-1- 4А 250В

ОЮО.480.003 ТУ

1

10

 

2.2.20

 Преобразователь  ПМТ-6-3М-1

ОТО3.399.097 ТУ

2

2

То же

2.2.21

 ЗИП насоса  2НВР-5ДМ

 

1 к-т

9

-“-

3

Комплект для перемещения течеискателя 

ТФИЯ.407939.001

1

 

 

4

 Эксплуатационная документация

4.1

 Течеискатель масс-спектрометрический ТИ1-14М. Руководство по эксплуатации

ТФИЯ.406239.009 РЭ

1

 

 

4.2

Насос турбомолекулярный ТМН-150. Руководство по эксплуатации

ТФИЯ.064552.001 РЭ

1

 

 

4.3

Насос турбомолекулярный ТМН-150. Формуляр

ТФИЯ.064552.001 ФО

1

 

 

4.4

Микропроцессорный блок управления МБУ-150-80. Руководство по эксплуатации.

ТФИЯ.467443.004 РЭ

1

 

 

4.5

Насосы вакуумные пластинчато-роторные НВР. Руководство по эксплуатации.

ЩП2.960.427-00 0 РЭ

1

 

Допускается комплектование техническим описанием      2057 364813 2508 004 ТО

4.6

Свидетельство о поверке Гелит I                               

 

1

 

 

 


Рисунок 2 – Схема укладки ЗИП (№ места укладки приведен в таблице 1)

 

 







Рисунок 3 – Внешний вид кабелей , принадлежностей и запасных частей (Порядковый номер и обозначение приведено согласно таблице 1)
2.3 Технические характеристики
2.3.1 Минимальный поток гелия, регистрируемый течеискателем  без дросселирования откачки, не более 7×10-12  м3×Па/с.
2.3.2 Течеискатель обеспечивает:
- полуавтоматический выход на режим высоковакуумной откачки анализатора после нажатия кнопки ПУСК;
- полуавтоматическое выключение после нажатия кнопки СТОП.
2.3.3 Клапан ДР1 обеспечивает регулирование давления Р2 в анализаторе от 35 до 55 делений по линейной шкале стре­лочного прибора с точностью ±2 деления. (от 1.3.10-3 до 3.10-3 Па).
2.3.4  Течеискатель обеспечивает звуковую и световую сигнализацию при  увеличении уровня выходного сигнала более 40 делений шкалы стрелочного прибора.
2.3.5 Устройство компенсации и имитации обеспечивает компенсацию и имитацию любого уровня фонового сигнала на выходе усилителя постоянного тока и установку любого уровня выходного сигнала в диапазоне от нуля до 100 В.
2.3.6 Повышение давления в анализаторе (Р2) до уровня, соответству­ющего 70 - 80 делениям линейной шкалы стрелочного прибора (от 8×10-3 до 2×10-2 Па), автоматически отключает накал катода ионного источника анализатора.
2.3.7 Устройство защиты течеискателя при аварийном повышении давления на входе (Р3) до 15-19 делений линейной шкалы стрелочного индикатора (15-20 Па) автоматически закрывает  клапан  ЗАЩИТА ВХОДА (переключатель ЗАЩИТА ВХОДА находится в положении АВТ).
2.3.8 Повышение давления на входе турбомолекулярного насоса (Р1)до уровня, соответству­ющего 18-23 делений линейной шкалы стрелочного индикатора  ( свыше 30 Па) автоматически выключает питание турбомолекулярного насоса и закрывает клапан ОТКАЧКА ТМН.
2.3.9 Устройство защиты течеискателя при аварийном отключении напряжения сети питания обеспечивает после автоматического закрытия клапана ОТКАЧКА ТМН автоматическое открытие клапана НАПУСК.
2.3.10 Течеискатель обеспечивает свои технические характеристики в пределах норм, установленных ТУ, по истечении времени  установления рабочего режима, равного 15 минут. Если прибор был выключен более 24 часов, то время установления рабочего режима увеличивается до 30 минут.
2.3.11 Течеискатель допускает непрерывную работу в рабочих условиях в течение времени не менее 24 ч при сохранении  технических характеристик в пределах норм, приведенных выше.
2.3.12 Течеискатель сохраняет свои технические характеристики в пределах норм, приведенных выше, при питании его от трехфазной  сети переменного тока напряжением 380 В с допускаемым отклонением + 38 В промышленной частотой 50 Гц.
Требования к качеству электроэнергии по ГОСТ 13109-97.
2.3.13 Мощность, потребляемая течеискателем от сети  питания при номинальном напряжении, не превышает 1200 ВА.
2.3.14 Течеискатель сохраняет свои технические характеристики в пределах норм, приведенных выше, в рабочих условиях эксплуатации, приведенных в разделе 2.1.
2.3.15 Габаритные размеры, мм, не более: - 670х600х1350.
2.3.16 Масса, кг, не более:– 130 кг.
2.3.17 Содержание драгоценных металлов в изделии составляет:
золото   -  0,480 г,
серебро – 18,687 г,
палладий- 0,446 г,

 

3 Устройство и работа течеискателя
3.1 Принцип действия течеискателя
Течеискатель представляет собой высокочувствительный магнитный масс-спектрометр, настроенный на регистрацию гелия.
Течь (или натекание) определяется потоком гелия, проникающего в контролируемый объем при вакуумных испытаниях, или потоком гелия, вытекающего из испытуемого объекта при избыточном давлении в нем.

Схема структурная течеискателя ТИ1-14М приведена на рисунке 4.

Рисунок 4 - Схема структурная течеискателя ТИ1-14М

Течеискатель состоит из системы вакуумной CB-14М, устройства регистрирующего УР-14М, соединяемых кабелем. Основным элементом те­чеискателя является масс-спектрометрический анализатор, содержащий ионный источник, анализатор (пространство дрейфа) и приемник ионов.
Масс-спектрометрический анализатор, заключенный в корпус из немагнитной стали, помещается между полюсами постоянного магнита.
Накаленный вольфрамовый катод ионного источника эмитирует эле­ктроны, которые ускоряются электрическим полем, приложенным между катодом и корпусом ионизатора ионного источника. Электронный   ток катода стабилизируется стабилизатором эмиссии.
Магнитное поле, действующее вдоль направления движения элект­ронов, фокусирует поток электронов в узкий пучок, проходящий в ионизатор.  В ионизаторе  электроны  сталкиваются  с  молекулами газа, поступающего в течеискатель из проверяемого объема или щупа, и вызывают их ионизацию. Образовавшиеся ионы вытягиваются из иони­затора ускоряющим электрическим полем, действующим в направлении, перпендикулярном электронному пучку. Поток ионов через выходную ди­афрагму ионного источника поступает в пространство дрейфа, в кото­ром происходит пространственное разделение ионов по массам.
Под действием постоянного магнитного поля, направленного перпендикуля­рно направлению движения, ионы движутся по круговым траекториям, радиусы которых зависят от массы ионов. Радиус траектории движения ионов  в сантиметрах определяется по формуле:
                                                           (1)
где  R – радиус траектории движения иона, см;
Н - напряженность магнитного поля, А/м;
U - ускоряющая ионы разность потенциалов, В;
М - эффективная масса иона, равная отношению его массового числа к заряду.
В магнитном поле происходит разделение ионного пучка, выходя­щего из источника, на отдельные пучки, содержащие ионы с одинаковым отношением массы к заряду. Изменяя ускоряющее напряжение при неиз­менной напряженности магнитного поля, можно менять радиус траекто­рии движения ионов данной массы. В течеискателе применен анализатор со 180-градусной магнитной фокусировкой.
Траектория движения ионов от ионного источника к приемнику ио­нов имеет вид полуокружности.
Такой анализатор обладает фокусирующим свойством: ионы опреде­ленной массы, выходящие из ионного источника расходящимся   пучком, вновь собираются в узкий сходящийся пучок в плоскости входной диаф­рагмы приемника. Радиус траектории ионов, попадающих в  отверстие входной диафрагмы приемника, равен 2,5 см.
Изменением ускоряющего напряжения осуществляется настройка на "пик гелия", при которой в приемник ионов направляются ионы гелия.
Коллектор ионов соединен с входом электрометрического усилите­ля УЭ-14, сигнал с которого подается на усилитель постоянного тока. С выхода усилителя постоянного тока сигнал, поступает на стре­лочный индикатор, а также на акустический и световой индикаторы и розетку КОНТРОЛЬ устройства регистрирующего УР-14М.
В течеискателе предусмотрена возможность компенсации фоновых сигналов, позволяющая регистрировать сигналы, вызываемые малыми потоками (течами).
Переключение тока эмиссии позволяет изменять чувствительность течеискателя в широких пределах.
Для контроля чувствительности течеискателя служит встроенная гелиевая течь Гелит 1.
Выбор рабочего диапазона (линейного) осуществляется вручную переключателем МНОЖИТЕЛЬ в соответствии с уровнем флюктуации фонового сигнала и необходимой чувствительностью испытаний.
Имеется логарифмическая шкала, позволяющая без переключения поддиапазонов оценить уровень сигнала от течи.
Рабочее давление в масс-спектрометрическом анализаторе обес­печивается откачной системой, состоящей из пластинчато-роторного (N2), турбомолекулярного насоса (N1), азотной ловушки (B), защищающей анализатор  от замасливания.
Схема вакуумная принципиальная системы вакуумной CB-14М приведена на рисунке 5.

Органы ручного управления находятся на панели управления ПУСВ-14М системы вакуумной СВ-14М.
Состояние вакуумной системы (включение насосов, манометрических преобразователей включение и выключение клапанов) отражается единичными индикаторами устройства индикации на вертикальной панели СВ-14М.
Свечение индикатора КАТОД устройства регистрирующего УР-14М свидетельствует о том, что катод масс-спектрометрического анализатора включен.
Вакуумная схема течеискателя позволяет реализовать разные режимы работы:

  • режим «прямой поток» - (рисунок 6)
  • режим «противоток»   - (рисунок 7)
  • режим комбинированный (например, при работе со щупом)

         Описание работы и структурные схемы по указанным режимам работы течеискателя приведены в разделе 5.8. 
Используемый в течеискателе высоковакуумный турбомолекулярный насос имеет различные коэффициенты компрессии для разных газов. Поэтому гелий, имея более низкий коэффициент компрессии по сравнению с азотом, может поступать частично в масс-спектрометрический анализатор навстречу основному газовому потоку, откачиваемому турбомолекулярным насосом. Использование режима «противоток» позволяет работать с более высокими, по сравнению с режимом «прямой поток», давлениями на входе в течеискатель.

 

 

где:
S-   анализатор масспектрический              V1, V3, V4, V6 - клапан с ручным приводом
N1- турбомолекулярный насос                   V2, V5, V7 - клапан электромагнитный
N2- насос пластинчато-роторный               A1-течъ геливая
B-  ловушка азотная                                     P1, P2 - преобразователь манометрический
P2-преобразователь манометрический магнитный

 

Рисунок 5 - Схема вакуумная системы вакуумной СВ-14М



Рисунок 6 – Вакуумная схема течеискателя ТИ-14М в режиме «прямой поток»

Рисунок 7 – Вакуумная схема течеискателя ТИ1-14М в режиме «противоток»

      3.2 Конструкция
3.2.1 Течеискатель ТИ1-14М, конструктивно состоит из системы вакуумной СВ-14М и устройства регистрирующего УР-14М установленных на тележке. На тележке также установлен пластинчато-роторный насос. Блоки соединены друг с другом  электрически с помощью  разъемно-кабельных соединений.
3.2.2 Система вакуумная СВ-14М
СВ-14М содержит вакуумные элементы и электронные устройства управления, индикации и питания.
Основой конструкции системы является сварной каркас из стального углового профиля. К верхней раме каркаса крепятся вакуумные элементы, за исключением пластинчато-роторного насоса, установленного на тележке.
К каркасу также крепятся:
сверху – панель управления ПУСВ-14М,
спереди – панель с мнемосхемой,
сзади – блок управления.
Входящий в состав СВ-14М блок управления турбомолекулярным насосом ТМН-150 МБУ-150-80 крепится к тележке. Входящие в состав СВ-14М блок питания преобразователя БППМ-14 и усилитель электрометрический УЭ-14 закреплены непосредственно на вакуумных элементах:
блок БППМ-14 – на нижнем фланце азотной ловушки,
блок УЭ-14 – на фланце масс-спектрометрической камеры.
Все электрические соединения внутри СВ-14М – разъемно-кабельные. Разъем для подключения к сети питания и клемма защитного заземления расположены на блоке управления БУ-14М и выходят на заднюю  сторону СВ-14М.
3.2.3 Вакуумные элементы СВ-14М
В состав СВ-14М входят следующие вакуумные элементы:
- пластинчато-роторный насос 2НВР-5ДМ, на выходной патрубок которого надета трубка для отвода паров масла от элементов вакуумной системы;
- высоковакуумный турбомолекулярный на­сос ТМН-150)
- масс-спектрометрическая камера с магнитной системой;
- азотная ловушка;
- манометрические преобразователи - два тепловых ПТМ-6-ЗМ-1 и магнитный электроразрядный;
- гелиевая течь «Гелит-1»
- четыре клапана с ручным приводом;
- три электромагнитных клапана;
- входной фланец для подсоединения испытуемого изделия.
В передней части СВ-14М размещена вхо­дная магистраль, объединяющая в едином корпусе входной фланец, три клапана с ручным приводом ДР1, ДР2 и Не, клапан сильфонный с электромагнитным приводом КС-25 ЗАЩИТА ВХОДА, гелиевая течь и манометрический преобразователь ПМТ-6-ЗМ-1 для регистрации давления на входе. Ручки трех клапанов с ручным приводом выведены на переднюю панель СВ-14М, а входной фланец на правую боковую панель.
Входная магистраль сочленяется с азотной ловушкой. К корпусу ловушки приварен клапан с ручным приводом ДР3, ручка которого выведена на левую боковую панель СВ-14М. Снизу к клапану крепится турбомолекулярный насос. Внутри азотной ловушки, на нижнем фланце ее корпуса, установлен магнитный манометрический преобразователь, который питается от блока БППМ-14, установленного на этом же фланце, но с внешней его стороны.
Азотная ловушка соединена с масс-спектрометрической камерой. Камера расположена между полюсами постоянного магнита.
Выходной патрубок турбомолекулярного насоса соединен с форвакуумной магистралью, состоящей из сильфонного клапана с электромагнитным приводом КС-25 ОТКАЧКА ТМН, клапана с электромагнитным приводом НАПУСК, манометрического преобразователя ПМТ-6-ЗМ-1 и пластинчато-роторного насоса 2НВР-5ДМ.
Детали вакуумной системы изготовлены, в основном, из нержавеющей стали. В качестве герметизирующих элементов во фла­нцевых соединениях использованы уплотнители из эластичных вакуумных материалов.
3.2.3.1 Турбомолекулярный насос
Турбомолекулярный насос представляет собой миниатюрный гибридный  турбонасос, включающий турбину и ступени Холвека (молекулярная ступень). Данная модель используется с естественным воздушным охлаждением. Управление работой насоса (функции вариатора скорости, логического контроллера) осуществляется встраиваемым электронным блоком – контроллером типа «mini Bord». Источник питания встраиваемого контроллера имеет 36 В постоянного тока 4 А. Течеискатель комплектуется турбомолекулярным насосом   ТМН-150 с контроллером  МБУ-150-80 .
 3.2.3.2 Масс-спектрометрическая камера
Имеет разборную конструкцию, обеспечивающую возможность пери­одической чистки и промывки. Корпус камеры представляет собой прямоугольную трубу с двумя фланцами. К фланцу корпуса крепится масс-спектрометрический анализатор, смонтированный на фланце, имеющем 3 винта для облегчения съема анализатора при профилактике и ремонте.

