HM-100 — анализатор остаточных газов (RGA). Длина датчика: 315 мм; Общая длина: 486 мм; Разрешение при 10% высоты пика: <1 а. е. м.
Газовый анализ
HM-100 — анализатор остаточных газов (RGA). Раздел: Газовый анализ.
Технические характеристики
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Длина датчика | 315 мм |
| Общая длина | 486 мм |
| Разрешение при 10% высоты пика | <1 а. е. м. |
| Тип нити накала | два иридиевых филамента с покрытием оксидом иттрия или два вольфрамовых филамента |
| Тип детектора | FC/CEM |
| Чувствительность FC | 3 × 10⁻⁴А/Торр |
| Чувствительность EM | 0,1 А/Торр |
Подбор и комплектация
Для HM-100 в техническом задании указывают рабочую среду, диапазон, режим применения и необходимые подключения. Состав поставки и дополнительные принадлежности согласуют для конкретной задачи.
Документация и происхождение данных
Источники: Каталог Ликлаб 2026, стр. 329 · Исходная техническая карточка 1. Данные относятся к указанному исполнению и условиям измерения.
Связанное оборудование
Другие варианты того же типа. Диапазон, присоединение и условия применения проверяйте по характеристикам каждой модели.
HM-Leaklab-100 — Анализатор остаточных газов RGA
Квадрупольный измерительный модуль для качественного и количественного анализа остаточных газов в вакуумном объёме. Определяет компоненты по отношению массы иона к заряду; среди рассматриваемых газов — вода, кислород, азот и диоксид углерода. Для работы необходимы система отбора пробы, вакуумное обеспечение и программное обеспечение анализа. Это измерительный модуль RGA, а не самостоятельный гелиевый течеискатель.
Полная длина: 486 мм
Разрешение по массе при 10 % высоты пика: <1 а.е.м.
Детектор: FC/CEM
HM-Leaklab-130 — Высокочувствительный анализатор остаточных газов
Анализатор остаточных газов для полупроводниковых процессов и вакуумного нанесения покрытий. Предназначен для контроля следовых примесей и динамики газового состава. Заявлены минимальное парциальное давление 2·10⁻¹⁵ Торр, скорость сканирования 2 мс на точку и диапазон масс до 300 а.е.м. Конкретное исполнение и условия достижения характеристик уточняют при подборе.
Наименование: Высокопроизводительный анализатор остаточных газов
Габариты Д × Ш × В: 450 × 120 × 120 мм
Электропитание и мощность: 220 В переменного тока, 50 Гц; 120 Вт
HM-Leaklab-150 — Анализатор остаточных газов для повышенного давления
Анализатор для мониторинга процессов PVD и условий с повышенным давлением газа. Рабочее давление составляет до 2 Па, варианты диапазона масс 1–50 и 1–100 а.е.м., минимальное обнаруживаемое парциальное давление 2·10⁻⁹ Па. Поддерживаются сканирование спектра и выбранных масс, определение H₂, He, N₂, O₂ и Ar, интеграция через API и сигнализация отклонений.
Наименование: Анализатор остаточных газов для повышенного давления
Габариты Д × Ш × В: 320 × 240 × 120 мм
Электропитание: 220 В переменного тока, 50 Гц, 1 А; или 24 В постоянного тока, 5 А