Автоматические спектральные эллипсометры ULVAC UNECS-1500A, UNECS-2000A и UNECS-3000A измеряют толщину и оптические параметры тонких плёнок с построением карты по поверхности подложки. Страница содержит характеристики исходной серии и официальный статус завершения её продаж.
Микроскопия и напыление · ULVAC
По уведомлению ULVAC 1072PY_C продажи UNECS, включая 1500A/2000A/3000A (W), завершены 30 июня 2026 года. Изготовитель указал обслуживание в течение 7 лет после завершения продаж; модели-преемника нет. Страница сохранена для технической справки и работы с установленным оборудованием.
Технические характеристики
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Метод измерения | Спектральная эллипсометрия |
| Исследуемые плёнки | Прозрачные и полупрозрачные; применимость зависит от оптической модели |
| Спектральные исполнения | 530–750 либо 380–760 нм |
| Источник света | Галогенная либо ксеноновая лампа |
| Диаметр измерительного пятна | 1 либо 0,3 мм, по исполнению |
| Угол падения | 70° |
| Повторяемость толщины | 0,1 нм (1σ), при условиях испытания ULVAC |
| Диапазон толщин | 1 нм–2 мкм для слоя SiO₂ на Si по условиям каталога |
| Измерение многослойной структуры | Толщина — до 6 слоёв; совместный расчёт толщины и оптических параметров — для верхнего слоя |
| Время регистрации | 20–3000 мс, настройка |
| Время анализа | 300 мс по условиям каталога |
| Подложка UNECS-1500A | Диаметр до 150 мм |
| Подложка UNECS-2000A | Диаметр до 200 мм |
| Подложка UNECS-3000A | Диаметр до 300 мм |
| Радиальный ход UNECS-1500A | 0–75 мм, программируемый; разрешение 0,1 мм |
| Радиальный ход UNECS-2000A | 0–100 мм, программируемый; разрешение 0,1 мм |
| Радиальный ход UNECS-3000A | 0–150 мм, программируемый; разрешение 0,1 мм |
| Поворот стола | 0–359,9°, программируемый; разрешение 0,1° |
| Точки карты UNECS-1500A/2000A | 200; опция высокой плотности — 2000 |
| Точки карты UNECS-3000A | 2000 |
| Фокусировка | Автоматическая |
| Максимальная толщина образца | 30 мм, автоматические модели |
| Максимальная масса образца | 10 кг |
| Размеры блока 1500A/2000A, Ш × Г × В | 400 × 525 × 370 мм |
| Размеры блока 3000A, Ш × Г × В | 450 × 620 × 370 мм |
| Размеры контроллера, Ш × Г × В | 204 × 500 × 509 мм |
| Масса блока 1500A/2000A | 24 кг |
| Масса блока 3000A | 31 кг |
| Масса контроллера | 19 кг |
| Питание автоматической серии | 100 / 200 В AC, до 6 А, 50/60 Гц, по исполнению |
| Вакуумный прижим | 75 кПа по каталогу; база отсчёта не уточнена |
| Рабочая температура | 25 ±5 °C |
| Относительная влажность | Не более 65%, без конденсации |
| ПК исходного каталога | Ноутбук с Windows 7 |
| Визуализация | 2D-карта; 3D-карта и камера наблюдения — опции |
Устройство, исполнение и условия применения
В каталоге повторяемость 0,1 нм определена как стандартное отклонение десяти последовательных измерений плёнки SiO₂ около 100 нм на кремнии, когда подбирается только толщина. Это не универсальная абсолютная погрешность для произвольного материала и многослойной структуры.
Диапазон 1 нм–2 мкм и времена измерения относятся к однослойному SiO₂ на Si. Для полупрозрачного материала предел толщины зависит от оптического пропускания и корректности используемой модели.
Автоматический стол R–θ и оптическая часть решают разные задачи: отсутствие вращающихся оптических элементов не исключает перемещение образца при картировании. Размеры и масса в таблице разделены между измерительным блоком и контроллером.
Спектральные диапазоны, лампы и пятна описывают исполнения. Их наличие не означает, что любой прибор программно переключается между всеми вариантами. Значение 75 кПа для вакуумного прижима оставлено с указанием неопределённой базы отсчёта.
Форматы экспорта, функции обработки результатов и возможность интеграции определяются установленным программным обеспечением и конкретным исполнением прибора. Встраиваемый UNECS-1M — отдельное исполнение, а не свойство настольных 1500A/2000A/3000A.
Таблица относится к документированной исходной серии; параметры современных компьютеров, материалов и опций не приписаны ей без проверки.
Изображения производителя
Документация и источники
- ULVAC UNECS — каталог 1716E, автоматические модели (PDF)
- ULVAC — завершение продаж UNECS, уведомление 1072PY_C (PDF)
Проверено 9 сентября 2026 года. Различия редакций, исполнений и условия измерений приведены в описании.
Связанное оборудование и материалы
Технический каталог оборудования