Устройство масс-спектрометрической камеры показано на рисунке 8.
                      Рисунок 8 – Камера масс-спектрометрическая

Основные элементы камеры: ионный источник (5), приемник ионов (2) и промежуточная диафрагма (7), расположенные на угольнике (11), прикрепленном к фланцу (13). Это обеспечивает доступ к деталям камеры анализатора при их чистке и промывке, а также смену катодов в ионном источнике.
Ионный источник (5) состоит из двух катодов (16), корпуса ионизатора (17), выходной и фокусирующей  диафрагм ионного источника (5), деталей установки и крепления (1,18,19,20). Приемник ионов (2) состоит из входной диафрагмы (10), супрессорного блока из двух диафрагм (8,9), коллектора ионов (3), деталей экранировки (4) и крепления. Коллектор ионов (3) соединен со штырем электрического ввода (12) , приваренного к фланцу анализатора. Подача питания на электроды ионного источника и приемника ионов осуществляется через 7 - штырьковый герметичный разъем (14) посредством проволочных перемычек (15).
Камера расположена в межполюсном зазоре постоянного магнита с напряженностью магнитного поля от 0,17 до 0,25 Тл.  Конструкция камеры не требует съема магнита при проведении профилактических работ внутри камеры.
3.2.3.3 Усилитель электрометрический УЭ-14
Усилитель крепится непосредственно на электрическом выводе коллектора масс-спектрометрической камеры.
Усилитель выполнен в стальном корпусе цилиндрической формы. Схема усилителя смонтирована на печатной плате. Входное сопротивление усилителя не менее 1014 Ом, что обеспечено объемным монтажом высокоомных цепей электрической схемы, смонтированных на керамических изоляторах.
Электрическая связь усилителя с коллектором осуществляется посредством контактной пружины усилителя и штырем электрического вывода коллектора ионов. Внимание: В случае снятия усилителя с масс-спектрометрической камеры закрыть вход усилителя заглушкой входящей в состав комплекта принадлежностей.
3.2.3.4 Азотная ловушка
Азотная ловушка выполнена в виде полого цилиндрического корпуса с дву­мя торцевыми фланцами - верхним и нижним и тремя боковыми патру­бками. Сверху в корпусе с зазором вставляется и крепится к верх­нему фланцу резервуар для жидкого азота. Резервуар имеет со стороны горловины ловушки тепловую развязку, представляющую  со­бой тонкостенную металлическую трубку, емкость резервуара около 1 л.
В корпусе ловушки в полости между нижним фланцем корпуса  и дном резервуара для жидкого азота и соосно с ним размещен манометрический преобразователь  для регистрации давления во входной магистрали. Устанавливается преобразователь со стороны нижнего фланца корпуса ловушки. Боковые патрубки корпуса ловушки для соединения ее с камерой (масс-спектрометрическим анализатором) и насосной группой расположены по высоте на разных уровнях: камера (анализатор) подсоединена к корпусу ловушки с помощью патрубка, расположенного со стороны дна резервуара, а насосная группа - со стороны его заливной горловины.
3.2.3.5 Клапаны
Вакуумная система течеискателя содержит 7 клапанов (четыре - с ручным приводом; три - с электромагнитным).

Все клапаны, за исключением электромагнитного клапана НАПУСК, выполнены с сильфонной герметизацией привода. Клапан КС-25 показан на рисунке 9

Открытие клапана производится электромагнитом, который при подаче на него напряжения втягивает якорь, а вместе с ним шток и заслонку. При втягивании якоря замыкаются контакты кнопки сигнализации. При прекращении подачи тока в цепь катушки электромагнита якорь, вместе со связанной с ним заслонкой, возвращается в исходное положение под действием пружины и клапан закрывается.
В клапане имеется возможность регулировки усилия уплотнения заслонки по седлу, создаваемого пружиной. Для этой  цели служит гайка, воздействующая на пружину. Регулировка производится   при снятом электромагните и якоре.
Для получения требуемой точности сопряжения пары седло - заслонка клапан имеет специальную направляющую деталь  - крестовину.
В клапане с ручным приводом способность регулировки обусловлена наличием штока, который поднимается над седлом путем вращения ручки и ввинчивается в неподвижную гайку.
Прокладка, которая ложится на седло, изготовлена из вакуумной резины и прижимается к седлу фторопластовой прокладкой, имеющей поперек седла паз. При вращении ручки клапана резиновая прокладка изменяет сечение паза и обеспечивает регулировку потока газа.
Клапан НАПУСК в качестве привода имеет соленоид, ток которого создает электромагнитное поле, поднимающее клапан над седлом и закрывающее клапан. При отключении тока клапан самопроизвольно открывается пружиной.
3.2.3.6 Преобразователь манометрический

Магнитный электроразрядный манометрический преобразователь показан на рисунке 10. Преобразователь размещен в азотной ловушке на нижнем фланце корпуса.

Рисунок 10 – Преобразователь магнитный электроразрядный манометрический

Преобразователь представляет собой электродную систему, сос­тоящую из катода и анода. Катод преобразователя состоит из кольце­вого магнита (3) с двумя конусообразными наконечниками (6). Вдоль центральной оси катода расположен анод, выполненный в виде цилин­дрического стержня (4) и являющийся частью вакуумного электрического ввода. Преобразователь собран на фланце (5) с помощью трех шпилек (7) и фланца (1). В верхней части преобразователя имеется защитный экран (2). На анод одета защитная втулка (8). Напряженность магнитного поля, создаваемого катодом, (0,11 ± 0,005) Тл.
На анод подается высокое напряжение до 5,6 кВ. Непосредственно на фланце преобразователя с внешней его стороны закреплен блок питания преобразователя БППМ-14.
3.2.3.7 Блок питания преобразователя манометрического БППМ-14
Конструкция блока имеет цилиндрическую форму, обусловленную местом его расположения.
На основании тарельчатой формы установлены четыре колонки, к которым крепятся три печатные платы. В центральной части основания рас­положен высоковольтный разъем, с помощью которого подается высокое напряжение на анод манометрического преобразователя. На основании также установлены микровыключатель, выполняющий функции электроблокировки при отсоединении преобразователя, и кабель питания блока. Снаружи блок закрыт металлическим кожухом.
Блок не допускается снимать при включенном течеискателе.
3.2.3.8 Блок управления БУ-14М
Блок крепится непосредственно к каркасу СВ-14М с помощью винтов.
Основным несущим элементом конструкции блока является панель из алюминиевого листа. На панели установлены печатные платы, а также элементы электрической схемы и монтажа. С внутренней стороны панель закрыта кожухом, состоящим из двух прикрепленных к панели боковин, крышки и стенки. На крышке расположены все разъемы электрических соединений с элементами вакуумной системы СВ-14М. С внешней стороны панель частично закрыта декоративной крышкой, имеющей окно для рукоятки автоматического выключателя сети. На открытой части панели блока расположены элементы внешних соединений.
3.2.4 Устройство регистрирующее УР-14М
Устройство конструктивно оформлено в виде отдельного переносного блока, корпус которого состоит из двух механически скрепленных друг с другом по высоте частей. В верхней части высотой 200 мм размещена регистрирующая часть электрической схемы устройства - блок регистрирующий, в нижней части высотой 120 мм - блок питания.
Конструктивно корпуса блоков состоят из двух унифицированных литых  кронштейнов и соединяющих их передней и задней панелей. Между собой корпуса механически скреплены при помощи двух планок и двух скоб.
Устройство УР-14М сверху и снизу закрыто перфорированными крышками, а боковые кронштейны закрыты стенками. Сверху к устройству крепится ручка для переноски, а снизу - пластмассовые ножки.
Электрический монтаж устройства выполнен с использованием печатных плат. Доступ к платам регистрирующего блока производится путем снятия верхней крышки, а доступ к платам блока питания - путем снятия нижней крышки. Перед снятием верхней крышки необходимо снять ручку.
Электрические соединения между верхним и нижним блоками осуществлены с помощью кабеля, закрепленного на блоке питания, и разъема, установленного на регистрирующем блоке. Кабель и разъем расположены с задней стороны устройства и закрыты съемной крышкой.
Все органы управления, индикации и контроля устройства расположены на передней панели регистрирующего блока.
Разьемы для подключения кабелей от СВ-14М расположены на задней панели блока.
3.2.5 Обдуватель
Обдуватель предназначен для обдува испытуемых объектов гелием. Внутри обдувателя находятся два штуцера. На один из штуцеров устанавливается выходное сопло. На другой штуцер одевается резиновая трубка, соединяющая обдуватель с объемом, наполненным гелием. Передвижная колодка в корпусе обдувателя обеспечивает два его состояния: Откр и Закр. На корпусе имеется регулировочный винт для изменения потока гелия. Для удобства работы при обнаружении течей в труднодоступных местах к обдувателю придается сменное угловое сопло.
3.2.6 Щуп
Щуп предназначен для обнаружения мест течей в испытуемых объектах, которые не подсоединены непосредственно к вакуумной системе течеискателя. Площадь поперечного сечения входного отверстия щупа может изменяться вращением накидной гайки на тыльной стороне щупа.
3.2.7 Тройник
Тройник представляет собой фланец с двумя штуцерами и подсоединяется к входу течеискателя. Один штуцер служит для подсоединения внешней откачной системы, с другой – для соединения со щупом через резиновую вакуумную трубку.
3.2.8 Комплект для перемещения течеискателя
Комплект предназначен для транспортирования течеискателя в неупакованном виде внутри производственных помещений и между ними. Для крепления комплекта в боковых сторонах тележки имеются отверстия. Схема для перемещения течеискателя приведена на рисунке 19. Схема установки комплекта для перемещения течеискателя приведена на рисунке 20.

4 Подготовка течеискателя  к работе

            4.1 Эксплуатационные ограничения
В помещении, где должен проводиться контроль герме­тичности, не должно быть посторонних источников гелия.
Перед началом работы необходимо ознакомиться с настоящим руководством по эксплуатации и в дальнейшем выполнять все изложенные в нем требования.
Если прибор внесен в помещение после пребывания при относительной влажности, превышающих допустимые рабочие значения, то перед включением его необходимо выдержать в нормальных условиях в течение не менее 24 ч. После нахождения прибора при отрицательных температурах его необходимо выдержать в нормальных условиях в течении не менее 8 часов.
К месту проведения контроля герметичности должна быть подведена трехфазная сеть 380 В, 50 Гц.
В помещениях для проведения испытаний и хранения не должно содержаться пыли, паров щелочей, агрессивных газов и других вредных примесей, вызывающих коррозию.
4.2 Порядок установки течеискателя
4.2.1. После распаковывания прибора следует проверить ком­плектность согласно таблице 1, отсутствие механических повреждений и сохранность пломб изготовителя на задней стороне УР-14М. Проверить установку указателя стрелочного индикатора УР-14 против нулевой отметки шкалы. На рабочем месте должен быть обеспечен свободный доступ к течеискателю со всех сторон.
4.2.2. Снять стопорение амортизаторов 2НВР-5ДМ и залить в насос масло. Для снятия стопорения необходимо ослабить специальную гайку с нижней стороны амортизаторов. Заливку масла производить согласно указаниям, приведенным в эксплуатационной документации на насос 2НВР-5ДМ (уровень масла контролируется по маслоуказателю и должен находиться на нижнем уровне смотрового стекла)
Установить и закрепить систему вакуумную СВ-14М на тележку при помощи 4 болтов, предварительно сняв левую и правую стенки СВ-14М. Соединить систему вакуумную СВ-14М с насосом 2НВР-5ДМ, для чего надеть шланг от вакуумной системы на патрубок насоса, предварительно смазанный вакуумным маслом. Присоединить кабель насоса к разъему, имеющем маркировку 10 на блоке управления БУ-14М.
Соединить разъем, имеющий маркировку «К УР» системы вакуумной СВ-14М с разъемом, имеющим маркировку «СВ» устройства регистрирующего УР-14М кабелем EX4.853.270, входящим в комплект течеискателя.
Снять заднюю стенку СВ-14М, отвернув четыре винта, и соединить разъем «УЭ» устройства регистрирующего УР-14М с разъемом УЭ-14 системы вакуумной СВ-14М кабелем EX4.853.297, входящим в комплект течеискателя.
Закрепить кабель скобой и установить на место заднюю стенку СВ-14М.
Подключить блок управления МБУ-150-80 для чего:

  • разъем с маркировкой «220V 50Гц» блока МБУ-150-80  - подключить к разъему 14 блока БУ-14М;
  • разъем с маркировкой «ТМН» блока МБУ-150-80 - подключить к разъему насоса ТМН;
  • разъем с маркировкой «ВЕНТ» блока  МБУ-150-80 - подключить к разъему насоса ТМН;
  • Установить на место правую и левую стенки СВ-14М.

