ULVAC Qulee CGM2-101 — квадрупольный анализатор остаточных газов с диапазоном масс 1–100 а.е.м., коллектором Фарадея и подключением Ethernet. Его применяют для контроля газовой среды вакуумных установок распыления и напыления, остаточной влаги, загрязнений и признаков натекания воздуха.
Анализ газов · ULVAC
Назначение и принцип измерения
Квадрупольный масс-фильтр разделяет ионы по отношению массы к заряду. В CGM2-101 ионный ток регистрирует коллектор Фарадея. Модель CGM2-102 отличается наличием вторично-электронного умножителя; его чувствительность и пределы давления не относятся к CGM2-101.
При давлении до 1 Па анализатор может применяться для контроля процесса без дополнительной системы дифференциальной откачки. Встроенный дисплей позволяет просматривать измерения, а программное обеспечение Qulee QCS — регистрировать спектры и изменение выбранных масс во времени.
Технические характеристики CGM2-101
| Диапазон масс | 1–100 а.е.м. |
|---|---|
| Масс-фильтр | Квадрупольный |
| Разрешение | M/ΔM = 1M, при 10% высоты пика (обозначение ULVAC) |
| Детектор CGM2-101 | Коллектор Фарадея (FC), без SEM |
| Чувствительность | 1 × 10⁻⁷ А/Па при токе эмиссии 0,4 мА |
| Минимальное парциальное давление по обзорной таблице | 1 × 10⁻⁷ Па; расхождение с подробной спецификацией разобрано ниже |
| Максимальное рабочее давление | 2 Па в режиме FC |
| Область линейности | До 1 Па |
| Источник ионов | Тип B–A с функцией измерения полного давления |
| Нить накала | Иридий с покрытием Y₂O₃, 1 шт. |
| Энергия ионизации | 40 эВ |
| Ток эмиссии | 0,1 или 0,4 мА; 0,4 мА применяется при давлении < 1 × 10⁻² Па |
| Дегазация | Электронная бомбардировка |
| Питание | 24 В постоянного тока, ±10% |
| Потребляемая мощность | 50 Вт |
| Допустимые пульсации и шум питания | Не более 240 мВ, размах |
| Пусковой ток | 8,5 А при холодном пуске и 25 °C |
| Прогрев с электронным блоком | До 120 °C |
| Прогрев со снятым электронным блоком | До 250 °C |
| Масса анализаторной трубки | 0,44 кг |
| Масса электронного блока CGM2-101 | 2,1 кг, исполнение без SEM |
| Температура окружающей среды | 10–40 °C |
| Относительная влажность | 15–80%, без конденсации |
| Степень защиты электронного блока | IP30 |
| Интерфейс | Ethernet, TCP/IP v4, разъём RJ45 |
| Кабель связи | Экранированный Cat5e с прямой разводкой; не более 100 м |
| Внешний разъём ввода-вывода | D-sub, 15 контактов, винты M2.6 |
| Фланец стандартной оболочки CGM-TU01 | ICF70 |
| Анализаторная трубка для CGM2-101 | CGM-AN051/101 |
| Программное обеспечение | Qulee QCS; обзорная страница указывает версию 4.2 и выше, Windows 8/10/11 |
Как читать характеристики давления
Максимальное рабочее давление 2 Па и область линейности до 1 Па описывают разные условия применения. Минимальное парциальное давление относится к отдельному компоненту газовой смеси, а не к полному давлению в камере.
В обзорной таблице ULVAC для CGM2-101 приведено 1 × 10⁻⁷ Па. В подробной спецификации SK00-8718-E8-001-03J, страница 3 указан уровень 10⁻⁸ Па без единого точного численного предела. Поэтому в основной таблице сохранено значение обзорного источника; для измерительной задачи нижний предел необходимо сверить с документацией конкретного исполнения и условиями измерения.
Стандартная комплектация по спецификации ULVAC
- Электронный блок CGM2-101 и анализаторная трубка CGM-AN051/101.
- Оболочка CGM-TU01 с фланцем ICF70.
- Программное обеспечение Qulee QCS и документация.
- Разъём питания и кабель Ethernet длиной 3 м.
- Комплект крепежа M6 и прокладка, эквивалентная ICF070G.
Комплект приведён по разделу 2.1 спецификации. Источник питания 24 В выбирается отдельно, если он не входит в согласованное исполнение поставки. Наличие позиции в каталоге не означает наличие на складе.
Подключение и эксплуатация
Для расширенного управления используется проводное соединение Ethernet с компьютером Windows и Qulee QCS. Подробная спецификация ограничивает поддерживаемое TCP/IP-подключение этой конфигурацией; возможность непосредственного подключения к стороннему контроллеру из наличия RJ45 не следует.
При прогреве до 250 °C электронный блок снимают. Значения температуры относятся к датчику и указанной конфигурации прогрева, а рабочая температура окружающего воздуха ограничена 10–40 °C. После изменения температуры и влажности проверяют настройку разрешения и калибровку шкалы масс.
Для анализа спектра учитывают состав технологического газа, фон установки и фрагментацию молекул. В подробной спецификации отмечено ограничение длительного непрерывного измерения только масс 90–100: возможно увеличение напряжения настройки и появление ошибки. Рецепт измерения выбирают с учётом этого указания.
Документация производителя
- CGM2-051/052/101/102: Standard specifications, SK00-8718-E8-001-03J
- Qulee: руководство по эксплуатации семейства
- Qulee CGM2-101 / 102: обзорная таблица
Связанные приборы и принадлежности
- Исходная серия Qulee CGM-051/052 — отдельные характеристики и интерфейсы прежнего поколения.
- Принадлежности исходных серий Qulee — совместимость с CGM2 необходимо проверять отдельно.
- Весь раздел анализа газов.
Контакты лаборатории: lab@techeiscatel.ru, +7 (812) 715-00-17.