Оборудование ULVAC в каталоге лаборатории: гелиевые течеискатели HELIOT, вакуумные насосы, анализаторы Qulee, программное обеспечение и эллипсометры UNECS. Сравнивайте конкретные исполнения и проверяйте статус исходных серий.
Содержание карточки
Течеискатели
Технические характеристики
| Параметр | Значение |
|---|---|
| HELIOT 901W1 | ULVAC HELIOT 901W1 — гелиевый масс-спектрометрический течеискатель в базовом переносном исполнении с маслозаполненной пластинчато-роторной форвакуумной ступенью. Предназначен для вакуумного контроля герметичности компонентов и установок; щуповый метод требует отдельного блока. |
| HELIOT 901D2 | ULVAC HELIOT 901D2 — гелиевый масс-спектрометрический течеискатель в базовом переносном исполнении с безмасляной спиральной форвакуумной ступенью. Предназначен для вакуумного контроля герметичности компонентов и установок; щуповый метод требует отдельного блока. |
| HELIOT 904W2 | ULVAC HELIOT 904W2 — гелиевый масс-спектрометрический течеискатель на мобильной тележке с маслозаполненной пластинчато-роторной форвакуумной ступенью. Предназначен для вакуумного контроля герметичности компонентов и установок; щуповый метод требует отдельного блока. |
| HELIOT 904D3 | ULVAC HELIOT 904D3 — гелиевый масс-спектрометрический течеискатель на мобильной тележке с безмасляной спиральной форвакуумной ступенью. Предназначен для вакуумного контроля герметичности компонентов и установок; щуповый метод требует отдельного блока. |
| HELIOT 904D4 | ULVAC HELIOT 904D4 — гелиевый масс-спектрометрический течеискатель на мобильной тележке с безмасляной спиральной форвакуумной ступенью. Предназначен для вакуумного контроля герметичности компонентов и установок; щуповый метод требует отдельного блока. |
| BGM-101 / BGM-102 / BGM-201 / BGM-202 | ULVAC Qulee BGM исходного поколения — квадрупольные анализаторы для вакуумных печей, установок напыления и исследования остаточных газов. Модели различаются диапазоном масс и наличием электронного умножителя. |
| Qulee with YTP-50M | Система ULVAC Qulee с YTP-50M объединяет квадрупольный анализатор, газовый ввод и дифференциальную откачку. Исходная конфигурация служит для анализа технологического газа и остаточной атмосферы при выбранном давлении отбора пробы. |
| Qulee QCS | Qulee QCS — программное обеспечение ULVAC для управления анализаторами остаточных газов, сохранения спектров, трендов и результатов контроля герметичности. Ниже отдельно указаны возможности QCS 4.2 и ограничения применимости к прежним поколениям приборов. |
| UNECS-1500A / UNECS-2000A / UNECS-3000A | Автоматические спектральные эллипсометры ULVAC UNECS-1500A, UNECS-2000A и UNECS-3000A измеряют толщину и оптические параметры тонких плёнок с построением карты по поверхности подложки. Страница содержит характеристики исходной серии и официальный статус завершения её продаж. |
Устройство, исполнение и условия применения
Для HELIOT 901W1/901D2 и 904W2/904D3/904D4 опубликованы отдельные карточки: предел обнаружения, давления подключения, форвакуумные насосы, питание и комплектность. Суффиксы D3/D4 и D3R/D4R обозначают разные исполнения.
У Qulee исходные BGM/HGM и поколения BGM2/HGM2 имеют разные интерфейсы и программные версии. Карточки сохраняют эти различия и ссылки на заводские уведомления.
Эллипсометры UNECS и снятые с производства анализаторы остаются в каталоге как справочные страницы установленного оборудования. Наличие страницы не является подтверждением производства или складского остатка.
Насосы и принадлежности представлены по ссылкам ниже. Характеристики отдельного насоса нельзя автоматически приписывать течеискателю или измерительному комплексу, в котором он применяется.
Изображения производителя
Документация и источники
- ULVAC HELIOT 900 — каталог 1855E-2, исходные модели (PDF)
- ULVAC Qulee BGM — каталог 1610E-2 (PDF)
- ULVAC Qulee с YTP-50M — каталог 1616E (PDF)
- ULVAC UNECS — каталог 1716E, автоматические модели (PDF)
- ULVAC — завершение продаж UNECS, уведомление 1072PY_C (PDF)
Проверено 9 сентября 2026 года. Различия редакций, исполнений и условия измерений приведены в описании.