Подключить к разъему «380V 50Hz 1200VA»  СВ-14М сетевой кабель EX4.853.269, входящий в комплект поставки.
Для безопасной работы с течеискателем использовать защитное средство – резиновый коврик, входящий в комплект течеискателя. Коврик следует закрепить с помощью металлической планки к нижней части тележки.
Перед подключением течеискателя к сети питания заземлить корпус течеискателя, для чего в сетевом кабеле EX4.853.269 имеется провод с маркировкой «┴». Допускается заземление проводить отдельным проводом сечением не менее 1,5 мм2, подключаемым к одной из клемм защитного заземления с маркировкой «» на задней стенке УР-14М или СВ-14М.
Сделать отметку о начале эксплуатации в разделе 13 (Учет работы) настоящего руководства по эксплуатации.

5 Порядок работы


5.1 Расположение и назначение органов настройки и включения
5.1.1. Передняя панель УР-14М

Передняя панель УР-14М приведена на рисунке 11 где:

Рисунок 11–Внешний вид передней панели устройства регистрирующего УР-14М

1 - стрелочный индикатор – индикация давления Р1, Р2, Р3, установки тока эмиссии IЕ и установки ускоряющего UA и супрессорного US напряжений;
2 - переключатель МНОЖИТЕЛЬ – коммутация множителей для линейной шкалы выходного напряжения и переход на логарифмическую шкалу. Соответствие количества делений значениям напряжений при разных положениях переключателя МНОЖИТЕЛЬ, приведено в таблице 2.   
Таблица 2


Положение переключателя
МНОЖИТЕЛЬ

100 делений верхней шкалы стрелочного индикатора соответствуют:

1×10-9

100 мВ

3×10-9

300 мВ

1×10-8

1 В

3×10-8

3 В

1×10-7

10 В

3×10-7

30 В

1×10-6

100 В

3 - индикатор КАТОД – сигнализация о включении катода;
4 - кнопка КОМПЕНС-ИМИТ – введение в цепь ВЫХОД напряжения компенсации (кнопка отжата) или напряжения имитации (кнопка нажата);
5 - кнопка 3V – 100V  - переключение предела регулировки напряжения КОМПЕНС-ИМИТ с 3V (кнопка отжата) на 100V (кнопка нажата);
6 - регулятор ГРОМК - регулировка громкости звукового индикатора;
7 – регулятор    - регулировка напряжения КОМПЕНС-ИМИТ;
8 - регулятор         -    установка «нуля» на выходе усилителя;
9 - регулятор US 300V - установка необходимого значения супрессорного напряжения. Шкала 300В;
10 - кнопка US 300V  - подключение стрелочного индикатора в цепь измерения супрессорного напряжения.
11 - регулятор UА 500V -  установка необходимого значения ускоряющего напряжения. Шкала 500В;
12 - кнопка UА 500V   - подключение стрелочного индикатора в цепь измерения ускоряющего напряжения.
13 - регулятор IЕ, mА -  установка стрелки на отметку IЕ на шкале стрелочного индикатора при выбранном токе эмиссии;
14 - кнопка IЕ, mА - подключение стрелочного индикатора в цепь измерения тока эмиссии IЕ;
15 - кнопка ВЫХОД - подключение стрелочного индикатора в цепь измерения напряжения на линейном или логарифмическом выходе усилителя;
16, 17, 18 - кнопки 0,5, 0,1, 0,01 – mА - установка номинального значения тока эмиссии;
19 - кнопка Р1 - подключение стрелочного индикатора в цепь индикации  давления Р1 на выходе турбомолекулярного насоса;
20 - кнопка Р2 - подключение стрелочного индикатора в цепь индикации давления Р2 в высоковакуумной части вакуумной системы (в азотной ловушке);
21 - кнопка Р3 - подключение стрелочного индикатора в цепь индикации  давления Р3 на входе (в исследуемом объекте).

5.1.2. Верхняя крышка CB-14М

Панель управления СB-14М, расположенная на верхней крышке СВ-14М,  приведена на рисунке 12
1 - кнопка ПУСК – включение прибора;
2 - кнопка СТОП - выключение прибора;
3 - кнопка АНАЛИЗАТОР ВКЛ – включение анализатора;
4 - кнопка АНАЛИЗАТОР ГОТОВ - индикация готовности анализатора к включению;
5 – переключатель КАТОД - включение катода I или II из состояния ОТКЛ;
6 - переключатель ЗАЩИТА ВХОДА - ручное управление соответствующим клапаном и перевод управления этим клапаном из ручного в автоматическое(АВТ) и обратно(ОТКР, ЗАКР).

Рисунок 12 - Внешний вид панели управления системы вакуумной СВ-14М

На верхней крышке СВ-14М также расположена горловина азотной ловушки – для заливки жидкого азота.

5.1.3. Вертикальная панель CB-14М
Вертикальная панель СВ-14М приведена на рисунке 13. На ней расположены:
Схема вакуумная CB-14М с индикаторами - отражение состояния вакуумной системы в данный момент.
Клапан ДР1- регулирование газового потока с входа в режиме «прямой поток».
Клапан ДР2- регулирование газового потока с входа в режиме «противоток».
Клапан Не - включение и выключение потока гелия от встроенной в прибор гелиевой течи в вакуумную систему.
Включенный индикатор означает:
НАПУСК - клапан НАПУСК закрыт;
N2 - пластинчато-роторный насос включен;
Р1 - вакуумметр, ин­дицирующий давление Р1, создаваемое пластинчато-роторным насосом, включен;
Р3  -  вакуумметр , индицирующий давление Р3 на входе, включен;
ОТКАЧКА ТМН - клапан ОТКАЧКА ТМН открыт;
N1 - турбомолекулярный насос включен;
Р2 - вакуумметр, индицирующий дав­ление P2, создаваемое турбомолекулярным насосом, включен;
S - масс-спектрометрический анализатор включен;
ЗАЩИТА ВХОДА - клапан ЗАЩИТА ВХОДА открыт

 

 

 

5.1.4  Левая боковая стенка СB-14М
На левой боковой стенке СВ-14М расположен:
клапан ДР3 - регулирование скорости откач­ки вакуумной системы.
5.1.5  Правая боковая стенка CB-14М
На правой боковой стенке СВ-14М расположен:
входной фланец вакуумной системы - подсоединение исследуемого объекта.
5.1.6  Задняя стенка СВ-14М
На задней стенке СВ-14М расположен:
Розетка К УР – подключение кабеля, соединяющего СВ-14М с УР-14М.
Вилка 380 V 50Hz 1200 VA – подключение сетевого кабеля.
Розетка  – дистанционное управление включением и выключением течеискателя.
Выключатель 380V 50Hz – автоматическое отключение напряжения питания сети при аварийном превышении потребляемой мощности. Положение 0 – отключенное состояние, положение 1 – состояние готовности.
« » клемма защитного заземления.

5.1.7  Задняя стенка УР-14М

На задней стенке УР-14М расположены:
- Вилка СВ – подключение кабеля, соединяющего УР-14М с СВ-14М.
- Розетка УЭ – подключение кабеля, соединяющего УР-14М с УЭ-14.
- Розетка КОНТРОЛЬ – подключение светового индикатора или кабеля, соединяющего прибор с потенциометром КСП-4 (или аналогичным).
- « » клемма защитного заземления.
- защитные крышки на держателях вставок плавких.

     5.1.8  Верхняя крышка УР-14М

На верхней крышке УР-14М имеется отверстие для доступа к оси регулятора установки порога срабатывания звукового и светового индикаторов.
5.1.9 Блок управления  МБУ-150-80 используется с турбомолекулярным насосом ТМН-150. (Передняя панель вертикального варианта исполнения МБУ приведена в руководстве по эксплуатации ТФИЯ.467443.004 РЭ)

Передняя панель блока управления МБУ-150-80 (горизонтальное исполнение) приведена на рисунке 16. где:
1 – клавишный выключатель «СЕТЬ»- включение питания;
2 –жидкокристаллический дисплей (ЖКИ).
3 – кнопка   (¬) — «Предыдущее меню»;
4 – кнопка   (®) — «Следующее меню»;  
5 – кнопка   (–) — «Уменьшить значение»;
6 – кнопка   (+) —  «Увеличить значение»;
7 – кнопка  «Пуск/Ввод» (далее по тексту – «ввод»).
Переход между различными меню осуществляется нажатием кнопок (¬) и (®).

Рисунок 16  -   Передняя панель блока управления МБУ-150-80.

Задняя панель блока управления  МБУ-150-80 приведена на рисунке 17 где:


1 – разъем для подключения насоса ТМН;
2 – разъем для подключения вентилятора насоса ТМН;
3 – разъем для подключения сетевого напряжения;
5 – разъем для подключения персонального компьютера (не используется);
4 – разъем для подключения дистанционного управления (не используется).

         Рисунок 17  Задняя панель блока управления  МБУ-150-80

      5.2 Исходное положение органов управления
Система вакуумная CB-14М:
- переключатель КАТОД - в положении ОТКЛ;
- переключатель ЗАЩИТА ВХОДА - в положении ЗАКР;
- клапаны ДР1, ДР2, ДР3 и Не - в крайнем правом положении (закрыто);
- выключатель 380V 50 Hz  - в положении «0»;
- вход течеискателя закрыт заглушкой.
Устройство регистрирующее УР-14М:
- все кнопки отжаты;
- переключатель МНОЖИТЕЛЬ - в положении 1×10-6;
- регулятор    - в   крайнем правом положении;
       - регулятор         - в среднем положении;
- регулятор ГРОМК - в крайнем левом положении.
Блок управления МБУ-150-80
Выключатель  СЕТЬ – в положение  «0».

5.3 Подключение течеискателя.
Проверить уплотнение заглушки на входном фланце CB-14М, затянув, при необходимости, гайку "барашек" зажимного соединения.
      Подсоединить сетевой кабель к щиту трехфазной сети питания. Первым подключить провод «   »,   затем нулевой провод с маркировкой «0», затем три  провода (без маркировки) к фазам трехфазной сети.
      Органы управления поставить в исходное положение в соответствии с 5.2.
Проверить правильность чередования фаз трехфазной сети при подключении сетевого кабеля к щиту сети питания. Течеискатель защищен от неправильного чередования фаз трехфазной сети, а также от неполнофазного режима при пуске.
Выключатель «380 V 50 Hz» установите в положение «1» (включено).
Включить течеискатель, нажав кнопку ПУСК. Если чередование фаз трехфазной сети установлено правильно, течеискатель включится. При отсутствии первой фазы течеискатель не включится. При отсутствии второй или третьей фазы, а также, если чередование фаз установлено неправильно – течеискатель включится и тут же выключится. При этом необходимо проверить наличие фазных или линейных напряжений трехфазной сети и при необходимости поменять местами подключение любых двух проводов сетевого кабеля, не имеющих маркировки. Все переключения необходимо производить при обесточенном щите сети питания. После проверок выключить течеискатель выключателем «380V 50Hz» (положение «0»).

5.4  Первое включение течеискателя (перед вводом в эксплуатацию после хранения, транспортирования, ремонта, технического обслуживания)
Первое включение течеискателя должно проводиться после выполнения подготовительных работ в соответствии с 5.3.
Включить течеискатель выключателем «380V 50Hz» (положение «I»).
Нажать кнопку ПУСК. Должно включиться освещение кнопки ПУСК, автоматически закрыться клапан НАПУСК и включиться пластинчато-роторный насос, вакуумметры, индицирующие давления Р1 и Р3 и соответствующие им индикаторы на передней панели CB-14М: НАПУСК, N2, Р1, Р3.
На УР-14М нажать кнопку Р1, при этом указатель стрелочного индикатора отклонится вправо и по мере уменьшения давления в вакуумной системе, должен двигаться влево к сектору Р1 шкалы. При входе указателя в сектор Р1 должен включиться клапан ОТКАЧКА ТМН и соответствующий ему индикатор ОТКАЧКА ТМН на передней панели СВ-14М.
В случае, если в течение 15 минут не наблюдается движения указателя к сектору Р1, выключить течеискатель выключателем на задней панели  СВ-14М, переведя его в положение «0», затем вновь перевести в положение «1» и нажать кнопку ПУСК
Прядок включения  блока  МБУ-150-80.
После входа указателя в сектор Р1 и включения индикатора ОТКАЧКА ТМН  необходимо включить выключатель СЕТЬ на блоке МБУ-150-80, при этом  на экране дисплея в строке состояния отобразится знак ■ и мигающий знак Х. На верхней строке должно появиться обозначение – 00000, а на нижней строке – 42000 о/м. Режим работы ТМН установлен по умолчанию на предприятии изготовителе.
Проверить соответствие Фазового параметра записанному в память МБУ и  разделе 12 «Свидетельства о приемке» настоящего Руководства по следующей методике:
-    нажать на кнопку   (®) — «Следующее меню»;

  • на экране ЖКИ появится меню «Изменить настройки»;
  • нажать кнопку ПУСК/ВВОД - подтверждение выбора меню;
  • последовательно нажимать кнопку (®) до появления надписи «Фазовый параметр».

