Турбомолекулярный насос KYKY FF-200/1300FE

Содержание материала

KYKY FF-200/1300FE — турбомолекулярный насос, 1300 л/с по азоту. Заводская фотография, русское описание, характеристики по газам, охлаждение и контроллер.

Вакуумные насосы

KYKY FF-200/1300FE — оригинальная иллюстрация с заводской страницы модели. Показано одно из исполнений; комплектность определяется спецификацией.

Технические характеристики

Параметр	Значение
Модель	FF-200/1300FE
Тип насоса	Турбомолекулярный, с консистентной смазкой подшипников
Входной фланец	DN200 CF / DN200 ISO-K
Форвакуумный выход	DN40 ISO-KF
Быстрота действия, N₂ — азот	1300 л/с
Быстрота действия, He — гелий	1000 л/с
Быстрота действия, H₂ — водород	480 л/с
Быстрота действия, Ar — аргон	1250 л/с
Степень сжатия, N₂	10⁹
Степень сжатия, He	10⁴
Степень сжатия, H₂	10³
Степень сжатия, Ar	10⁹
Предельное давление — CF	6×10⁻⁷ Па; значение по заводской таблице
Предельное давление — ISO-K	6×10⁻⁶ Па; значение по заводской таблице
Форвакуум — максимальное давление при непрерывной работе	240 Па
Форвакуум — максимальное давление по N₂	600 Па
Газовый поток по таблице, N₂	2500 sccm
Газовый поток по таблице, He	1850 sccm
Газовый поток по таблице, H₂	1450 sccm
Газовый поток по таблице, Ar	950 sccm
Частота вращения ротора	24000 об/мин
Время выхода на режим по таблице	≤9 мин
Охлаждение	Воздушное
Расход воды — только для водяного исполнения	≥1 л/мин
Температура воды — только для водяного исполнения	≤25 °C
Питание	В источнике DC 24 / AC 220 В; назначение входов и состав питания уточняют по контроллеру
Максимальная потребляемая мощность по таблице	≤500 Вт
Указанный контроллер	TCDP-II

Устройство, исполнение и условия применения

FF-200/1300FE предназначен для высоковакуумной ступени откачки. Изготовитель указывает консистентную смазку подшипников. Это не магнитный подвес и не отсутствие смазочных материалов во всей насосной системе. Для работы подбирают форвакуумную ступень, контроллер и охлаждение под конкретную газовую нагрузку.

Быстрота действия зависит от газа: N₂ — 1300 л/с, He — 1000 л/с, H₂ — 480 л/с, Ar — 1250 л/с. Степень сжатия приведена отдельно и не является быстротой откачки. В фильтре каталога используется значение по азоту 4680 м³/ч; это пересчёт единиц для насоса, а не производительность всей установки.

Давление на входе и давление форвакуума относятся к разным участкам системы. Для непрерывной работы заводская таблица указывает 240 Па, а отдельная строка максимального форвакуума по азоту — 600 Па. Эти значения не взаимозаменяемы. Режим пуска, допустимость конкретного газа и расход продувки определяют по руководству, а не по максимальной строке таблицы.

Газовый поток в sccm — объёмный расход, приведённый к стандартным условиям; его нельзя подставлять вместо быстроты действия в л/с. Веб-таблица не раскрывает стандарт приведения и весь набор условий испытания. Поэтому из неё не рассчитаны гарантированное время откачки камеры или параметры технологической установки.

Предельное давление приведено отдельно для CF и ISO-K. Оно характеризует условия заводской спецификации; реальная камера зависит также от герметичности, газовыделения, подготовки поверхности и проводимости соединений. Одно лучшее значение не записано в общий фильтр давления для всех исполнений.

Для выбранной страницы указано охлаждение: воздушное. Расход и температура воды в таблице применимы только при наличии водяного охлаждения. Их присутствие в общей таблице воздушной модели не означает, что к ней обязательно подключают воду.

Строка питания DC24/AC220 не объясняет, какие значения относятся к насосу, контроллеру или сетевому блоку. Они сохранены с этим ограничением. Подключать 220 В к низковольтному разъёму насоса нельзя; электрическую схему выбирают по точной модели контроллера. Перечень контроллеров обозначает варианты, а не одновременную комплектность.

Фотография взята с заводской страницы именно FF-200/1300FE; показан один вариант сборки. Фланец, кабели, вентилятор, контроллер и блок питания согласуются по спецификации комплекта. Экспортное исполнение E/FE сохранено в названии и прежнем адресе; оно не объединено автоматически с базовой моделью.