Связанное оборудование и материалы
- Течеискатель гелиевый масс-спектрометрический Ulvac Heliot
- Двухступенчатые пластинчато-роторные насосы с масляным уплотнением серий GHD-GLD-GCD
- Сухая откачка DIS DTC и DOP
- Бустерный насос MBS 053
- Ремонтные комплекты и ЗИП
- Промышленные сухие насосы ULVAC
- Масляная откачка и бустерные ступени
- Высокий и сверхвысокий вакуум ULVAC
- Вакуумметры Ulvac
- Компоненты нанесения тонких плёнок
- Криогенная техника и вспомогательные узлы
- ULVAC HELIOT 901W1 — гелиевый течеискатель
- ULVAC HELIOT 901D2 — гелиевый течеискатель
- ULVAC HELIOT 904W2 — гелиевый течеискатель
- ULVAC HELIOT 904D3 — гелиевый течеискатель
- ULVAC HELIOT 904D4 — гелиевый течеискатель
- ULVAC GHD-031
- ULVAC GHD-101
- ULVAC GLD-040
- ULVAC GLD-137AA
- ULVAC GLD-202BB
- ULVAC GLD-280A
- ULVAC DIS-90
- ULVAC DIS-252
- ULVAC DIS-501
- ULVAC DTC-22
- ULVAC DTC-41
- ULVAC DTC-60
- ULVAC DOP-181SA
- ULVAC UNECS-1500A/2000A/3000A — автоматические эллипсометры
- Аксессуары для квадрупольных масс-спектрометров Ulvac Qulee
- Безмасляная система для анализа технологического газа Ulvac Qulee RGM-202/RGM-302
- Встраиваемый эллипсометр Ulvac Unecs-1M
- Высокочувствительный квадрупольный масс-анализатор Ulvac Qulee HGM
- ULVAC Qulee с YTP-50M — система анализа газов
- Компактный квадрупольный масс-спектрометр Ulvac Qulee СGM
- ULVAC Qulee BGM-101/102/201/202 — анализаторы остаточных газов
- Портативный спектральный эллипсометр Ulvac Unecs-portable
- ULVAC Qulee QCS — ПО для анализа газов и контроля измерений
- Эллипсометры Ulvac Unecs
- Спектральный эллипсометр Ulvac Unecs-1500M
- Модульный масс-спектрометрический течеискатель Ulvac Heliot Zero
- Квадрупольный анализатор остаточных газов ULVAC Qulee CGM2-101
- ULVAC KIKO: комплект обслуживания A для GHD-031
- ULVAC KIKO: комплект обслуживания A для GLD-137
- ULVAC KIKO: комплект обслуживания для DA-121D
- ULVAC KIKO: комплект обслуживания для DA-20D/40S
- ULVAC KIKO: комплект обслуживания для DA-30D/60S
- ULVAC KIKO: комплект обслуживания для DA-60D/120S/DAH-60
- ULVAC KIKO: комплект обслуживания для DAP-6D/12S
- ULVAC KIKO: комплект обслуживания для DAU-20
- ULVAC KIKO: комплект обслуживания для DOP-300S/SA/301SA/SB/SVB
- ULVAC KIKO: комплект обслуживания для DTU-20
Технический каталог оборудования
Контакты лаборатории
Ранее опубликованные материалы
Связанное оборудование
Другие варианты того же типа. Диапазон, присоединение и условия применения проверяйте по характеристикам каждой модели.
HC-Leaklab — Прибор контроля герметичности серии HC
Серия приборов для серийного контроля герметичности с вариантами дифференциального измерения давления, малого расхода и расходного метода. Исполнение и измерительный диапазон выбирают отдельно; перечисленные варианты не означают наличие всех измерительных функций в одном приборе.
Вид испытательного давления: Избыточное давление / вакуум
Диапазон испытательного давления: −80…2500 кПа (максимально поддерживаемый диапазон)
Разрешение: 0,1 Па
HD-Leaklab — Встраиваемый прибор контроля герметичности
Прибор для интеграции в автоматизированные производственные линии. Поддерживает протоколы связи и интеграцию с интерфейсами оператора; регулирование давления внешнее. Предназначен для контроля при избыточном давлении и вакууме с дифференциальным измерением.
Вид испытательного давления: Избыточное давление / вакуум
Диапазон испытательного давления: -80~2500кПа (максимально поддерживаемый диапазон)
Разрешение: 0.1Па
HD-Leaklab-28 — прибор пневматического контроля герметичности
Прибор Hirays HD-28 для пневматического контроля с разрежением и избыточным давлением; регистрация и идентификация изделий по согласованной комплектации.
Изготовитель и исполнение: Hirays HD-28; торговое наименование HD-Leaklab-28
Контроль: Пневматическое испытание с разрежением и избыточным давлением
Показатель датчика: 0,2 % верхнего предела шкалы; диапазон и условия нормирования согласуют