Если «Фазовый параметр» соответствует записанному в «Свидетельстве о приемке» подтвердить его сохранение его следующим образом:

  • последовательно нажимать кнопку (®) до появления на верхней строке ЖКИ обозначения «,<,- изменить», а на нижней строке « ОК – сохранить »;
  • подтвердить сохранение нажав кнопку ПУСК/ВВОД. Появится надпись «Настройки сохранены»;
  • нажать кнопку (®) – на верхней строке дисплея появится обозначение – 00000 о/м, на нижней строке –42000 о/м

В случае несовпадения параметра с записанным в «Свидетельстве о приемке», установить требуемое значение «Фазового параметра» следующим образом;

  • нажать кнопку «+» для увеличения значения, или «-» для его уменьшения;
  • сохранить выставленное значение «Фазового параметра», последовательно нажимая кнопку (®) до появления на дисплее в верхней строке обозначения «,<,- изменить», а в нижней строке «ОК сохранить»;
  • нажать кнопку ПУСК/ВВОД – подтверждение сохранения полученного значения. На экране дисплея появится надпись «Настройки сохранены».
  • выключить и вновь включить переключатель «СЕТЬ» МБУ, для сохранения полученного значения «Фазового параметра» в памяти МБУ.

Вновь произвести проверку «Фазового параметра» и подтвердить его сохранение по вышеперечисленной методике.
Вернуться в основное меню «Частота» нажав кнопку (®). На верхней строке дисплея появится значение –00000 о/м, на нижней 42000 о/м.
Внимание! Работа блока МБУ с фазовым параметром не соответствующим указанному в «Свидетельстве о приемке» может привести к выходу из строя электродвигателя турбомолекулярного насоса.
После проверки фазового параметра на клавиатуре блока управления МБУ нажать кнопку ПУСК/ВВОД, осуществляя запуск двигателя. При этом в левой части дисплея появится знак разгона ▲, на передней панели СВ-14 М включится индикатор N1,  затем на экране дисплея МБУ появится знак ►, свидетельствующий о номинальной скорости вращения двигателя ТМН.
Примечание: Появление знака «!» на экране дисплея свидетельствует о неисправности и дальнейшая работа невозможна.
После выхода насоса на нормальный режим работы, открыть ручные клапаны ДР1, ДР2, ДР3 и Не. На данном этапе возможно возникновение цикла, состоящего из открытия и закрытия клапана ОТКАЧКА ТМН. Открыть клапан ЗАЩИТА ВХОДА, установив переключатель ЗАЩИТА ВХОДА в положение ОТКР (обязательно проверить на входе в течеискатель наличие заглушки), при этом включится соответствующий индикатор на передней панели СВ-14М.
Закрыть клапан ДР2.
Через время не более 5 мин после открытия клапана ОТКАЧКА ТМН должен автоматически включиться вакуумметр, индицирующий давление Р2 и соответствующий ему индикатор Р2 на передней панели CB-14М.
После включения индикатора Р2 на передней панели СВ-14М, нажмите кнопку Р2 на передней панели УР-14М при этом указатель стрелочного индикатора отклонится вправо и начнет двигаться  влево по мере уменьшения давления в высоковакуумной магистрали системы СВ-14М. После включения индикатора Р2 на передней панели СВ-14М, при нажатии кнопки Р2 на УР-14М, возможна задержка показаний значений давления Р2 до 5 минут. Если через время не менее 5 минут указатель стрелочного индикатора не отклонится в право от своего крайнего левого положения, тогда следует закрыть клапан ДР3 и дождаться отклонения стрелки от крайнего левого положения, после чего полностью открыть клапан ДР3.
Залейте в ловушку жидкий азот через воронку из комп­лекта прибора. При дальнейшем устойчивом движении указателя стрелочного индикатора влево должно автоматически включиться освещение кнопки АНАЛИЗАТОР ГОТОВ.
Нажмите кнопку IЕ,  и кнопку 0,01 mА на УР-14.  На ПУСВ-14 установите переключатель КАТОД в положение I и проверьте работоспособность катода I, для чего нажмите кнопку АНА­ЛИЗАТОР ВКЛ.
Должны включиться:
-     освещение кнопки АНАЛИЗАТОР ВКЛ;

  • индикатор S на передней панели CB-14М;
  • индикатор  КАТОД  на передней панели УР-14М.
  • выключиться освещение кнопки АНАЛИЗАТОР ГОТОВ.

Через 20 -30 с указатель стрелочного индикатора должен установиться на  отметку IЕ линейной шкалы. Если указатель не устанавливается на эту отме­тку, то установите его регулятором IЕ mА.
Переведите переключатель КАТОД в положение II и проверьте ра­ботоспособность катода II аналогично проверке катода I. При длительном хранении течеискателя или после замены  катода при нажатии кнопки АНАЛИЗАТОР ВКЛ возможны броски давления Р2, приводящие к выключению кнопки АНАЛИЗАТОР ВКЛ.
ВНИМАНИЕ! В этом случае следует через 5-10 с повторно нажать кнопку АНАЛИЗАТОР ВКЛ. При первом включении течеискателя (вводе в эксплуатацию, после транспортирования или хранения) следует провести проверку течеискателя как указано в разделе 5.6.
5.5 Включение течеискателя
Установите автоматический выключатель на задней стенке СВ в положение «I»
Установите переключатель ЗАЩИТА ВХОДА в положение ОТКР. Нажмите кнопку ПУСК. Должно включиться освещение кнопки ПУСК. Должен автоматически закрыться клапан НАПУСК и включиться пластинчато-роторный насос, вакуумметры, индицирующие давление Р1 и Р3 и соответствующие им индикаторы на передней панели CB-14М: НАПУСК, N2, Р1, Р3, ЗАЩИТА ВХОДА.
Нажмите кнопку Р1, при этом указатель стрелочного прибора отклонится вправо и по мере уменьшения давления в вакуумной системе, должен двигаться влево к сектору Р1 шкалы стрелочного прибора. При входе указателя в сектор Р1 должен включиться клапан ОТКАЧКА ТMH и соответству­ющий ему индикатор ОТКАЧКА ТMH на передней панели СB-14М.
Порядок включения  блока  МБУ-150-80.
При входе указателя стрелочного прибора в сектор  Р1 шкалы, необходимо включить выключатель СЕТЬ МБУ, при этом должен включиться дисплей, на экране дисплея в строке состояния отобразится знак ■ и мигающий знак Х. На верхней строке должно появиться обозначение – 00000, а на нижней строке – 42000 о/м.
Проверить соответствие значения «Фазового параметра» записанному в разделе 13 «Свидетельства о приемке» данного руководства. Для этого нажимать кнопку (®) до появления на дисплее меню «Изменить настройки». Подтвердить выбор меню нажатием кнопки ПУСК/ВВОД. Выбрать подменю «Фазовый параметр», последовательным нажатием кнопки (®).
Если фазовый параметр соответствует записанному в свидетельстве о приемке, сохранить его, нажимая кнопку (®) до появления в верхней строке «,<, изменить», а в нижней строке «ОК-сохранить». Подтвердить сохранение, нажав кнопку ПУСК/ВВОД, появится надпись «Настройки сохранены». Вернуться в основное меню «Частота», нажав кнопку (®).  При этом в верхней строке появится обозначение –00000 о/м, а в нижней 42000 о/м.
В случае несовпадения фазового параметра с записанным в «Свидетельстве о приемке», установить требуемое значение «Фазового параметра» в соответствии с методикой изложенной в п.5.4 настоящего руководства.
Внимание! Работа МБУ-150-80  с «Фазовым параметром» отличающимся от записанного в «Свидетельстве о приемке» может привести к выходу из строя электродвигателя турбомолекулярного насоса.
Через несколько секунд на клавиатуре управления МБУ нажать кнопку ПУСК/ВВОД, осуществляя запуск двигателя. При этом в левой части дисплея появится знак разгона ▲, на передней панели СВ-14М включится индикатор N1,  затем на экране дисплея появится  знак ►, означающий нормальную работу двигателя насоса.
Остановка двигателя турбомолекулярного насоса производится нажатием кнопки ПУСК/ВВОД.
Открыть ручные клапаны ДР1, ДР3 и Не. На данном этапе возможно возникновение цикла, состоящего из открытия и закрытия клапана ОТКАЧКА ТМН.
Через время не более 5 мин после открытия клапана ОТКАЧКА ТМН должен автоматически включиться вакуумметр, индицирующий давление Р2 и соответствующий ему индикатор Р2 на передней панели CB-14М.
После включения индикатора Р2 нажмите кнопку Р2 на передней панели УР-14М при этом указатель стрелочного прибора отклонится вправо до установившегося значения и должен двигаться от него влево по мере уменьшения давления в высоковакуумной магистрали системы СВ-14М. После включения индикатора Р2, при
нажатии кнопки Р2, возможна задержка показаний значений давления Р2 до 5 минут.
Если через время не менее 5 минут указатель стрелочного индикатора не отклонится вправо от своего крайнего левого положения, тогда следует закрыть клапан ДР3 и дождаться отклонения стрелки от крайнего левого положения, после чего полностью открыть клапан ДР3. Если и в этом случае отклонения стрелки не происходит, следует руководствоваться разделом 6.2  п.7 таблицы 7.
Залейте в ловушку жидкий азот через воронку из комп­лекта прибора. При дальнейшем устойчивом движении указателя стрелочного прибо­ра влево должно автоматически включиться освещение кнопки АНАЛИЗАТОР ГОТОВ.
Нажмите кнопку ВЫХОД. Установить переключатель МНОЖИТЕЛЬ в положение 1×10-6. Регулятором          установить  указатель стрелочного индикатора на нулевую отметку линейной шкалы стрелочного индикатора. Повторите указанную операция для положений (3×10-7, 1×10-7, 3×10-8, 1×10-8, 3×10-9,  1×10-9) переключателя  МНОЖИТЕЛЬ.  В положении  1×10-9 переключателя МНОЖИТЕЛЬ отклонение указателя стрелочного индикатора от «0» отметки линейной шкалы не должно превышать 25 делений.
Проверьте работоспособность катода I для чего:

  • переключатель КАТОД установите в положение I;

 -   установите пе­реключатель МНОЖИТЕЛЬ в положение 1×10-6
-   нажмите кнопку  IE
-   нажмите кнопку АНА­ЛИЗАТОР ВКЛ., при этом выключится освещение кнопки АНАЛИЗАТОР ГОТОВ.
Должны включиться: освещение кнопки АНАЛИЗАТОР ВКЛ;

  • индикатор S на передней панели CB-14М;
  • индикатор  КАТОД  на передней панели УР-14М.

поочередно нажи­мая кнопки 0,01, 0,1, 0,5 mA, проверьте при каждом значении тока эмиссии установку указателя стрелочного индикатора на отметку IE с точностью ±1 деление линейной шкалы.
Если указатель не устанавливается на отметку IE, проведите подстройку регулятором IE mА и вновь проверьте установку для всех трех значений тока эмиссии.
Нажмите кнопку ВЫХОД, установите переключатель МНОЖИТЕЛЬ в удобное для отсчета положение.
Регуляторами UA и US уточнить настройку течеискателя на “пик гелия”, открывая и закрывая клапан Не, в соответствии с п.5.6.3. настоящего руководства.
Закрыть клапан Не. Течеискатель готов к проведению испытаний

5.6 Проверка течеискателя
Настоящий раздел устанавливает методы и средства проверки течеискателя ТИ1-14М.
Проверка  течеискателя производится не реже одного раза в год, а также частично или полностью (по необходимости) при вводе прибора в эксплуатацию, при включении после длительного хранения, после технического обслуживания или смены элементов. Проверку течеискателя проводить по истечении времени установления рабочего режима, равного 15 минут. После перерыва в эксплуатации более 24 ч, допускается увеличение времени установления рабочего режима до 30 минут.
5.6.1 Операции и средства проверки
Таблица 4


Номер пункта
«Проверки»

Наименование операций, проводимых при проверке,  единицы измерения

Величина проверяемых параметров

Средства измерения

П-1

Внешний осмотр

 

 

П-2

Проверка регулировки напряжения компенсации и имитации:

 

 таблица  5

 

Вольтметр                                    универсальный В7-27

П-3

Проверка установки тока эмиссии IE, мА

0,01
0,1
0,5

Стрелочный индикатор            течеискателя

П-4

Проверка величины минимального потока гелия, регистрируемого течеискателем без дросселирования откачки в режиме «прямой поток», м3×Па/с

7×10-12

Стрелочный индикатор               течеискателя

5.6.2 Условия проверки и подготовка к ней
При проведении проверки должны соблюдаться следующие условия:

  • температура окружающей среды (25±10)°С;
  • относительная влажность воздуха (40 - 80)%; атмосферное давление (84,0 – 106,7) кПа (630- 800) мм рт.ст.; напряжение питающей сети 380В+10%, 50 Гц.

