Турбомолекулярный насос KYKY FF-160/620E

Содержание материала

KYKY FF-160/620E — турбомолекулярный насос, 600 л/с по азоту. Заводская фотография, русское описание, характеристики по газам, охлаждение и контроллер.

Вакуумные насосы

KYKY FF-160/620E — оригинальная иллюстрация с заводской страницы модели. Показано одно из исполнений; комплектность определяется спецификацией.
KYKY FF-160/620E — оригинальная иллюстрация с заводской страницы модели. Показано одно из исполнений; комплектность определяется спецификацией.

Технические характеристики

ПараметрЗначение
МодельFF-160/620E
Тип насосаТурбомолекулярный, с масляной смазкой подшипников
Входной фланецDN160 CF / DN160 ISO-K
Форвакуумный выходDN40 ISO-KF
Быстрота действия, N₂ — азот600 л/с
Быстрота действия, He — гелий380 л/с
Быстрота действия, H₂ — водород240 л/с
Быстрота действия, Ar — аргон580 л/с
Степень сжатия, N₂10⁹
Степень сжатия, He10⁵
Степень сжатия, H₂10⁴
Степень сжатия, Ar10⁹
Предельное давление — CF6×10⁻⁸ Па; значение по заводской таблице
Предельное давление — ISO-K6×10⁻⁷ Па; значение по заводской таблице
Форвакуум — максимальное давление при непрерывной работе240 Па
Форвакуум — максимальное давление по N₂350 Па
Газовый поток по таблице, N₂1200 sccm
Газовый поток по таблице, He880 sccm
Газовый поток по таблице, H₂700 sccm
Газовый поток по таблице, Ar450 sccm
Частота вращения ротора36000 об/мин
Время выхода на режим по таблице≤9 мин
ОхлаждениеВодяное
Расход воды — только для водяного исполнения≥1 л/мин
Температура воды — только для водяного исполнения≤25 °C
ПитаниеAC 220 ±22 В через соответствующий контроллер
Максимальная потребляемая мощность по таблице≤500 Вт
Указанный контроллерTCDP-II; кабель 2,5 м
Масса по обозначениям таблицыLF: 29 кг; CF: 30,5 кг. Соответствие LF монтажному исполнению проверяют по чертежу

Устройство, исполнение и условия применения

FF-160/620E предназначен для высоковакуумной ступени откачки. В этой модели изготовитель указывает масляную смазку. Насос не назван безмасляным; требования к маслу и его обслуживанию задаёт руководство исполнения. Для работы подбирают форвакуумную ступень, контроллер и охлаждение под конкретную газовую нагрузку.

Быстрота действия зависит от газа: N₂ — 600 л/с, He — 380 л/с, H₂ — 240 л/с, Ar — 580 л/с. Степень сжатия приведена отдельно и не является быстротой откачки. В фильтре каталога используется значение по азоту 2160 м³/ч; это пересчёт единиц для насоса, а не производительность всей установки.

Давление на входе и давление форвакуума относятся к разным участкам системы. Для непрерывной работы заводская таблица указывает 240 Па, а отдельная строка максимального форвакуума по азоту — 350 Па. Эти значения не взаимозаменяемы. Режим пуска, допустимость конкретного газа и расход продувки определяют по руководству, а не по максимальной строке таблицы.

Газовый поток в sccm — объёмный расход, приведённый к стандартным условиям; его нельзя подставлять вместо быстроты действия в л/с. Веб-таблица не раскрывает стандарт приведения и весь набор условий испытания. Поэтому из неё не рассчитаны гарантированное время откачки камеры или параметры технологической установки.

Предельное давление приведено отдельно для CF и ISO-K. Оно характеризует условия заводской спецификации; реальная камера зависит также от герметичности, газовыделения, подготовки поверхности и проводимости соединений. Одно лучшее значение не записано в общий фильтр давления для всех исполнений.

Для выбранной страницы указано охлаждение: водяное. Расход и температура воды в таблице применимы только при наличии водяного охлаждения. Их присутствие в общей таблице воздушной модели не означает, что к ней обязательно подключают воду.

Питание AC 220 ±22 В относится к системе с указанным контроллером. Силовые, сигнальные и управляющие разъёмы различаются; подключение выполняют по руководству насоса и электронного блока. Номинал мощности в таблице не заменяет схему подключения.

В строке массы источник использует обозначения LF и CF. LF сохранено буквально и не объявлено автоматически синонимом ISO-K. Монтажные размеры и массу нужного фланцевого исполнения сверяют по чертежу.

Фотография взята с заводской страницы именно FF-160/620E; показан один вариант сборки. Фланец, кабели, вентилятор, контроллер и блок питания согласуются по спецификации комплекта. Экспортное исполнение E/FE сохранено в названии и прежнем адресе; оно не объединено автоматически с базовой моделью.

Документация и источники

Проверено 10 сентября 2026 года. Различия редакций, исполнений и условия измерений приведены в описании.

Связанное оборудование и материалы

Технический каталог оборудования

Контакты лаборатории

Ранее опубликованные материалы

Контроллер привода

Питание и управление приводом

Написать по email

Выбранное оборудование