Перед проведением проверки необходимо выполнить подго­товительные работы, оговоренные в пунктах 5.3 – 5.4 настоящего руководства, соблюдая меры безопасности,             согласно раздела 1.
5.6.3 Проведение проверки
П-1 При проведении внешнего осмотра необходимо выполнить указания п.4.2 настоящего руководства.
П-2 Проверка регулировки напряжения компенсации и имитации и проводится следующим образом:

  • подключить к контактам 4-9 разъема КОНТРОЛЬ вольтметр В7-27;
  • нажать кнопку «3V-100V» и регулятор  «     »  повернуть по часовой стрелке до упора;
  • подать в систему гелий, открыв полностью клапан «Не»;
  • закрывая клапан «ДР3», установить напряжение (100 ±5) В по вольтметру, при этом указатель стрелочного индикатора должен находиться на конце шкалы. Если при вращении регулятора  «     » против часовой стрелки указатель стрелочного индикатора устанавливается на начало шкалы, то это означает, что напряжение компенсации регулируется от  0 до 100 В;

-      открыть полностью клапан «ДР3»;

  • закрыть клапан «Не»;
  • переключатель КАТОД установить в положение ОТКЛ;
  • нажимают кнопку АНАЛИЗАТОР ГОТОВ;

-    регулятор «    » установить в крайнее положение до упора, вращая его против часовой стрелки;

  • нажать кнопку КОМПЕНС-ИМИТ, если при вращении регулятора «   » по часовой стрелке напряжение, измеряемое вольтметром, изменяется до 100 В, то это значит, что напряжение имитации регулируется от 0 до 100 В;
  • регулятор «     » установить в крайнее положение до упора, вращая его против часовой стрелки;
  • последовательно устанавливая переключатель МНОЖИТЕЛЬ в положения от «1×10-9» до «1×10-6» и устанавливая напряжением имитации (регулятором «   » и кнопкой «3V-100V») указатель стрелочного прибора на конец шкалы, измерить напряжение вольтметром на контактах 4-9 разъема КОНТРОЛЬ;
  • полученные данные должны  удовлетворять значениям, приведенным в таблице 5 (для контактов 4-9):

Таблица 5


Положение
переключателя
МНОЖИТЕЛЬ

Напряжение, В

Выход линейный
(конт. 4 - 9)

Выход экспоненциальный
(конт. 6 – 9)

1×10-9

0,1±0,02

1±0,1

3×10-9

0,3±0,03

2±0,2

1×10-8

1±0,1

3±0,3

3×10-8

3±0,3

4±0,4

1×10-7

10±1

5±0,5

3×10-7

30±3

6±0,6

1×10-6

100±10

7±0,7

-   подключить вольтметр В7-27 к контактам 6-9 разъема КОНТРОЛЬ и измерить напряжение при установке переключателя МНОЖИТЕЛЬ в положение от «1·10-9» до «1·10-6» (при этом регулятор «    » не используется). Результаты измерений должны соответствовать значениям, приведенным в таблице 5 (для контактов 6-9);

  • установить переключатель МНОЖИТЕЛЬ в положение ЛОГАРИФМ и подключить вольтметр В7-27 к контактам 5-9 разъема КОНТРОЛЬ;
  • устанавливая указатель стрелочного индикатора регулятором «     » на числовые отметки логарифмической шкалы и измеряют напряжения на контактах 5-9, которое должно соответствовать таблице 6;

Таблица 6


Числовые отметки шкалы

Напряжение на контактах
(5 – 9), В

1×10-10

1±0,2

1×10-9

3±0,3

1×10-8

5±0,5

1×10-7

7±0,7

  • переключатель МНОЖИТЕЛЬ установить в положение «1·10-6»;
  • кнопки КОМПЕНС-ИМИТ и «3V-100V» отжать;
  • регулятор «      » установить по часовой стрелке до упора.

Результаты проверки считают положительными, если напряжения , измеренные на контактах 4-9, 6-9 и 5-9 , соответствуют требованиям, проведенным в таблицах 5 и 6.

П3 Проверку установки тока эмиссии проводят следующим образом:
-       переключатель КАТОД установить в положении «I»;
-       нажать кнопку «IE» и кнопку «0,01 мА» ;
-       нажать кнопку АНАЛИЗАТОР ВКЛ, при этом должны включиться подсветка этой кнопки  и индикаторы КАТОД и «S»;
-       регулятором «IE» установить указатель  стрелочного индикатора на отметку «IE » (допускаются флуктуации ± 1 дел). Аналогично установить указатель стрелочного индикатора при нажатии кнопок «0,1 мА» и  «0,5 мА»;
-      перевести переключатель КАТОД в положение «II» и произвести аналогично установку тока эмиссии второго катода;
-      переключатель КАТОД установить в положение ОТКЛ.
Примечание - Если второй катод не включается длительное время, при его включении возможно увеличение давления Р2 в анализаторе за счет газоотделения с катода. Это может вызвать возвращение анализатора к состоянию АНАЛИЗАТОР ГОТОВ. В этом случае через 2-3 мин следует повторно нажать кнопку АНАЛИЗАТОР ВКЛ и провести проверку установки тока эмиссии второго катода.
Результаты проверки считают удовлетворительными, если обеспечивается установка тока эмиссии обоих катодов.
П-4  Проверку минимального потока гелия, регистрируемого течеискателем без дросселирования откачки в режиме «прямой поток», проводят по следующей методике:
-       открыть клапан «Не»;
-       нажать кнопки «0,5 мА»;
-       переключатель КАТОД перевести в положение «I»;
-       переключатель МНОЖИТЕЛЬ последовательно перевести из положения «1·10-6» на «1·10-9», при этом положении регулятором «►0◄» установить показания стрелочного индикатора в пределах 10-25 делений шкалы, после чего переключатель МНОЖИТЕЛЬ вновь перевести в положение «1·10-6»;
-       нажать кнопку АНАЛИЗАТОР ВКЛ ( при этом должны включиться подсветка этой кнопки и индикатор КАТОД);
-       произвести настройку на «пик гелия» следующим образом:
-       нажать кнопку «UА» и регулятором «UА 500V» установить величину ускоряющего напряжения, соответствующую 30 делениям шкалы стрелочного индикатора;
-       нажать кнопку «US» и регулятор «US 300V» установить в крайнее левое положение;
-       нажать кнопку ВЫХОД;
-       вращать регулятор «UA 500V» по часовой стрелке до получения максимума показаний индикатора при удобном для отсчета положении переключателя МНОЖИТЕЛЬ.
-       закрывают клапан «Не», при этом, если полученный максимум  является «пиком гелия», указатель стрелочного индикатора должен  двигаться влево и в течение не более 5 минут достигнуть минимальной величины, соответствующей величине фонового сигнала αф. Если это не происходит, значит полученный максимум не является «пиком гелия». В этом случае следует открыть клапан «Не», регулятором «UA 500 V» найти следующий максимум и проверить его на «пик гелия» по аналогичной методике. При настройке на «пик гелия» показания стрелочного индикатора при открытом клапане «Не» (αТ) и закрытом клапане «Не» (αф) должны отличаться не менее, чем в 10 раз.
-        если величина αф превышает 100 мВ (при положении переключателя МНОЖИТЕЛЬ - «1·10-9»- указатель стрелочного прибора «зашкаливает» вправо ) или  αф невозможно  оценить из-за «зануления» (указатель стрелочного прибора отклонился в крайнее левое положение), необходимо регулятором «US 300V» скомпенсировать αф до величины <100 мВ;
-        установить переключатель МНОЖИТЕЛЬ в положение «1·10-6»;
-        после получения максимального отношения сигнала от гелиевой течи к фоновому сигналу, клапан «Не» закрыть, к разъему КОНТРОЛЬ на задней стенке УР-22 подключить самописец (например, КСП-4) и в течение 5 минут записать на диаграмной ленте фоновой сигнал при установке переключатель МНОЖИТЕЛЬ в положение «1·10-9»;
-        определить размах флуктуации фонового сигнала ∆ αф, мВ, по формуле
∆ αф=∆ αфМАХ-∆ αфМIN,                                                                          (1)
где ∆ αфМАХ и ∆ αфМIN – максимальное и минимальное значение фонового сигнала. Допускаются отдельные выбросы величины ∆ αф до 10 мВ. Если при записи фонового сигнала величина ∆ αф оказалась менее 2 мВ, она принимается равной 2 мВ. Допускается дрейф фонового сигнала в правую сторону до 4 мВ за 5 минут по шкале самописца, дрейф в левую сторону не учитывается.
-       установить переключатель МНОЖИТЕЛЬ в положение «1·10-7».
-       после определения величина ∆ αф открыть клапан «Не» и определить величину  αТ , переведя переключатель МНОЖИТЕЛЬ в удобное для показаний положение, затем закрыть указанный клапан и определить величину  αф , переведя переключатель МНОЖИТЕЛЬ в удобное для получения показаний положение.
-       установить переключатель МНОЖИТЕЛЬ в положение «1·10-6».
-       минимальный поток гелия QТ  MIN, м3·Па/с, регистрируемый течеискателем без дросселирования откачки, определяют по формуле:
QТ  MIN=,                                              (2)
где QТ – величина потока гелиевой течи, установленной в течеискателе при температуре  проведения  испытаний. Вычисление QТ  производить по формуле:
Q1
QТ = _________________________                                                 (3)
                                                                                   1 - ΔQТ(Т2  -  Т1 )
где Q1 – величина потока, м3 Па/с, нанесенная на корпусе течи,
Т1 = +270 С – температура калибровки течи на заводе-изготовителе,
Т2 – температура, при которой проводятся испытания,
ΔQТ= 3∙10-2 град –1 – температурная поправка к величине течи.
Результаты проверки считают удовлетворительными, если величина QТ MIN , рассчитанная по формуле (2), будет не более 7·10-12 м3·Па/с.
На рисунке 21 (в качестве примера)  приведена зависимость величины выходного сигнала усилителя от ускоряющего напряжения.  

 

UАГ

 Рисунок 21 -  Зависимость выходного сигнала усилителя  от  величины  ускоряющего напряжения UA (на графике приведен частный случай - переключатель МНОЖИТЕЛЬ –  в положении   3×10-8, UA=67 дел, aТ=74 дел, aФ=3 дел)
Если "пик гелия" мал или вовсе незаметен, то провести юсти­ровку анализатора.

5.7 Выключение течеискателя
Установите переключатель МНОЖИТЕЛЬ в положение 1×10-6.
Установите переключатель КАТОД в положение  ОТКЛ.
При этом должны:

  • выключиться индикатор КАТОД на передней  панели УР-14М;
  • включиться освещение кнопки АНАЛИЗАТОР ГОТОВ.

Закройте клапаны ДР1, ДР2 и Не.
Переключатель ЗАЩИТА ВХОДА установите в положение ЗАКР,
при этом должен выключиться соответствующий индикатор на передней панели СВ-14М. Нажмите кнопку Р2. Извлеките из ловушки жидкий азот с помо­щью сжатого воздуха в течение не менее 3 минут. При этом указатель стрелочного прибора отклонится вправо, и при заходе в заштрихованный сектор шкалы погаснет подсветка АНАЛИЗАТОР ГОТОВ, затем по мере откачки вакуумной системы указатель начнет двигаться влево.
После достижения указателем отметки, соответствующей 55-70 делений должна вновь включиться подсветка АНАЛИЗАТОР ГОТОВ. Нажмите кнопку СТОП. При этом должны:

  • включиться   освещение кнопки СТОП;

             -  выклю­читься вакуумметр, индицирующий давление P2 и соответствующий ин­дикатор P2 на передней панели CB-14М, а также подсветка АНАЛИЗАТОР ГОТОВ
Для МБУ-150-80
На передней панели МБУ-150-80 нажмите кнопку ПУСК/ВВОД, при этом отключится питание двигателя насоса, насос перейдет в режим выбега ротора.
Закройте клапан ДР3.
Через время не более 15 мин после нажатия кнопки СТОП дол­жны:

  • автоматически закрыться клапан ОТКАЧКА ТМН и выключиться одно­именный индикатор;
  • автоматически выключиться ТМН и индикатор N1;
  • автоматически выключиться пластинчато-роторный насос и индикатор N2;
  • выключиться вакуумметр,  индицирующий давление Р1 и соответствующий индикатор Р1;
  • автоматически откры­ться клапан НАПУСК и выключиться одноименный индикатор;
  • выключится индикатор Р3 индицирующий давление на входе.
  • выключиться освещение кнопок ПУСК и СТОП, что свидетельствует о выключении те­чеискателя.

Внимание. Нажатие кнопки СТОП должно проводиться только при включенном индикаторе Р2 и подсветке кнопки АНАЛИЗАТОР ГОТОВ. При необходимости выключения течеискателя при отсутствии загорания индикатора Р2 , выключатель 380V 50Hz , на задней стенке течеискателя перевести в положение «0».     
Выключатель СЕТЬ на передней панели МБУ-150-80 установить в положение 0.       Установите органы управления течеискателя в исходное положение в соответствии с   п.5.2. настоящего руководства. Отключите течеискатель от питающей сети.

5.8 Описание способов контроля герметичности
Течеискатель ТИ1-14М обеспечивает контроль герметичности масс-спектрометрическим методом объемов и систем любым из перечисленных ниже способов с применением гелия в качестве пробного газа.
Обычно используется гелий-4 (Не4) или его смесь с воздухом.
Возможна работа течеискателя и с гелием-3 (Не3). При этом значите­льно повышается чувствительность испытаний за счет низкого фона гелия-3 благодаря его малому содержанию в атмосфере.
Степень герметичности вакуумных систем и их элементов харак­теризуется величиной потока газа через все имеющиеся в них течи (через суммарную течь). Поток газа определяется количеством перено­симого вещества, определяемого произведением давления газа на его объем за интервал времени.
Основной единицей потока является м3×Па/с. Если при испытаниях натекание или утечка не зафиксированы, то вакуумная система или ее элементы герметичны.
Величина электрического сигнала определяется в делениях шкалы стрелочного индикатора течеискателя, настроенного на «пик гелия»  по встроенной течи Гелит 1, в соответствии с П-4.
Оценку величины потока натекания производят по формуле (5), если течеискатель обеспечивает регистрацию минимального потока гелия.
Величина потока натекания Q,м3×Па/с, при работе с чистым гелием расчитывается по формуле:
,                         (5)      где:
aГ - отсчет по стрелочному индикатору, обусловленный натеканием  гелия в     
испытуемый объем, дел;
aФ - отсчет по стрелочному индикатору, обусловленный фоновым сигналом, дел;
aТ - отсчет по стрелочному индикатору, обусловленный сигналом от гелиевой течи.
          QТ - величина потока гелиевой течи, установленной в течеискателе (по маркировке на корпусе течи), м3×Па/с.
   Отчет по стрелочному индикатору проводится с учетом положения переключателя МНОЖИТЕЛЬ.
Величина потока натекания при работе со смесью газов Q, м3×Па/с, содержащей гелий, с учетом концентрации g гелия в смеси определяется по формуле:
,                  (6)

Если по условиям испытаний необходимо регистрировать малые по­токи газа (< 7×10-12 м3×Па/с), то возможна работа в режиме дросселирования откачки в режиме «прямой поток», при котором значительно уменьшается величина минимально регистрируемого потока гелия и скорость откачки гелия. Величину потока гелия Qг, м3×Па/с, при работе с дросселированием откачки рассчитывают по  формуле:
,               (7)
где:     aГДР - отсчет по стрелочному индикатору, обусловленный натеканием - гелия в испытуемый объем при дросселировании откачки, дел;
aФДР - отсчет по стрелочному индикатору, обусловленный фоновым сигналом при дросселировании откачки, дел;
aТДР- отсчет по стрелочному индикатору, обусловленный сигналом от гелиевой течи при дросселировании откачки, дел;
Для индикации различных по величине течей в течеискателе пре­дусмотрена ступенчатая регулировка тока эмиссии IЕ катода ионного источника кнопками 0,5, 0,1, 0,01  mА, а также плавная настройка тока эмиссии резистором IЕ mА. Измерение малых потоков обеспечивается при токе эмиссии 0,5 mА.
С целью выделения полезного сигнала и обеспечения работы   на более чувствительной шкале в течеискателе обеспечивается компенса­ция фонового сигнала напряжением компенсации. Величина этого напря­жения меняется ступенчато, в зависимости от положения кнопки 3V – 100 V и плавно регулятором   на передней панели УР-14М.
В приборе имеется режим имитации сигнала (кнопка КОМПЕНС - ИМИТ нажата), при котором на выходе создается напряжение, регулиру­емое от нуля до минус 100 В.
Величина этого напряжения (как и нап­ряжения компенсации) меняется ступенчато, в зависимости от состоя­ния кнопки 3V – 100 V и плавно регулятором  . Режим ими­тации предназначен для проверки работоспособности прибора (см. раздел 5.6), настройки порога срабатывания звукового и светового ин­дикаторов, для проверки аппаратуры, работающей от выходных сигналов течеискателя.
Контроль герметичности следует проводить в несколько этапов,  каждый раз выбирая способ его осуществления, позволяющий решать   конкретную задачу этапа.
Первый этап - предварительные испытания, имеющие целью  оценку общей герметичности испытуемого объекта.
Второй этап - поиск течей, проводящийся при установлении факта негерметичности. Он состоит из:
1) выделения негерметичных участков контролируемого вакуумного объекта;
2) уточнени места расположения течей путем обдува тонкой струёй гелия или с помощью щупа.
После устранения выявленных течей повторяется вся описанная часть цикла, пока не будет установлено, что объект герметичен.
Третий этап (заключительный) - оценка соответствия степени ге­рметичности испытуемого объекта техническим требованиям.
Разнообразие объектов по объему и рабочим характеристикам обу­словливает разнообразие способов осуществления масс-спектрометрического метода испытаний. При испытании откачиваемых объектов, напри­мер, вакуумных систем и камер, подлежащих или допускающих вакуумирование, применяются способ обдува и способ гелиевых  чехлов или камер:
1 Способ обдува предназначен для поиска мест течей. При этом испытуемое изделие присоединяется к течеискателю и  подозреваемые на течь места обдуваются гелием с помощью обдувателя.  При  обдуве заметно сказывается разбавление гелия воздухом, время обдува, воз­можность невыявления течей вследствие быстрого перемещения обдува­теля между отдельными участками испытуемой поверхности или случай­ные пропуски этих участков.
2 Способ гелиевых чехлов или камер применяется для определе­ния степени герметичности оболочки (или ее участка)   проверяемого изделия или системы, выявления в изделиях течей сложной конфигурации. В этом случае изделие, присоединенное к течеискателю, полностью или частично помещается в камеру или охватывается чехлом, в который подается гелий.
Гелиевая камера обычно применяется для испытаний малогабаритных объектов. При испытаниях крупногабаритных объектов вместо  камеры обычно применяют полиэтиленовый чехол. При работе по способу гелиевых чехлов или камер объективность испытаний оказывается выше.
Способ применим от предварительного этапа испытаний до заклю­чительной проверки.
3 Способ вакуумной камеры (барокамеры) применяется для проверки герметичности газонаполненных объектов и их элементов. Для проведения испытаний объект помещается в откачиваемую камеру. Внутренняя полость объекта заполняется гелием или смесью, содержащей гелий. Течеискатель присоединяется к вакуумной камере.
Таким способом может быть проверена суммарная герметичность малогабаритных изделий, во внутреннюю полость которых предварительно вводится гелий.
Способ применим от предварительных испытаний до заключительной проверки.


4 Способ вакуумных присосок применяется при контроле герметичных листовых заготовок, герметичности незамкнутых, а также газонаполненных объектов и их элементов.
При испытаниях вакуумные присоски устанавливаются на проверяемые участки, с противоположной стороны которых подается гелий. Присоска предварительно откачивается механическим насосом.
5 Способ накопления пробного газа в атмосферном чехле применяется при испытании газонаполненных или незамкнутых элементов при невозможности вакуумных испытаний. Используется при поиске течей и на всех стадиях испытаний от предварительной до заключительной.
Способ основан на накоплении пробного газа, проникающего через течи в изолированном от откачки объекте и последующем перепуске накопленного гелия в течеискатель после откачки всех остальных газов цеолитовым насосом. Такой способ позволяет обнаружить малые потоки до 10-14 м3×Па/с. Способ применяется на заключительной стадии.
6 Способ щупа применяется для обнаружения мест течей в газонаполненных объектах, во внутреннюю полость которых  введен гелий, а также для определения степени герметичности объектов по способу накопления в чехле при атмосферном давлении. При испытаниях для достижения наибольшей чувствительности в испытуемом объеме создается значительное избыточное давление гелия или газа, содержащего гелий.
Щуп представляет собой засасывающее устройство, проводимость которого обеспечивает прохождение через него потока 2×10-3 – 1.10-2  м3×Па/ с. Оптимальным является поток 2×10-3 – 5×10-3  м3×Па/с. Щуп перемещают вдоль поверхности испытуемого изделия, заполненного гелием. Расстояние между всасывающим соплом и обследуемой поверх­ностью должно быть минимальным. При приближении к месту течи поток газа, всасываемого щупом, обогащается гелием, что индицируется течеискателем.
Минимальный регистрируемый поток в значительной степени зависит от скорости перемещения щупа и его расположения  относительно течи. Для повышения точности испытания целесообразно проводить с помощью насадки, повторяющей профиль обследуемой  поверхности, с тем, чтобы большая часть гелиевого облака захватывалась щупом. Точнее расположение места течи рекомендуется определять зондом, оканчивающимся иглой. В связи с тем, что при градуировке и испытаниях трудно добиться идентичности условий, величина зарегистрированного потока через течи оценивается ориентировочно. Выбор схемы испытаний определяется характеристикой испытуемого объекта, условиями его проверки, имеющимися средствами откачки.

Рисунок 19.1 – Схемы вакуумных испытаний на герметичность в режиме «противоток»

 

Рисунок 19.2 – Схемы вакуумных испытаний на герметичность в режиме «противоток»

Рисунок 20 – Схема вакуумных испытаний на герметичность  в режиме «прямой поток».

 

 

Рисунок 21 – Схема вакуумных испытаний на герметичность по способу щупа

5.9 Проведение вакуумного контроля герметичности
5.9.1 Общие сведения
Независимо от размеров испытуемых объектов и  соединительных коммуникаций не допускается откачивать их от атмосферного давления насосами течеискателя.
Наилучшие результаты достигаются в условиях, когда весь газо­вый поток линии, к которой подсоединен течеискатель, прокачивается через течеискатель. Поэтому рекомендуется испытание объектов,  поток газоотделения и натекания которых  не превышает максимальный рабочий поток течеискателя, производить при отключенных средствах вспомогательной откачки и пропускании всего газового потока проверяемого объекта через течеискатель. Для течеискателя ТИ1-14М в режиме «прямой поток» максимально допустимый рабочий поток Qдоп = 2×10-4  м3×Па/с.
Вакуумные системы и отдельные элементы могут быть испытаны по одной из трех схем, представленных на рисунках 19 – 21. Выбор схемы определяется суммарным газовым потоком натекания и газовыделения прове­ряемой системы QS, установленным на основе предварительных расчетов, либо путем эксперимента.
Применение испытания по схеме, представленной на рисунке 19.1 целесообразно при испытаниях, когда объект не может быть откачан до глубокого вакуума.
Схема, представленная на рисунке 19.2, используется, когда давление в объекте может быть 10-3, 10-4 мм.рт.ст. и ниже.
Испытанию по схеме, представленной на рисунке 20, подверга­ются отдельные элементы вакуумных систем, суммарный газовый поток которых не превышает предельно допустимого потока течеискателя Qдоп. Вспомогательный откачной пост отключается сразу после получения хорошего вакуума в объекте и соединительных коммуникациях.
Если QS > Qдоп, испытания проводятся с работающим вспомогательным откачным постом. Клапан ДР1 открывается до получения давления в преобразователе Р2 (не более 65 делений линейной шкалы).
Проверяемый объект следует присоединять непосредственно к вхо­дному фланцу течеискателя.
Схема испытаний при заполнении испытуемого элемента гелием (способ щупа) приведена на рисунке 21.
Если объектом испытания служит вакуумная система в целом, те­чеискатель предпочтительно присоединить к месту входа в вакуумный насос, чтобы обеспечить обнаружение течей во всех участках системы с наибольшей достоверностью. Препятствовать работе в этом случае может большой уровень фона, определяемый загрязнением форвакуумной части испытуемой системы.
Для длительного сохранения способности индикации малых пото­ков при возможном поступлении загрязнений из проверяемого объекта рекомендуется на входе течеискателя устанавливать дополнительную охлаждаемую жидким азотом ловушку.  

 

5.9.2 Подготовка к проведению испытаний
К входному фланцу течеискателя подключите  испытуемый  объект или щуп со средствами откачки, как указано на рисунках 19 -21.
Работа с течеискателем ведется после проведения следующих под­готовительных работ:

  • испытуемый объект предварительно откачан; все клапаны закрыты; течеискатель обеспечивает регистрацию минимального потока гелия в режиме работы «прямой поток» не более 7×10-12 м3×Па/с;
  • органы управления течеискателя уста­новлены в исходное положение (раздел 5.2);
  • ручка ГРОМК уста­новлена в среднее положение;
  • к розетке КОНТРОЛЬ блока УР-14М подклю­чен световой индикатор или потенциометр.

Произведите включение течеискателя, как указано в 5.4.
Следите за состоянием вакуумной системы течеискателя по инди­каторам на передней панели CB-14М.
При достижении величины давления на входе, при котором указа­тель стрелочного индикатора находится в пределах сектора Р3 при нажатой кнопке Р3 блока УР-14М, должен автоматически открыться клапан ЗАЩИТА ВХОДА и включиться соответствующий ему индикатор ЗАЩИТА ВХОДА на передней панели CB-14М.
Если при длительной откачке указатель стрелочного индикатора не входит в сектор Р3, а течеискатель удовлетворяет требованиям, из­ложенным в  5.5, то возможны две причины:

  • несоответствие производительности средств откачки размерам испытуемого объекта;
  • имеется большая течь в испытуемом объекте или соединительных коммуникациях.

Найти причину и устранить ее.
В зависимости от давления в испытуемом объекте, технологических требований к испытуемому объекту, схемы обдува необходимо выбрать один из режимов: «прямой поток» или «противоток».

5.9.3 Режим «противоток» - регистрация больших потоков натекания
Перед проведением испытаний необходимо произвести включение течеискателя (раздел 5.4), а также установить скорость 26000 об/мин, для чего необходимо:
Нажать кнопку «® » и установить на ЖКИ  значение скорости вращения  электродвигателя турбомолекулярного насоса равную 26000 об/мин. Затем нажать кнопку ПУСК/ВВОД. Этот режим работы турбомолекулярного насоса предназначен именно для работы течеискателя в режиме «противоток». Правила пользования органами управления и установление рабочих режимов блока МБУ-150-80, приведены в руководстве по эксплуатации ТФИЯ.467443.004 РЭ прилагаемому в комплекте к течеискателю.
Далее осуществить настройку на «пик гелия» как указано в П-4  5.6.3., при этом клапан ЗАЩИТА ВХОДА должен быть закрыт.
Клапан ЗАЩИТА ВХОДА установить в положение АВТ. Закрыть клапан ДР1.

Плавно открывая клапан ДР2 (клапан ДР1 закрыт), соедините полос­ти вакуумной системы течеискателя и испытуемого объекта. Клапан ДР2 открывайте постепенно, так чтобы указатель стрелочного индикатора не выходил за рамки сектора Р1 при нажатой кнопке P1 блока УР-14М.
Включите анализатор, установив переключатель КАТОД в положение I, и нажав кнопку АНАЛИЗАТОР ВКЛ.
Приступите к испытаниям на герметичность (рисунок 19), подавая в испытуемый объект гелий или смесь газов, содержащую гелий. О наличии течи свидетельствует работа звукового и светового индикаторов. Наличие натекания оценивается по стрелочному индикатору УР-14М при нажатой кно­пке ВЫХОД.
Если во время испытаний давление на входе течеискателя превысит величину 15-20 Па, автоматически закроется клапан ЗАЩИТА ВХОДА. Указанный клапан откроется, если давление в системе течеискателя и испытуемом объекте не будет превышать рабочей величины, соответствующей сектору Р3 при нажатой кнопке Р3. После проведения испытаний выключите течеискатель, согласно указаний  п. 5.7.

5.9.4 Режим «прямой поток» - максимальная чувствительность
Перед проведением испытаний  необходимо произвести включение течеискателя согласно 5.4. и осуществить настройку на «пик гелия» как указано в П-4 5.5.3. При этом клапан ЗАЩИТА ВХОДА должен быть закрыт.
Закрыть клапан ДР1, а клапан ЗАЩИТА ВХОДА установить в положение АВТ. Плавно открывая клапан ДР1, соедините полос­ти вакуумной системы течеискателя и испытуемого объекта. Клапан ДР1 открывайте постепенно не допуская превышения величины давления Р2, более 65  делениям линейной шкалы при нажатой кнопке P2 блока УР-14М. Приступите к испытаниям на герметичность (рисунок 20), подавая на испытуемый объект гелий или смесь газов, содержащую гелий. О наличии течи свидетельствует работа звукового и светового индикаторов. Наличие натекания оценивается по стрелочному индикатору УР-14М при нажатой кно­пке ВЫХОД. Определение величины потока натекания производится по формуле 5 или 6.
Если во время испытаний указатель стрелочного индикатора (кнопка Р2 нажата) попадет в заштрихованный сектор, то выключится кнопка АНАЛИЗАТОР ВКЛ. Необходимо устранить причину увеличения давления Р2.
После проведения испытаний проведите выключение течеискателя, как указано в  5.7.

5.9.5 Метод щупа.
Для проведения испытаний методом щупа присоедините щуп к входному фланцу течеискателя с помощью трубки вакуумной резиновой через тройник (рисунок 21). Щуп, трубка вакуумная ре­зиновая и тройник входят в комплект ЗИП согласно таблице 1. Допускается подсоединить через тройник внешний вспомогательный насос. Вращая гайку щупа, находящуюся на конце щупа противоположному соплу, по часовой стрелке до упора, закройте щуп.
Подготовьте течеискатель, как указано в 5.4. Установите скорость вращения электродвигателя турбомолекулярного насоса равную 26000 об/мин. Зак­ройте клапаны ДР1 и Не, вращая ручку клапана по часо­вой стрелке до упора. Переключатель ЗАЩИТА ВХОДА на панели управ­ления системы CB-14М установите в положение ОТКР, при этом должен включиться индикатор ЗАЩИТА ВХОДА на передней панели CB-14М.
В случае присоединения внешнего вспомогательного насоса, включите внешний насос, откачайте объем входной магистрали течеискателя и трубки соединяющей щуп с входной магист­ралью таким образом, чтобы указатель стрелочного индикатора находился в секторе Р3  при нажатой кнопке Р3 на панели УР-14М. Затем плавно откройте клапан ДР2. Если вспомогательный насос отсутствует, следует нажать кнопку Р1, плавно открывая клапан ДР2, откачать полость трубки, соединяющей течеискатель и щуп, при этом указатель стрелочного индикатора не должен покидать сектора Р1. В противном случае произойдет отключение турбомолекулярного насоса.
Нажмите кнопку Р3. Вращая гайку щупа против часовой стрелки, откройте щуп так, чтобы указатель стрелочного прибора не покинул сектора Р3. Включите катод, установив переключатель КАТОД в положение «I» и нажав кнопку АНАЛИЗАТОР ВКЛ. Определять чувствительность течеискателя следует по внешней гелиевой течи (контрольная течь), поток которой находится в пределах (10-7 – 10-6) м3×Па/с. (течь Гелит 1 не применять).
Настройка течеискателя по внешней гелиевой течи производится следующим образом:

  • скомпенсируйте фоновый сигнал  при удобном положении переключателя МНОЖИТЕЛЬ при нажатой кнопке ВЫХОД. Получите отсчет  aФ  по линейной шкале стрелочного прибора УР-14М;
  • поднесите всасывающее сопло щупа к гелиевой течи. Убедитесь, что при убирании гелиевой течи от всасывающего сопла, сигнал уменьшается до фонового значения;
  • получите отсчет aТ,  при поднесенном всасывающем сопле щупа к гелиевой течи, по линейной шкале стрелочного прибора при соответствующем положении перек­лючателя МНОЖИТЕЛЬ. Вычислите чувствительность течеискателя по фор­муле 3, где за Qт принять величину потока контрольной течи.
  • Приступите к испытаниям на герметичность, поднеся щуп к испытуемому объекту, наполненному гелием, или смесью газов. Щуп перемещают вдоль поверхности испытуемого объекта. О наличии течи свидетельствует работа звукового и светового индикаторов. Наличие натекания оценивается по стрелочному прибору УР-14М при нажатой кнопке ВЫХОД по показаниям указателя стрелочного прибора. Определение величины потока натекания проводится по формуле 5 или 6, где за Qт принять величину потока контрольной течи.
  •  Для увеличения чувствительности течеискателя при работе методом щупа можно использовать комбинированную схему работы. Нажмите кнопку Р2. Плавно открывая клапан ДР1 (клапан ДР2 полностью открыт) установите указатель стрелочного прибора в пределах 55 - 60 делений линейной шкалы.

После проведения испытаний проведите выключение течеискателя, как указано в пункте 5.7.
5.9.6 Особенности проведения испытаний
В случае перегорания рабочего катода перейти на работу со вторым катодом, установив переклю­чатель КАТОД в положение II. При этом необходимо провести  настройку на "пик гелия", как указано в 5.6.3, и, в случае необходимости, провести вновь юстировку анализатора (6.2.3).
Для обеспечения длительной и эффективной эксплуатации прибора потребитель обязан проводить техническое обслуживание течеискателя в соответствии с разделом 6 «Техническое обслуживание» в указанные сроки. В случае работы с загрязняющими течеискатель объектами (нали­чие углеводородов, паров воды, агрессивных газов и т.п.) потребитель обязан проводить чистку вакуумной системы, как указано в разделе 6.
Периодичность этого вида обслуживания устанавливается потреби­телем.

5.10 Способы индикации течи
В зависимости от условий работы и характера проводимых испыта­ний индикация течи может производиться:
1) по линейной шкале стрелочного индикатора УР-14М при нажатой кно­пке ВЫХОД с учетом множителя, установленного переключателем МНОЖИ­ТЕЛЬ;
2) по логарифмической шкале стрелочного индикатора УР-14М при нажатой кнопке ВЫХОД в положении ЛОГАРИФМ переключателя МНОЖИТЕЛЬ;
3) по появлению звукового сигнала или по увеличению частоты повторения звукового сигнала акустического индикатора, встроенно­го в блок УР-14М;
4) по появлению светового сигнала или по увеличению частоты "мигания" светового индикатора, подключаемого к разъему КОНТРОЛЬ (поставляется в комплекте согласно таблице 1);
5) по записи на диаграммной ленте потенциометра КСП 4 (приведен в качестве одного из возможных приборов данного типа), под­ключаемого к разъему КОНТРОЛЬ.
В положении ЛОГАРИФМ 10 мВ на шкале потенциометра соответствуют полному отклонению указателя на логарифмической шкале стрело­чного индикатора. Потенциометр КСП4 в комплект поставки не входит;
6) по сигналам, выведенным на разъем КОНТРОЛЬ УР-14М для передачи их в различные устройства, работающие от сигналов течеискателя:

  • напряжение от нуля до минус 100 В - с линейного выхода усили­теля постоянного тока;

Сигнал пропорционален индицируемому потоку в линейном масштабе;

  • напряжение от нуля до 7 В с логарифмического выхода усилителя постоянного тока;

Сигнал пропорционален индицируемому потоку в логарифмическом масштабе;

  • ступенчатое напряжение от нуля до 7 В - экспоненциальный вы­ход сигнал индикации выбранного поддиапазона.

Звуковой и световой индикаторы могут работать одновремен­но. Световой индикатор не может быть использован одновременно с записью на диаграммной ленте потенциометра КСП4, т.к. она подклю­чаются разными кабелями к одному и тому же разъему КОНТРОЛЬ.
Методика работы с акустическим и световым индикаторами:

  • нажмите кнопки КОМПЕНС ИМИТ и ВЫХОД УР-14М;
  • ручку ГРОМК установите в среднее положение;
  • установите уровень сигнала, соответствующий требуемому по условиям испытания порогу срабатывания, ручкой     и кнопкой 3V - 100V;
  • установите срыв колебаний индикаторов (звука нет, индикатор выключен) резистором установки порога срабатывания через отверстие в верхней крышке

УP-14М, используя отвертку.
При работе с компенсацией срыв колебаний устанавливается при нулевом значении сигнала на любой шкале, кроме шкалы с множителем 1×10-9.
Возникновение сигналов акустического (появление звука) и све­тового (мигание светового индикатора) свидетельствует о наличии течи.
В некоторых случаях (для уверенности в работе акустического и светового индикаторов) удобнее устанавливать колебания не на срыв, а на минимальную частоту, в этом случае об обнаружении течи сигна­лизирует увеличение частоты колебаний звукового и светового индикаторов.

6 Техническое обслуживание

6.1 Цель технического обслуживания
Техническое обслуживание проводится предприятием, эксплуатирующим течеискатель, с целью обеспечения беспере­бойной работы, поддержания эксплуатационной надежности и повышения эффективности работы прибора.
6.2 Техническое обслуживание течеискателя проводится службой, эксплуатирующей течеискатель, с целью обеспечения его бесперебойной работы. При проведении работ, связанных с техническим обслуживанием, течеискатель должен быть отключен от сети.
Операции обслуживания, их периодичность и необходимые для этого вспомогательные материалы, оборудова­ние и детали приведе­ны в таблице 7.

   Таблица 7

        Операция  обслуживания

Периодичность

Необходимые вспомогательные материалы, оборудование,  рекомендации

1. Чистка                      внешней по­верхности прибора от пыли.

1 раз в неделю.

Пылесос.

2.Чистка наружных поверхностей системы вакуумной при снятых стенках (удаление пыли, грязи).

1 раз в месяц.

Пылесос, ветошь.

3.Смена масла в пластинчато-роторном насосе 2НВР-5ДМ.

Рекомендуется через 100 часов работы для первой замены. Через 2500 часов при последующих заменах.

Масло, рекомендуемое в паспорте вакуумного пластинчато-роторного насоса 2НВР-5ДМ, сосуд для слива отработанного масла.

4.Смена катода.

При сгорании двух катодов.

Катоды из комплекта ЗИП.

5. Чистка масс-спектрометри-ческого                  анализатора.

Не обеспечивается минимально регистрируемый поток 7. 10-12 м3 . Па/с.

Мелкозернистая наждачная бумага, спирт этиловый (15г), бязь, резиновые перчатки, запасные детали из комплекта ЗИП, сушильный шкаф.

6. Юстировка анализатора.

Не обеспечивается минимально регистрируемый поток 7. 10-12 м3 . Па/с.

Ключ рожковый 13.

7. Чистка манометриче­ского преобразователя.

Не обеспечивается минимально регистрируемый поток 7. 10-12 м3 . Па/с.

Мелкозернистая наждачная бумага, спирт этиловый, бязь, ре­зиновые перчатки, сушильный шкаф.

8. Чистка внутренней (вакуумной) поверхно­сти вакуумной системы
Смена прокладок и уп­лотнителей в том числе:
Смена уплотнителей клапанов КС-25.

Не обеспечивается минимально регистрируемый поток 7. 10-12 м3 . Па/с.
Разгерметизация СВ

Разгерметизация СВ

Пылесос, ацетон, спирт этиловый (25 г), бязь, сухой сжатый воздух, сушильный шкаф, прокладки из комплекта ЗИП.

Прокладки и уплотнители из комплекта ЗИП.

6.2.1 Смена масла в пластинчато-роторном насосе
Отключить течеискатель ТИ1-14М от сети питания. Снять две боковые стенки.
Установить течеискатель таким образом, чтобы можно было устано­вить сосуд для сливаемого масла. Установить со­суд для слива масла под пробкой в нижней части корпуса насоса. Вывернуть пробку. После слива масла устано­вить и завернуть пробку.
Заливку и проверку уровня масла в насосе 2НВР-5ДМ производить следующим образом:

  • отвернуть пробку на верхней части корпуса насоса, в насос залить чистое вакуумное масло в количестве указанном в эксплуатационной документации на насос 2НВР-5ДМ, уровень масла при работающем насосе должен находить­ся в пределах смотрового стекла мас­лоуказателя;
  • завернуть пробку в верхней части корпуса. После смены масла необходимо откачивать вакуумную систему в течение не менее 4 ч до получения рабочего давления.

6.2.2 Смена катодов и чистка масс-спектрометрического анали­затора
Отключить течеискатель ТИ1-14М от сети питания. Снять с фланца анализатора разъем питания (рисунок 8). Снять усилитель УЭ-14. Отвернуть 6 болтов крепления фланца анализатора к корпусу камеры. Вынуть анализатор на фланце из корпуса.
Произвести смену сгоревших катодов следующим образом:
- отпустить винты крепления катодов;
- извлечь остатки сгоревших катодов;
- установить запасные катоды из комплекта ЗИП.
В случае загрязнения анализатора, разобрать его. Очи­стить металлические поверхности от нагара с помощью мел­козернистой наждачной бумаги. Поврежденные детали замените деталями из компле­кта ЗИП. Тщательно промыть детали, внутреннюю поверхность фланца и ко­рпуса этиловым спиртом и просушить в сушиль­ном шкафу.
Собрать анализатор на фланце согласно рисунку 8. После сборки масс-спектрометрического анализатора до установки его в корпус протереть все доступные поверхности собранного узла тампоном из чистой бязи, смоченным спи­ртом, и просушить. Про­следить, чтобы на протираемых поверхностях не осталось ворсинок от протирочного материала.
Если прокладка, уплотняющая кор­пус, имеет повреждение, заменить ее. Поместить анализатор в корпус.
Установить камеру анализатора на вакуумную систему и произвес­ти сборку и подключения в порядке, обратном разборке.
После чистки масс-спектрометрического анализатора произвести высоковакуумную откачку вакуумной системы в течение не менее 4 часов с целью получения рабочего давления и тренировки системы, после чего провести юстировку анализатора (согласно 6.2.3) и проверку прибора согласно разделу 5.6.
6.2.3 Юстировка анализатора
Юстировка анализатора применяется в случае невозможности получения величины минимально регистрируемого потока гелия (7×10-12 м3×Па/с), после смены катодов, после чистки масс-спектрометрического анализатора.
Открыть доступ к магнитной системе анализатора, установив УР-14М рядом с течеискателем, сняв верхнюю крышку и правую стенку CB-14М.
Чтобы снять верхнюю крышку, необходимо отпустить винты задней стенки и отвернуть четыре винта верхней крышки.
Чтобы снять правую боковую стенку, необходимо отвернуть два ви­нта.
Перед проведением юстировки анализатора  необходимо произвести включение течеискателя (согласно п. 5.5) и осуществить настройку на «пик гелия» как указано в  п.5.6.
Отпустить крепление магнитной системы и, перемещая ее относите­льно корпуса анализатора, добиться увеличения "пика гелия" по стре­лочному прибору течеискателя. При этом следует уточнить настройку на гелий регулятором UА 500V.
Если юстировкой не удается увеличить "пик гелия", произвести чи­стку масс-спектрометрического анализатора, как указано в разделе  6.2.2. Затем вновь произвести юстировку анализа­тора. После юстировки установить на место верхнюю крышку и  боковую стенку CB-14М.
Произвести проверку течеискателя по 5.6. В случае удовлетворительных результатов проверки, течеиска­тель готов к работе.

6.2.4 Чистка манометрического преобразователя
Отключить течеискатель ТИ1-14М от сети питания. Отве­рнуть 8 болтов крепления фланца с манометрическим преобразователем от корпуса азотной ловушки (Рисунок 10). Снять фланец с преобразователем и уста­новить его на столе.
Отвер­нуть гайки крепления экрана и фланца и снять их. Снять магнит с по­люсными наконечниками и отделить их друг от друга. В случае загряз­нения электродов преобразователя очистить от нагара все детали мелкозернистой наждач­ной бумагой. Детали промыть ацетоном, просушить, протереть бязью, смоченной спиртом, и высушить в сушильном шкафу. Если прокладка повреждена, заменить ее, взяв из комплекта ЗИП.
Произвести сборку преобразователя согласно рисунку 10 и установку его в вакуумную систему в порядке, обратном разборке.

6.2.5 Чистка внутренней (вакуумной) поверхности вакуумной системы
При попадании масла внутрь вакуумной системы необходимо разо­брать вакуумную систему и промыть ее внутреннюю поверхность.
Для проведения этих работ необходимо:

  • отключить течеискатель от сети питания;
  • отключить от блока CB-14М кабель сетевого питания и кабель, соединяющий его с УР-14М.

Боковые стенки и верхнюю крышку снимают следующим образом:

  • снять левую боковую стенку, отвернув 3 винта и сняв ручку клапана;
  • снять правую боковую стенку, отвернув 2 винта и сняв накид­ной хомут быстроразъемного зажимного соединения;
  • отвернуть гайку "барашек";
  • снять заднюю стенку, отвернув 4 винта;
  • снять верхнюю крышку, отвернув 4 винта. Сняв стенки, убрать пыль пылесосом.

Отключить элементы вакуумной системы от блока управления БУ-14M. Разборку вакуумной системы производить в следующей последова­тельности, сняв при этом:

  • магнитную систему, отпустить 4 гайки М6;
  • заглушку с уплотнительным кольцом Ех8.683.399 входного фланца;
  • преобразователи, ПМТ-6-ЗМ-1 и отвернув гайки "грибковых" уп­лотнений с прокладками Ех8.683.400;
  • камеру масс-спектрометрического анализатора с прокладкой Ех8.683.392  и отвернув 6 болтов М5;
  • шланг вакуумного пластинчато-роторного насоса типа 2НВР-5ДМ, и отвернув гайку "грибкового" уплотнения;
  • клапан, электромагнитный НАПУСК и отвернув гайку "грибкового" уплотнения с уплотнителем Ех8.683.103;
  • клапан КС-25 ОТКАЧКА ТМН и резиновый шланг, соединяющий клапан с турбомолекулярным насосом и четыре винта крепле­ния к каркасу;
  • клапан ДР3, отвернув 4 гайки М6 крепления фланца сильфонного уз­ла с прокладкой Ех8.683.396 и вынув сильфонный узел;
  • турбомолекулярный, насос ВВ 150 с прокладкой и отвернув 4 гайки MI2 на болтах крепления насоса к фланцу;
  • клапан КС-25 ЗАЩИТА ВХОДА с прокла­дками Ех8.683.396 и отвернув по 4 гайки М6   на соединительных фланцах. Снять металлическую шайбу и уплотнитель Ех8.683.110, отвернув гайку М4 и направляющую крестовину;
  • гелиевую течь Гелит I с уплотнителем Ех8.683.103 и отвернув гайку "грибкового" уплотнения;
  • сильфонные узлы дросселирующих клапанов ДР1, ДР2, ДР3 с прокладками Ех8.683.396, отвернув по 4 болта М6 и сняв фланцы;
  • уплотняющую шайбу, прокладку Ех8.683.397, фторопластовую шайбу и отвернув гайку М4;
  • сильфонный узел клапана ДУ-8 Не и отвернув гайку "грибкового" уплотнения с уплотнителем Ех8.683.104;
  • стакан азотной ловушки и отвернув 8 болтов М6, крепящих фланец стакана к фланцу корпуса. Снять прокладку Ех8.683.398;
  • манометрический преобразователь с прокладкой Ех8.683.398 и отвернув 8 болтов М6 крепления его фланца к ниж­нему фланцу азотной ловушки;
  • входную и высоковакуумную магистрали, разобрав фланцевые соединения и отвернув по 4 гайки М6.

Извлечь распорное кольцо с уплотнительным кольцом Ех8.683.399.
Вакуумные поверхности всех узлов и деталей протереть тампоном из бязи, смоченным в ацетоне, просушить сухим чистым сжатым возду­хом, а снятые узлы и детали - в сушильном шкафу, затем протереть поверхности тампоном из бязи, смоченным в этиловом спирте, и вновь просушить.
Все прокладки и уплотнители протереть тампоном из бязи, смоче­нным в этиловом спирте, просушить, проверить их целостность. Пов­режденные прокладки и уплотнители заменить прокладками и уплотнителями из комплекта ЗИП. Особое внимание обратить на уплотнители Ех8.683.110 клапанов КС-25 ЗАЩИТА ВХОДА и ОТКАЧКА ТМН. При эксплуатации в результате механического износа ухудшается герметичность уплотнения седла клапанов КС-25. Критерием износа уплотнителей Ех8.683.110 является увеличение потока гелия через уплотненное седло закрытого клапана свыше 5×10-8 м3×Па/с. такие уплотнители подлежат замене.
Масс-спектрометрический анализатор и манометрический преобразователь разобрать и произвести чистку, как указано в пп. 6.2.2 и 6.2.4.
В насосах сменить масло, как указано в п. 6.2.1.
Произвести сборку вакуумной системы в порядке, обратном разборке.
После разборки включить прибор и производить высоковакуумную откачку  в течение 8 часов с целью тренировки системы и достижения рабочего давления, после чего произвести проверку по всем пунктам раздела 5.6. при положительных результатах проверки прибор пригоден к дальнейшей работе.

7 Текущий ремонт

 9 Транспортирование 

Перед транспортированием течеискателя должно быть слито масло из насоса 2НВР-5ДМ и проведено стопорение их амортизаторов. Стопорение амортизаторов проводится путем затяжки до упора 4-х специальных гаек, находящихся под амортизатором.
В случае транспортирования течеискатель должен быть упакован в транспортную тару, обеспечивающую защиту от повреждений при транспор­тировании и попадания влаги и пыли.
Упакованный течеискатель может транспортироваться при температуре окружающего воздуха от минус 500С до плюс 500С  при относительной влажности воздуха не более 95% при температуре 250С крытым транспортом. Не допускается кантование и удары упакованных течеискателей при транспортировании.
В неупакованном виде Течеискатель может транспортироваться с помощью комплекта для перемещения Рисунок 22.

10 Маркирование и пломбирование
На транспортной таре должна быть маркировка  «Хрупкое. Осторожно»,  «Беречь от влаги», «Верх».
На стенке ставится пломба. На передней стенке ящика или на ярлыке наносят номер грузового места, пункт назначения и наименование грузополучателя.

Болт М10-6gх60.36.016

ГОСТ 7805-70 (8)
из комплекта
рисунок 23

 

Рисунок 22 - Схема для перемещения течеискателя    масс-спектрометрического ТИ1-14М

  

 

                                              1- Болт М10-6gх60.36.016 ГОСТ 7805-70    – 8 шт

                                              2 - Шайба 10.04.016 ГОСТ 10450-78            – 8 шт

                                              3 - Гайка М8-6Н5.016 ГОСТ 5916-70          -  4 шт

                                              4 - Шайба 8.04.016 ГОСТ 10450-78             –  4 шт

                                              5 - Колонка ТФИЯ.716421.002                      – 2 шт

                                              6 - Кронштейн ТФИЯ.301569.009                –  2 шт

лучший течеискатель

Рисунок 23. Установка комплекта для перемещения на Течеискатель ТИ1-14М

 

 

Уважаемые специалисты, после прочтения РЭ на ТИ1-14 прошу Вас обратить внимание на новую разработку Завода Измеритель - гелиевый течеискатель ТИ1-50.

Этот прибор сохранил в себе надежность течеискателя ТИ1-14, при этом на несколько порядков возрасла чувствительность. Течеискатель гелиевый ТИ1-50 в четыре раза легче, чем ТИ1-14, в новом течеискателе установлены электронные японские клапаны.

Используя ТИ1-50, можно производить процесс течеискания всего лишь двумя кнопками - "Измерение" и "Установка нуля". Ещё раз приглашаю Вас прочесть обзор гелиевого масс-спектрометрического течеискателя ТИ1-50

Дополнительная профессиональная образовательная программа «Основы течеискания и вакуумной техники» 20 – 22 марта 2018

ООО «ВАКТРОН» и Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» имени В. И. Ульянова приглашают сотрудников предприятий принять участие в программе повышения квалификации «Основы течеискания и вакуумной техники» 20 – 22 марта 2018 года. Лекторы курса:

  1. Школа течеискания в ПетербургеПреподаватели университета СПбГЭТУ «ЛЭТИ» — расчетные и исследовательские задачи
  2. Сотрудники компании ВАКТРОН — разработка систем течеискания и вакуумирования
  3. Представители завода «Измеритель» — сервис и запчасти для течеискателей ТИ
  4. Специалисты метрологической организации — поверка и калибровка в течеискании
  5. Представители аттестационного центра — аттестация персонала и лаборатории NDT
  6. Инженеры по сервису ULVAC, NOLEK и PedroGil — модернизация и обслуживание вакуумных насосов и аналитических систем

Базовые темы обучения:

  • Вакуумная техника и контроль герметичности в авиационной и космической отрасли
  • Герметичность объектов военного назначения
  • Выбор вакуумных насосов и течеискателей для металлургии, научных исследований и коммерческих задач
  • Ремонт вакуумных печей и напылительных установок
  • Автоматические линии контроля герметичности».

После прохождения итогового тестирования специалист получает методические материалы, видеозапись занятий и удостоверение о повышении квалификации государственного образца по университетской программе дополнительного профессионального образования. Занятия будут проходить в Санкт-Петербурге в аудиториях университета СПбГЭТУ «ЛЭТИ» с посещением сервисного участка ВАКТРОН. Для направления на обучение необходима предварительная регистрация. Регистрация участников: 8 (812) 740-66-02, Этот адрес электронной почты защищен от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.

Скачать приглашение и программу курса (DOC)


8-812-740-66-02
8-812-989-04-49
Этот адрес электронной почты защищен от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.